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DISCO DAD3350半自动切割机
DAD3350半自动切割机操作规范
该设备 主 要 工 作 原 理 为 利 用 高 速 旋 转 的 主 轴 带 动 刀 片 高 速 旋 转
（30000r/min）在待切割样品表面进行预设程序的直线切割，切割时通有高
纯度的切割水对刀片和主轴进行冷却。通过X轴、 轴、Y轴和Z轴控制样品切
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割方向及切割高度，其中X轴负责待切割样品的水平方向传递、 轴负责待切
割样品的平面旋转角度，Y轴负责刀片进刀方向，Z轴负责切割高度的控制（如
2所示），同时该设备还配置了触摸式液晶显示器及形化用户接口，装配
了自动校准、自动对焦、自动检查刀痕宽度等影响识别系统，实现对切
割参数及程序的设定，并通过加工条件显示画面，对工作状态和设备运
行状态进行同步监控，保障切割完成质量。
3、 设备功能和规格指标：
（1）设备功能：该设备通过配置不同的切割刀，能够对硅片、陶瓷、玻璃或
难加工材料进行切割加工（目前配制了可切割硅片、玻璃、石英的切割刀，若有
其他材料片子需要切割请工艺工程师详细了解）。zui大加工尺寸为 8英寸
及其以下不规则样品（zui小加工尺寸为 2mm）。
（2）规格指标：
加工物尺寸（mm）及厚度（mm）范围 2~ 200、0.1~1.5
主轴
配置方式 单主轴
额定功率（KW） 1.8
zui大转速（/min） 60000
X 轴 进刀速度有效范围（mm/s） 0.1-600
Y 轴 zui小步进量（mm） 0.0001
定位精度（mm） 0.003 以内/260
Z 轴 重复定位精度（mm） 0.001
标准对应刀片直径（mm） 58
刀痕宽度 硅片（ m） 50~60
玻璃（ m） 200~300
4、设备说明：
该设备为 DISCO DAD3350 半自动切割机，附属设备为 DISCO DWR1720 水
循环系统，为切割机提供高纯度恒温切割水，实物如 3 所示， 4 为 DAD3350
设备说明。
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3 DWR1720和DAD3350实物
4 设备说明
5、开机操作：开机时间约 30min，请提前安排。
（1）打开DAD3350机柜背面墙上的排风开关，此时排风指示灯会亮起（红色）。
注意电源指示灯为一直打开的（绿色）。如5所示。
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5 排风开关及指示灯
（2）打开水循环系统DWR1720：
先打开DWR1720机柜背面的压缩空气开关（位置如6所示）；
然后再打开两个冷却水开关，先打开冷却水 out 阀门，再打开冷却水IN
阀门（7所示为off状态 8所示为on状态）；
zui后打开自来水开关（9所示，向左逆时针为关，向右顺时针为开）。
6 水、气开关位置
排风 开
排风启动指示灯
水、气开关
位置
排风 关
电源指示灯
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7 气体off和冷却水off 8 气体on和冷却水on
9 自来水开关
（3）检查DWR1720背面黑色电源开关是否在0N档位。如10所示，若不在ON
档位将其打至ON档位，此开关平时关机时不关闭（为防止设备发生漏水情
况时无法报警）。
10 DWR1720电源开关
（4）打开DWR1720 LED屏开关：如11所示，将钥匙旋转到ON，再旋转到
START等待一秒以上，至11所示指示灯亮起后松开，钥匙会自动回复到
ON档位，此时LED显示屏开启如12所示，点击右下角START按钮，设备
自来水开关
压缩空气 压缩气体
冷却水 IN
冷却水out
冷却水 IN
冷却水 out
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开始运转。（注意勿点击该显示屏上任何其他开关及改动任何参数数字，
若改动将使设备无法正常运行）为了使切割所用的切割水纯净度保持良好，
该设备打开后需等待CLEAN 15min。
11 DWR1720 LED屏开关
12 DWR1720 LED显示屏
（5）检查DAD3350机柜背面黑色电源开关（ON为开，见13），若不在ON档
LED屏开关
指示灯
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位打到ON上。此开关平时关机时不关闭（因为此设备配置了UPS，防止其
将电耗光）。
13 DAD3350电源开关
（6）打开DAD3350 LED屏POWER开关：见14，将钥匙旋转到ON，再旋转到
START档位等待一秒以上，至15所示指示灯亮起后松开，此时钥匙会自
动回复到ON档位，同时LED触摸屏及设备开始运转，如15所示。等待约
1-2min后LED显示屏显示出主界面，如16所示，检查压缩空气气压是否
在0.5MPa以上，若低于此值请勿执行以下操作并通知设备工程师。
14 DAD3350 LED POWER开关
LED power开关
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15 DAD3350 LCD显示屏启动中
16 DAD3350主界面
（7）在0.0界面点击系统初始化，等待系统自动初始化完成。如17所示。
0.5Mpa以上
指示灯
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17 系统初始化
（8）等DWR1720水系统15min CLEAN完成后在0.0界面点击主轴电极使其开启，
等待主轴旋转到30000r/min后点击切割水将其开启，使刀片做15min的
WARM UP（见18所示）。完成后再点击主轴电机和切割水将其关闭。
系统初始化
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18 WARM UP操作
（8）此时开机操作结束。在等待时间内将需要切割的样品片贴膜准备好(使样品
片处于框架的正中心位置，背面完全无气泡（如19所示），若有气泡将
会导致切割片子不平整进而影响切割高度)。
19 待切割样品
6、切割操作：
（1）进入 4.3 界面（ 22 所示），进行刀片测高操作（该高度表示的是切割刀
与 TABLE 工作台表面之间的高度）。点击 F4 进行敏感器校准测高（ 23 所示），
点击 START 等待测高完成。完成后依次点击 EXIT 退回 0.0 主界面。注意每次
切割均需要先测高（因为每次使用后刀片都会有一定量的磨损导致高度发生变
主轴
电极 切割水
框架
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化），若是刚开机和换新刀进行 F4 敏感器校准测高，若不是刚开机和换刀而是
同一把刀接着切割实验时，进行 F3 非接触式测高。
22 刀片测高界面
23 敏感器校准测高界面
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（2）将贴膜好(背面完全无气泡，否则会影响切割高度)需要切割的样品及框架
放置于切割台上，放置时需要找准位置，将框架上的两个缺角对准切割台
的两个螺钉放置，如 24 所示。然后将样品腔门关闭，点击 0.0 界面上的
C/T 真空（如 25 所示）其真空值需在-89 左右（若高于此值请停止以下
操作并通知设备及工艺工程师，以防发生意外），确保待切割样品与 TABLE
吸附好。
24 切割样品放置
螺钉1 螺钉2
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25 C/T 真空
（3）进入 3.0 界面选择/创建切割文件（ 26 所示）。可以在原有的切割文件上
做拷贝后修改。然后点击 ENTER，进入参数修改界面（ 27 所示）。
26 型号参数目录
C/T真空
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（4）编辑切割参数：在 3.1.2 界面（ 27 所示），需要设置的参数为以下参数：
①尺寸：系统默认以样品台中心为切割片中心，而切割时为防止碎刀，需
要有一定量的空切，由于贴片时不能完全保证样品在框架的中心，因此设
置尺寸参数时需要在原始尺寸上加上 30mm 的余量，以防止出现碎刀，从
而破坏切割刀片，一旦出现碎刀，该刀片即刻报废不能再使用。
②晶片厚度：即待切割样品的厚度，到 0.001mm，需要实验前自己测
试好。
③膜片厚度：即所贴膜的厚度，到 0.001mm，该参数为已知参数。
④CH1 和 CH2 的刀片高度：该高度为切割剩余高度，即切割时样品台与刀
片之间的高度。切割时要求不能将膜切透从而破坏样品台，因此该高度不
能小于 0.06mm。
⑤进刀速度：即切割时刀片的移动速度，该参数需要通过实验工艺获得并
调整，设置时请与工艺工程师沟通再设置。一般切割较硬的样品时，进刀
速度不宜过快。
⑥Y 轴移动量：即每刀之间的间隔量。
注意切割参数必须设置准确，并且其余参数勿改动，否则会发生碎刀。设
置每个参数后都要点击 ENTER 进行保存。设置完成后点击 EXIT 退回 0.0
界面。
27 型号参数设置
（5）定义切割方式：进入 2.0 界面（ 28 所示），点击 F4 进入半自动切割 2.4
界面 ( 29 所示)，点击 F4 进入手动校准 2.4.4 界面 ( 30 所示)。
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28 手动操作界面
29 半自动切割界面
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30 手动校准界面
①首先进行拉直操作（目的为使切割基准线与划片槽完全重合），如30所示，
点击左侧像显示区域找到划片槽或切割位置，点击F4和F9进行基准线宽度调整
使其与划片槽宽度大小一致。
②点击SCAN窗口的方向按钮调节基准线位置使其处于划片槽中心位置（如31
所示），注意SCAN调节时zui后一下必须是点击向上的按钮，以后任何SCAN调节
时都是如此。
③点击F5 角校正，像会切换到水平位置的另外一边，再次点击SCAN窗口的方
向按钮调节基准线位置使其处于同一切割道中心位置，然后再次点击F5回到起始
位置。
④反复几次以上操作直到反复切换F5后基准线不再偏移切割道为止。
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31 手动校准界面
（6）设置切割位置：2.4.4 界面设置完成之后点击 ENTER，进入 2.4 界面如
32 所示。在像显示区域点击调整基准线到需要切割的位置，设置切割刀
数，点击向后/向前切割保存参数（注意其余参数均不需设置和修改，否则
会导致碎刀）。设置完成后，点击 START。此时设备开始自动切割。
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32 半自动切割界面
(7) 切割界面：切割时界面如33所示，系统会根据设置自动进行切割刀数计
算和刀痕检查以及测高检查。在此过程中需要注意出现的报警情况，若出现需要
及时设备及工艺工程师进行参数修改。
注：①刀痕检查为系统自动进行，目的为保证切割质量，若超过设置量则会出现
报警并停止切割。其具体检查参数为：
刀痕点数：60%，小于该值会发生报警；
刀痕宽度：上0.05mm，下0.02mm，大于任意一个值时会报警；
偏离中心线：0.010mm，大于该值时会报警；
容许崩砕尺寸：0.050mm，大于该值时会报警；
崩砕面积：500pi el，大于该值会报警。
②测高检查为系统自动进行，目的为及时测试刀片磨损情况，保证切割质量。
其具体检查参数为：
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33 切割界面
（8）切割完成后系统会自动报警停止如34所示，此时点击右上角解除/警报即
可。点击EXIT退回0.0主界面。然后关闭C/T真空，打开样品腔，用吹气qiang将样品
表面的水和样品台的水吹干后如35所示（注意需将TABLE表面及周围的水吹
干，防止杂质堵塞陶瓷表面），将样品取出。此时切割流程完成。
34 切割完成界面
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35 取样
（9）若接着切割重复（1）-（8）操作。
7、关机操作：
（1）将样品室关闭，在 0.0 界面点击系统初始化。
16 系统初始化
（2）关闭 DAD 3350 的 LED 屏 POWER。将 13 所示钥匙转到 off。（若长期
关机需要关闭 DAD 3350 背面黑色电源开关，将其打至 OFF 档，如 12
所示。再依次关闭 UPS 的 POWER 开关和阀门开关。平时关机无此操作。）
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13 DAD3350 LED屏 POWER开关
12 DAD3350电源开关
（3）点击 DWR1720 的 LED 显示屏上的 STOP 按钮，然后再点击 STOP，如
34 所示。等待设备和泵运行停止后（约 1-2min）， 将 LED 屏的开关钥匙
转到 OFF 档，如 35 所示。（若长期关机需将 DWR1720 背面黑色电源开
关打至 OFF 档，如 9 所示。平时关机无此操作）。
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34 关闭DWR1720 LED屏
35 关闭DWR1720 POWER
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9 DWR1710电源开关
（4）首先关闭DWR1750背面的压缩空气开关；
然后再关闭两个冷却水开关（6所示为off状态 7所示为on状态），先关
冷却水IN，再关闭冷却水out；
zui后关闭自来水开关（8所示，向左逆时针为关，向右顺时针为开）。
关机完毕。
6 气体off和冷却水off 7 气体on和冷却水on
压缩空气 压缩气体
冷却水 IN
冷却水 out
冷却水 IN
冷却水out
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8 自来水开关
（4）摁下DAD3350背面墙壁上的排风 关按钮关闭排风，此时排风启动指示灯
熄灭（红色熄灭），如4所示，注意电源指示灯（绿色）为一直开启的。
关机完毕。
4 电源及排风开关
8、安全注意事项：
（1）DWR1720水循环系统显示屏上的参数均为调试设置好的参数，请勿改动，
否则无法进行实验。
（2）DWR1720水循环系统的自来水开关实验结束必须关闭，以防发生跑水。
（3）DAD3350切割机换刀操作必须由设备工程师进行，请勿自己换刀，以免发
生危险。
（4）DWR1720和DAD3350出现警报信息时，除切割完成时的警报，均需要通知
设备工程师或工艺工程师后再解决，不可擅自做主。
（5）切割参数设置时，切勿修改操作规程上没有规定修改的参数，若有特殊需
自来水开关
排风 开
排风 关
排风启动指示灯 电源指示灯
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要需工艺工程师后进行修改。
（6） 切割进行时，勿随意打开样品盖和防水盖。
（7）该设备要求尺寸参数一定要（0.001mm），因此设置参数前请事先测
试好片子的尺寸、厚度等基本信息。
（8）不准动计算机的系统程序、辅助文件和其他人的子目录。不准动设备的任
何部分，包括零件、部件等。
9、常见问题与解决方法：
（1）问题：
原因：
解决方法：
10、参考资料：
DAD3350半自动切割机中文操作手册
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