原装进口MYCRO光刻机,包含EM-5026M1, EM-5086, EM-5026B,EM-5026AM四个型号,是全球ling先的光刻系统,广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。并且该系列的光刻机已经被众多著名企业、研发中心、研究所和高校采用,作为他们光刻系统的首选;其优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务,赢得了广大用户的青睐。紫外曝光机作为光刻系统,zui重要的技术在于以下两个方面:掩模-晶圆片对准,以及将掩模版上的图案复制到晶圆片上,为下一步进行可是或者离子注入工序做好准备。MYCRO紫外曝光机/光刻系统的曝光方式,是采用可调节压力的接触式曝光,有效降低了光刻胶对掩模版的污染以及掩模版的磨损,从而提高掩模版的寿命。因此,MYCRO紫外曝光机/光刻系统以其极高的性价比而让人印象深刻。 曝光机/光刻系统的组件主要包含:紫外光源构造带托盘的晶片工作台配CCD镜头的显微镜监视器掩膜夹具紫外光源透镜紫外光源镜片紫外灯电源系统操作控制器350W紫外灯 需要更详细的产品资料,请与迈可诺技术有限公司中国营销服务中心区域办公室! / 转813(北京) / 转823(上海) / 转833(广州) / 转843(武汉): sales@mycro.com.cn website: http://www.mycro。。com.cn :