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更新时间：2018-12-13 09:06:311382
联系我们时请说明是91化工仪器网上看到的信息，谢谢!
洁净室性能测试及认证
广思科技（上海）公司是提供独立的第三方测试和认证的公司，服务对象涵盖各种类型的洁净区域和设施。测试步骤严格遵循ISO-14644-1,2 , FS-209E, IES相关条款, NEBB,及由客户指定的其它工业标准。
在测试完成后，我们将提供一份详尽的测试报告。所颁的证书完全符合FS-209E及ISO的各项要求。
服务对象
我们服务是对有洁净室或洁净空间及所有有洁净要求的区域进行检测。
我们服务的行业是有ISO要求，FS-209E要求或GMP要求的半导体，电子业，制药生物业，医疗保健，硬盘业，科研机构等。
我们服务的内容包括：
洁净室刚建成时，对洁净室性能进行第三方独立的测试及认证，如过滤器检漏测试，如及时发现因安装等失误造成的过滤器漏洞，可避免以后返修的重大损失。
洁净室的维护及微污染控制追踪，遵ISO的原则，对洁净室进行常效的管理和维护。
参考标准
ISO / TC 209 14644 1 (悬浮颗粒洁净等级)
ISO Class
0.1 m(m3)
0.2 m(m3)
0.3 m(m3)
0.5 m(m3)
1 m(m3)
5 m(m3)
1
10
2
-
-
-
-
2
100
24
10
4
-
-
3
1,000
237
102
35
8
-
4
10,000
2,370
1,020
352
83
-
5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
7
-
-
-
352,000
83,200
2,930
8
-
-
-
3,520,000
832,000
29,300
9
-
-
-
35,200,000
8,320,000
293,000
Federal Standard 209E (悬浮颗粒洁净等级)
Class
0.1 m(ft3)
0.2 m(ft3)
0.3 m(ft3)
0.5 m(ft3)
5 m(ft3)
1
35
7. 5
3
1
-
10
350
75
30
10
-
100
-
750
300
100
-
1,000
-
-
-
1,000
7
10,000
-
-
-
10,000
70
100,000
-
-
-
100,000
700
测试类型
共有13项测试，如IES-RP-CC006.2 [4]所列，分三大类：
基本项目
风量，风速及均衡性:-
此项测试是用于检测洁净室或洁净区内气流的平均流速或一致性，同样可得出供气量及流速或一致性。
过滤器安装检漏:-
此项测试是用于确认过滤器是否正确安装，过滤器的边缘以及中间隔离层是否有破裂及小漏洞。
粒子数量测试:-
此项测试是用于决定洁净室空态、静态或动态下是否能符合FS-209E的相关规定的等级。
洁净室压力测试:-
此项测试是研究洁净室系统是否有能力维持洁净室与周边空间保持特定的压力。
选择项目 1
气流平衡性测试:-
此项测试用于发现整个工作区气流的平衡性是否洁净室有能力限制内部污染的分散。
洁净室完整性测试:-
此项测试用于查看于洁净室的连接处，密封处及过道是否有未过滤的空气渗入。
洁净室还原性测试:-
此项测试用于考察洁净室在暴露于悬浮颗粒下是否有能力恢复原来的洁净等级。
颗粒尘降测试:-
此项测试用于计算大颗粒的悬浮粒子（那些无法由粒子计数器有效测量到的）。
选择项目 2
光照度测试:-
此项测试用于考察室内的光照强度或均衡性。
噪声测试:-
此项测试用于测算洁净室机械电子系统产生的噪音。
温湿度测试:-
此项测试用于考察洁净室控制系统是否能维持空气的温度和湿度。
震动测试:-
此项测试用于测试洁净室内的震动水平。
地板和墙板的静电传导性测试:-
此项测试是研究洁净室内地板及墙板的静电传导性能。
洁净室的再认证和监控
我们对投入生产运作的洁净室设施进行阶段性的再认证和检测，确保他们符合各项性能指标。我们齐全的检验设备和仪器能大大缩短测试过程和把对生产过程的影响降到zui低。
测试业绩
No.
业主
工程名称
测试项目
1
中芯国际上海FAB9
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板墙板电阻，自净测试
2
中芯国际成都 FAB11
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板墙板电阻，自净测试
3
中芯国际北京FAB4
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板墙板电阻，自净测试
4
中芯国际武汉 FAB12
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板墙板电阻，自净测试
5
英飞凌科技（苏州）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
洁净度，风速，温湿度 ，光照度，噪音，压差，地板电阻，气流流形，自净测试
6
凸版光掩模 （上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板电阻，气流流行，自净测试
7
先进半导体制造（上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板电阻
8
中微半导体（上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
9
安靠封装测试（上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板电阻，自净测试
10
敦南科技（无锡）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
11
三星半导体（苏州）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
洁净度，风速及风量，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
10
希捷国际科技（无锡）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，地板电阻，气流平行度
11
微密科技（无锡）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
12
西安中卫电子科技有限公司
洁净室测试与管道测试
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，管道洁净度，氦检漏，保压测试
13
罗氏制药(上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风量，温湿度 ，光照度， 噪音，压差，气流流行
14
日本电产（浙江）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
洁净度，风速，温湿度 ，压差
15
福群电子（无锡）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
16
通用电气药业 （上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风量，光照度，噪音，压差，地板电阻
17
美德福（无锡）精密机械有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度，噪音，压差
18
超科林半导体设备（上海）有限公司
洁净室测试与NEBB认证
过滤器检漏，洁净度，风速，温湿度 ，光照度， 噪音，压差
*以上测试案例为上海分公司zui近期部分测试案例。
