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磁控溅射靶材-91化工仪器网

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放大字体  缩小字体    发布日期:2019-09-02  来源:仪器信息网  作者:Mr liao  浏览次数:615
核心提示:广州竞赢有限公司是一家综合性的商贸企业,集实验室设备经销、实验室组建策划于一体。公司经营的商品主要包括:Ted Pella公司微波快速组织处理系统及电镜耗材、DOSAKA切片机、CRESSINGTON镀膜仪、英国Aquila NKD薄膜分析系统、法国CAD混凝土流变仪、英国MILLBROOK公司 MiniSIMS二次离子质谱仪、美国NEOCERA公司 PLD/PED沉积系统等生化仪器,检测仪器、环保仪器、化学试剂、实验室耗材等。目前,竞赢公司与国内外数百家实验仪器生产厂家有着良好的业务联系和协作关系,客户

广州竞赢有限公司是一家综合性的商贸企业,集实验室设备经销、实验室组建策划于一体。公司经营的商品主要包括:Ted Pella公司微波快速组织处理系统及电镜耗材、DOSAKA切片机、CRESSINGTON镀膜仪、英国Aquila NKD薄膜分析系统、法国CAD混凝土流变仪、英国MILLBROOK公司 MiniSIMS二次离子质谱仪、美国NEOCERA公司 PLD/PED沉积系统等生化仪器,检测仪器、环保仪器、化学试剂、实验室耗材等。目前,竞赢公司与国内外数百家实验仪器生产厂家有着良好的业务联系和协作关系,客户涉及高校、科研院所、医院、企业、政府部门等多个领域。竞赢员工90%以上拥有学士、硕士学位,雄厚的技术实力是竞赢公司质量和服务的有力保证。 专业精神、真诚服务 是竞赢化工的服务宗旨。我们不懈地追求完善的售前、售后服务以提高客户满意度。为了全面提升竞赢公司的服务质量,除了不断引进新的产品,近年来我们更着重于从优化组织构架、培训提升员工服务意识等。面对新的挑战,我们深沉思索、感悟良多, 学习成就未来 将指导我们明确方向、激励我们追求卓越!


高纯度的金属溅射靶材适用于多种品牌的离子溅射仪: 包括PELCO , Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.​这些磁控溅射靶材的直径分为60,57,54,50和19mm。

1、高纯60mm金属靶材:适用于Denton DESK II / DESK III / DESK IV/ DESK V, Edwards 150 B / SCANCOAT, Emitech K500/K550/K650和Emscope SC500离子溅射仪。

货号

产品描述

单位

91217

铜靶, 99.99% Cu ( 60mm x 0.076mm)

91210

金靶, 99.99% Au ( 60mm x 0.1mm)

91212

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 ( 60mm x 0.1mm)

91216

镍靶, 99.98% Ni ( 60mm x 0.1mm)

91214

铂靶, 99.95% Pt ( 60mm x 0.1mm)

91219

钯靶, 99.95% Pd ( 60mm x 0.1mm)

91229

银靶, 99.99% Ag ( 60mm x 0.1mm)

2、高纯57mm金属靶材:适合于 Agar, Cressington 108/208, Emitech SC7620/SC7610/K575X/K575XD, ISI 5400, JEOL JFC 1200/1300/1400/1600/2300HR, PELCO Model 3, SC4/SC5/SC6/SC7, Polaron 5000/5400/SC7610/SC7620, Quorum Q150, 和 SPI Module/Super离子溅射仪
 

货号

产品描述

单位

8074

铬靶, 99.95% Cr ( 57mm x 3.2mm) (208HR only)

91117

铜靶, 99.99% Cu ( 57mm x 0.1mm)

8077

铜靶, 99.99% Cu ( 57mm x 0.3mm)

91110

金靶, 99.99% Au ( 57mm x 0.1mm)

8071

金靶, 99.99% Au ( 57mm x 0.2mm)

91112

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 ( 57mm x 0.1mm)

91111

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 ( 57mm x 0.2mm)

91132-B

铟锡氧化物靶 , 99.99% ITO, In2O3/SnO2 90/10 wt % 背面有1mm 铜片, ( 57mm x 3mm 总厚)(208HR only)

91120

铱靶, 99.95% Ir ( 57mm x 0.3mm) (208HR only)

91124

铁靶, 99.5% Fe ( 57mm x 0.12mm) (208HR only)

8073

钼靶, 99.95% Mo ( 57mm x 0.25mm) (208HR only)

91116

镍靶, 99.98% Ni ( 57mm x 0.1mm) (208HR only)

8079

铌靶, 99.95% Nb ( 57mm x 0.25mm) (208HR only)

91119

钯靶, 99.95% Pd ( 57mm x 0.1mm)

91114

铂靶, 99.95% Pt ( 57mm x 0.1mm)

8076

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 ( 57mm x 0.1mm)

91115

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 ( 57mm x 0.2mm)

91118

银靶, 99.99% Ag ( 57mm x 0.1mm)

91129

银靶, 99.99% Ag ( 57mm x 0.3mm)

8075

钽靶, 99.95% Ta ( 57mm x 0.3mm) (208HR only)

91123

钛靶, 99.6% Ti ( 57mm x 0.2mm) (208HR only)

8078

钨靶, 99.95% W ( 57mm x 0.25mm) (208HR only)

3、高纯54mm金属靶材,适合于Bal-Tec SCD005/040/050/500, MED10/20 和LEICA EM SCD 005/050/500, MED 020 离子溅射仪。

4、高纯50mm金属靶材,适合于Anatech/Technics Hummer I, II, III, Fullam EffaCoater 和 Fullam EMS-76离子溅射仪。

5、高纯38mm金属靶材,适合于Cressington 308HR离子溅射仪。

6、高纯19mm金属靶材,适合于Gatan Model 681 and 682 PECS 离子束溅射仪

镀非导电SEM样品时,如何选择相应靶材:

Gold黄金

优良的靶材,广泛应用于标准SEM镀膜。对于冷镀膜离子溅射仪(如Cressington 108auto),对于热敏性样品几乎不会产生任何热量. 在高倍SEM下可看到颗粒尺寸. 

Gold/Palladium金钯合金

溅射率低于纯黄金. 与Au相比,Au/Pd 的颗粒更小,但由于其有两个峰,所以不是很适合EDS分析,也不是很适合热敏性物质镀膜。

Palladium钯

成本低,可用于中低放大倍数场合,具有更低的SE信号

Platinum铂金

具有比Au 或 Au/Pd更小的溅射颗粒。但溅射率更低。如果有氧气,则应力开裂的敏感性。有更高的SE产出。

Platinum/Palladium铂钯合金

颗粒大小与Pt差不多,但应力开立的敏感性较小。非常适合FESEM,但更适合高分辨率镀膜仪208HR.

Silver银

成本低,可用于中低放大倍数场合,颗粒比Au大. 适合于小型SEMs。与Au或Pt相比,SE产出更低。. 如果样品没有放在真空环境下,则镀膜表面易氧化. 可用于特殊的EDS工作.

Chromium铬

非常细的溅射颗粒,适合于 FESEM. 为避免氧化,需用于208HR一样的高真空镀膜仪。镀膜后的样品只能存放在高真空环境中. 溅射离子直线下落。适合生物样品的BE成像,溅射产率低。

Iridium铱

非常细的溅射颗粒,适合于 FESEM,需用于208HR一样的高真空镀膜仪,溅射产率低。

Tungsten钨

可替代Cr.颗粒非常细,但氧化非常快,溅射产率低。  

Nickel镍

可作为特殊的EDS应用, 不适合SE成像.适合BE成像,溅射产率低,镀膜易氧化。

Copper铜

适用于EDS. 适合中/低放大倍数场合,BE成像.

Note 1:铝的溅射产率非常低,对于SEM离子溅射不适用,且氧化非常快。
Note 2:碳zui适合于EDS应用,但很难溅射。碳的蒸发产率非常好。

 

 
 
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