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产品简介 品牌 其他品牌 产地类别 进口 LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。可定制气体轴承线性位移台
详细介绍
可定制气体轴承线性位移台
大行程,高重复精度气体轴承位移台!
所属类别:光机产品/精密定位控制系统 电动平移台
可定制气体轴承线性位移台
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案:
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
整体解决方案
定制化解决方案
复杂的多轴与并联运动系统
超精密空气与机械轴承
软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics
产品特点:
l 优异的重复精度
l 超大行程
l 采用空气轴承,无需维护
l 可按客户要求进行定制
主要应用
l 高性能扫描
l 光学检测系统
l 超精密研磨和切削
l 光伏系统
l 医疗系统
l 同步辐射或X射线
l 激光加工
l 半导体行业
l 晶体处理
产品参数:
Units
LS100
LS200
LS300
LS400
LS500
LS1000
LS1500
travel
mm
100
200
300
400
500
1000
1500
load capacity
kg
65
65
65
65
65
65
65
accuracy
m
0.3
0.5
0.5
0.5
0.5
1.0
1.0
repeatability
m
0.1
0.15
0.15
0.2
0.2
0.4
0.4
flatness
m
0.2
0.4
0.5
1
1.5
3
5
pitch
rad
4
8
12
13
14
29
39
roll
rad
4
8
12
13
14
29
39
yaw
rad
4
8
12
13
14
29
39
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上海昊量光电设备有限公司 - 主营产品: 微型振镜,共焦拉曼光谱仪,超微型光谱仪,定制光纤束,多模石英光纤
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