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产品信息

快速反射镜

所属类别： ? 应用解决方案 ? 激光稳定系统（光束指向/频率/功率）
所属品牌：德国TEM Messtechnik GmbH公司

产品简介

微步进电机与PZT压电陶瓷驱动的超大扫描角度的复合轴快速反射镜。

德国TEM开发的是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构，不仅拥有电机驱动的大量程的特点，又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点，极大拓展了的适用范围与使用寿命。

关键词：，快速控制反射镜，FSM，快速倾斜镜，快速倾斜反射镜，PZT驱动快速控制反射镜，压电陶瓷驱动

  

德国TEM开发的是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构，不仅拥有电机驱动的大量程的特点，又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点，极大拓展了的适用范围与使用寿命。

产品特点：

反馈精度: 1 μm, 1 μrad (zui低可达 10-100 nm)超大扫描范围: 18°高速度:伺服频宽超过5 kHzPZT驱动制动器和机械装置多种组合全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作

类别：

Aligna 60/40:微步进电机基座60x60 mm/40x40 mm

两个极微等步细分线制动器手动调节滚花旋钮双轴引用光编码器多种反射镜或其他组件安装方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

Aligna MoPiA 60/40:微步进电机+PZT驱动基座60x60 mm/40x40 mm

两个极微等步细分线制动器手动调节滚花旋钮PZT压电扫描器双轴引用光编码器多种反射镜或其他组件安装方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

部分应用客户：

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