镜筒内二次电子探测器
另一种二次电子探测器是置于物镜内的二次电子探测器。该探测器的优势在于能在很短的工作距离成像,因此具有更好的分辨率,呈现异常丰富的的表面细节和形貌特征。
TESCAN 的所有产品都标配高效的 Everhart-Thornley(E-T)探测器。镜筒内二次电子探测器在 MIRA3、TIMA X、LYRA3 和 FERA3 机型中为选配,可以提高成像质量;在 MAIA3、GAIA3 和 XEIA3 机型中则为标配。
镜筒内二次电子探测器
另一种二次电子探测器是置于物镜内的二次电子探测器。该探测器的优势在于能在很短的工作距离成像,因此具有更好的分辨率,呈现异常丰富的的表面细节和形貌特征。
TESCAN 的所有产品都标配高效的 Everhart-Thornley(E-T)探测器。镜筒内二次电子探测器在 MIRA3、TIMA X、LYRA3 和 FERA3 机型中为选配,可以提高成像质量;在 MAIA3、GAIA3 和 XEIA3 机型中则为标配。