价格:面议
生产地:德国厂商性质:代理商
品牌:型号:
载波包络相位调谐仪,色散测量仪,双频激光干涉仪,激光平面度测量仪,粗糙度轮廓仪,辊筒平行度测量仪
上海贝丁汉工业自动化设备有限公司 主要从事各种进口仪器仪表、机械设备、电子产品及其配件等的销售和技术服务工作。 为英国Scantron Industrial Products Ltd公司总代理,美国Hamar Laser Instruments Inc公司中国总代理,德国JENAer公司中国总代理和匈牙利CE Optics中国总代理。经营的主要产品包括光学粗糙度轮廓仪、在线厚度检测仪、激光直线度测量仪、激光平面度测量仪、激光平行度测量仪、激光垂直度测量仪、孔同轴度检测仪、主轴对中仪、孔对心轴对中检测仪、激光几何测量系统、双频激光干涉仪、多点温度测量仪、相位波前角色散测量仪、材料色散测量仪、载波包络相位调谐仪等。
本公司的激光仪器主要为激光准直、对中、校正和系统检测。功能包括各种机械设备和部件的平面度检测、直线度检测、平行度检测、垂直度检测、孔的同轴度检测、车床和车削中心的主轴对中检测、联轴器和电机轴的对中校正检测等。广泛应用于机床加工中心几何量检测、航空航天设备的组装和工装的校正、船舶制造工业标线和艉轴管检测、汽车发动机同轴度、电厂汽轮机隔板同轴度、各种印刷造纸注塑设备辊轴的平行度的检测,及机床的定位、补偿和运动平台的微位移检测等。
在德国,耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔(JENAer)公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪,并非单频干涉原理。
产品功能
定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量,还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等,从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。
性能优势
l 真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意 激光干涉仪 和 双频激光干涉仪 的区别。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l 测量系统采用模块化设计,各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能(如仅测量直线度),则仅采购所需功能部分的光学部件(直线度光学镜),其他不需要的功能暂时可以不采购;若后期有其他功能的需求,补充采购功能对应的部件即可。 l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为 0.002ppm,在产品寿命内可达 0.02ppm。 l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达 0.4ppm。 l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。 l 采样频率更快,zui高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l 被测物体zui大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。 l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。 l 信号延时 200ns;对电磁干扰不敏感。 l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,请选用ZLM800型双频激光干涉仪,zui多可实现六轴联动。
工作原理
型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm,640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量,不会出现干扰误差,信号延时时间极短。 采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
技术参数
型号:ZLM700 使用高性能数据处理器AE950 PCI He-Ne激光平均波长: 632.8 nm 激光稳频精度: 一小时2x10-9( 0.002ppm) 寿命内2x10-8( 0.02ppm) 系统精度(0-40℃时): 0.4ppm 光束直径: 6mm (可选3.2mm) 激光管突发zui大输出功率: 1mW (激光等级2) 每束光可测量的轴数: 1 线性测量距离: 40m,可扩展为120m 角度测量范围: 15 ,20m轴线范围 平面度测量范围: 20m行程 直线度测量范围: 5mm,2m或10m行程, 选用角度干涉仪可测30m行程 垂直度测量范围: 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉仪 zui大速度: 4m/s,可选16m/s 80rad/s,角速度 zui大加速: 无限制 zui高采样频率: 内部1MHz,外部40MHz 预热时间: 10分钟 精度/非线性: 0.3nm (角隅反射镜) 0.1nm (平面反射镜) 距离测量分辨率: 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 距离测量精度: (20 0.5 ) 使用AUK时 (20 0.5 ) 真空中时 0.4ppm ( /m) 0.08 ( 0.02)ppm ( /m) 线性度测量分辨率: 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 线性度测量精度: (20 0.5 ) 使用AUK时 (20 0.5 ) 真空中时 0.4ppm ( /m) 0.08 ( 0.02)ppm ( /m) 速度测量精度: 0.5ppm实测值 角度测量分辨率: 0.015 rad (3x10-3 弧秒) 角度测量精度: 0.1ppm实测值 平面度测量分辨率: 0.015 rad (3x10-3 弧秒) 平面度测量精度: 0.2%实测值 0.05 弧度/米运行距离 直线度测量分辨率: 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程 直线度测量精度: 0.5%实测值,2m行程 2.5%实测值,10m行程 垂直度测量分辨率: 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程 垂直度测量精度: 0.5%实测值2m, 0.5弧秒* 2.5%实测值10m, 0.5弧秒* 数据接口: 积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt 20 ns 数据分析标准: ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作环境: 温度:15 C-30 C 湿度: 90%无冷凝 储存环境: 温度:10 C-40 C 湿度: 95%无冷凝
应用光路图
以上为直线度测量示意图,包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本(中文).pdf
激光干涉仪说明书(中文).pdf