场发射扫描式电子显微镜FEGSEM,优缺点？

场发射扫描式电子显微镜(FEGSEM：Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)

使用六硼化镧(LaB6)或纳米碳管(CNT)制作成针尖小于100nm(纳米)的纳米尖端来发射电子束(场发射)，

纳米尖端可以使电子束的直径缩小到10nm(纳米)左右，

其原理与扫描式电子显微镜(SEM)相同，如图4-54(d)所示为场发射扫描式电子显微镜(FEGSEM)照片，
场发射扫描式电子显微镜(FESEM)的解析度更高，可以用来观察大约10nm(纳米)的结构，但是只能观察物体表面的高低起伏，
所以表面平整的物体无法使用。