《透射电子显微镜校准规范》征求意见稿发布

91仪器信息网 政策标准透射电子显微镜(简称 透射电镜 )是把经加速和聚集的电子束投射到具有薄区的试样上，电子束穿透试样并与之作用，形成明暗不同的影像或衍射花样，并在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。透射电镜的分辨率高，能够同时获得样品的显微形貌、尺寸、化学成分、晶体结构等信息，在纳米材料、生物医药、新能源等领域中被广泛应用。透射电镜结构示意图见图1：
  由于磁透镜和电子枪的电流随时间的变化等因素使得透射电镜的测量长度值会产生误差，有些值的误差可达到10%，影响测量结果准确性。因此，迫切需要建立透射电镜的量传体系，为纳米技术领域的准确测量提供技术保障。
  近日，根据国家市场监督管理总局计量函201942号《市场监管总局计量司关于国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划有关事项通知》，受全国几何量长度计量技术委员会的委托，由中国计量科学研究院和上海市计量测试技术研究院负责制定的《透射电子显微镜校准规范》出稿已完成。为了使该项计量技术规范更加完善和更具可操作性，全国几何量长度计量技术委员会将规范予以公示，并面向全社会公开征求意见。
  《透射电子显微镜校准规范》具体内容包括范围、应用文件、术语和定义、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的表达、复校时间间隔等，适用于透射电子显微镜的校准。
  其中，透射电镜的计量特性参见表1：
  仪器在校准过程中需要考虑的环境条件包括温度：(20 5)℃，湿度： 70%RH，其中，实验室震动和电磁辐射应不影响测量结果。而仪器的校准项目所采用的标准样品是周期栅格、硅晶格等，可根据计量特性、仪器测量范围和实际使用情况选用相适应的标准样品。校准用标准样品参见表2：
  透射电镜的校准项目和校准方法包括测长示值误差、测长重复性、正交性误差、漂移速率等内容。另外，关于仪器的复校时间间隔，规范明确，由于复校时间间隔的长短是由透射电镜的使用状况、使用者、设备本身质量等诸因素所决定的，因此，送校单位可根据仪器实际使用情况自主决定复校时间间隔。建议复校时间间隔一般为1年。
  以上规范的编写主要参考了JJG(教委)011-1996《透射电子显微镜检定规程》与GB/T 34002-2017《微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法》的相关内容。规范制定的目的是解决透射电子显微镜在长度测量应用中的校准问题。
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  《透射电子显微镜校准规范》征求意见稿