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二次电子探测器 二次电子探测器-91化工仪器网

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放大字体  缩小字体    发布日期:2019-09-02  来源:仪器信息网  作者:Mr liao  浏览次数:237
核心提示:二次电子探测器能很好地反映试样的表面形貌。图像中,试样朝向探测器的区域比背对探测器区域或者被遮挡的区域更亮,从而形成 SE 图像中的衬度。试样边缘或尖锐区域产生的二次电子更多,图像也会更亮。二次电子探测器即闪烁体-光电倍增管探测器,具有收集的二次电子信号效率高、噪声低的优点。探测器的接收网上施加几百伏的正电偏置电压,实现对带负电的二次电子的吸引。该探测器位于显微镜样品室的一侧。镜筒内二次电子探测器另一种二次电子探测器是置于物镜内的二次电子探测器。该探测器的优势在于能在很短的工作距离成像,因此具有更好的分辨
二次电子探测器能很好地反映试样的表面形貌。图像中,试样朝向探测器的区域比背对探测器区域或者被遮挡的区域更亮,从而形成 SE 图像中的衬度。试样边缘或尖锐区域产生的二次电子更多,图像也会更亮。二次电子探测器即闪烁体-光电倍增管探测器,具有收集的二次电子信号效率高、噪声低的优点。探测器的接收网上施加几百伏的正电偏置电压,实现对带负电的二次电子的吸引。该探测器位于显微镜样品室的一侧。

 

镜筒内二次电子探测器

另一种二次电子探测器是置于物镜内的二次电子探测器。该探测器的优势在于能在很短的工作距离成像,因此具有更好的分辨率,呈现异常丰富的的表面细节和形貌特征。

TESCAN 的所有产品都标配高效的 Everhart-Thornley(E-T)探测器。镜筒内二次电子探测器在 MIRA3、TIMA X、LYRA3 和 FERA3 机型中为选配,可以提高成像质量;在 MAIA3、GAIA3 和 XEIA3 机型中则为标配。
 

 
 
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