近日,由全国几何量长度计量技术委员会起草制/修订的《激光共聚焦显微镜校准规范》(征求意见稿)已完成出稿,为了使该项规范更加完善和更具可操作性,全国几何量长度计量技术委员会特将规范予以公示,并面向全社会公开征求意见。
由于激光共聚焦显微镜的验收和日常检测中需要校准来保证量值准确,所以激光共聚焦显微镜校准规范的制定将确保其测量准确可靠,量值统一、可溯源,对我国激光共聚焦显微镜在科学与产业中的应用具有重要意义,为纳米技术和生物医学技术的发展提供保障。
新规范在编写过程中主要参考了Geometrical product specifications(GPS) Surface texture: Areal Part 607: Nominal characteristics of non-contact(confocal microscopy) instruments(产品几何技术规格(GPS) 表面纹理:区域 第607部分:非接触式(共聚焦显微镜)仪器的标称特性)。制定规范的目的主要是解决激光共聚焦显微镜在长度测量应用中的校准问题
在规程中,为了使激光共聚焦显微镜对社会出具准确、可靠、有效的数据,满足各行业领域的检测需求并对仪器的计量性能进行较为全面的评价,规程起草小组对仪器的主要性能的技术指标进行统一、合理、符合实际的规定。检定项目主要有以下几项:仪器外观及通电检查畸变、测量示值误差、测量重复性、水平方向正交性误差、可测局部倾斜上限等。另外,起草小组对主要性能的检定方法和各项指标的要求、检定结果的判定等做了统一的规定,同时对校准条件、校准用样板等也做了统一的要求。
在校准条件方面,规范要求校准的环境条件包括环境温度:(20 5)℃;相对湿度:(50 10)%RH;使用的标准样板应与被测仪器放在一起等温不少于0.5 h;实验室电磁辐射应不影响测量结果。而仪器的校准项目所采用的标准样板为周期栅格标准样板(包含10个以上周期)、台阶高度标准样板、标准平面镜以及标准微球阵列样板,样板均匀性应小于3%,根据校准时选用的物镜放大倍率、视场范围等选取相应的标准样板,如表1:

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《激光共聚焦显微镜校准规范》征求意见稿