多弧离子镀膜系统-91化工仪器网

各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、太阳能光伏设备、集成电路装备、真空非标系统研发生产、各种实验室特殊需求仪器的制造

沈阳鹏程真空技术有限责任公司是由几位中科院博士生联合创办和管理的高科技研究型企业。公司业务部主要分为太阳能发电领域事业部和科学仪器事业部两大部门。

太阳能发电领域事业部以致力于光伏发电系统集成研究、光伏设备研发生产为主导。鹏程真空光伏部与国内外多所著名高校、电力设计研究院、业内知名企业及相关生产企业建立了战略合作伙伴关系，拥有全套的光伏系统集成设计能力与配套产品供应。

科学仪器事业部主要从事研发生产，各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、太阳能光伏设备、集成电路装备、真空非标系统研发生产、各种实验室特殊需求仪器的制造。

      主要用途：

多弧离子镀膜系统主要用于在柱状钻头、铣刀等刀具上镀制薄膜而特殊设计的一种专用设备。镀制出来的刀具有附着力强、耐磨、摩擦系数小等特点，在科研与工业生产领域中有着广泛的应用前景。

系统组成:

多弧离子镀膜系统主要由镀膜室、样品转盘组件、前门组件、加热体组件、安装机架、Ф100mm多弧源、条形离子源、节流阀组件及控制系统等组成。

技术指标：

极限真空度： 6.7 10 Pa

恢复真空时间：从1 10 Pa抽至5 10 Pa 20min

系统漏率：6. 7 10-7Pa.L/S；

真空室圆筒型结构 1500 1200(mm)，双层夹壁水冷结构，电动开启，样品可升降、旋转

采布置12个电弧源，靶直径100mm样品基片: 负偏压 -200V，样品的温度从室温至400℃连续可调可控。用4路质量流量计进气。