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MKSinst Instruments-等离子体电源

等离子体电源用于晶圆工艺

ASTeX 等离子体电源 广泛应用于 CVD ， ETCH ，去胶等晶圆工艺。

R*evolution - AX7690 集成远程等离子体源用于晶圆工艺 AX2600 集成等离子体系统 SmartPower - AX2500 系列微波电源 ASTeX AX7610 下游等离子体源

 

臭氧发生器

SEMOZON 臭氧发生器及集成系统， LIQUOZON 臭氧水循环系统广泛应用于 CVD ，去胶和湿法清洗等工艺。

O3MEGA AX8561 臭氧发生器集成系统 SEMOZON AX8500 系列臭氧发生器集成系统 SEMOZON AX8400 系列臭氧发生器
LIQUOZON Smart 臭氧水递送系统。提供高浓度、大流量臭氧水 LIQUOZON Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计，适合于单片硅片清洗系统 LIQUOZON LoopO3 臭氧水循环递送系统。紧凑型设计，带循环水泵，主要用于硅片清洗工艺 LIQUOZON 100 和 XF 臭氧水递送系统

 

射频功率电源

ENI 提供高可靠的固态电源，其频率从 1MHz 到 60MHz， 功率从 3 百瓦至 13千瓦，还可选自动频率调谐，广泛地应用于 Etch， CVD 和 PVD等工艺。

中频射频功率电源 （1-4MHz） NOVA 系列，功率为 2.5 千瓦和 5千瓦，自动频率调谐可选。 Spectrum 系列，功率从 5千瓦至 11千瓦，自动频率调谐可选。 高频射频功率电源 （13.56MHz） GHW 系列电源，功率从 1.5 千瓦至 5 千瓦，自动频率调谐可选。
Spectrum 系列电源，功率从 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自动频率调谐可选。 SurePower 系列电源，功率从 1.5 千瓦至 13 千瓦，自动频率调谐可选。 超高频射频功率电源 （27.12-60MHz）： GEW 系列电源，功率从 1.5 千瓦至 3千瓦，自动频率调谐可选。

 

直流/脉冲功率电源

ENI 直流/脉冲电源主要应用于半导体，光电器件，磁盘，平板显示器等工业中的镀膜工艺。