洁净室等级标准_91化工仪器网
发布日期:2019-09-02 来源:
仪器信息网 作者:Mr liao 浏览次数:
697
核心提示:等级标准对照表 空气洁净度等级大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102 210024104 31000237102358 4(十级)100002370102035283 5(百级)10000023700102003520832296(千级)10000002370001020003520083202937(万级) 3520008320029308(十万级) 3520000832000293009(一百万级) 3520000
等级标准对照表
空气洁净度等级
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
2
100
24
10
4
3
1000
237
102
35
8
4(十级)
10000
2370
1020
352
83
5(百级)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千级)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(万级)
352000
83200
2930
8(十万级)
3520000
832000
29300
9(一百万级)
35200000
8320000
293000
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