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光切法显微镜可用测微目镜测出表面不平度平均高度值Rz。按国家标准,表面光洁度级别与不平度平均高度值Rz的关系,如图所示:
显微镜在测量时,所测量的表面范围不少于五个波峰。 为使测量能正确而迅速地进行,要求按图所列数据选择物镜。