手机版|
二维码|
各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、太阳能光伏设备、集成电路装备、真空非标系统研发生产、各种实验室特殊需求仪器的制造
沈阳鹏程真空技术有限责任公司是由几位中科院博士生联合创办和管理的高科技研究型企业。公司业务部主要分为太阳能发电领域事业部和科学仪器事业部两大部门。
太阳能发电领域事业部以致力于光伏发电系统集成研究、光伏设备研发生产为主导。鹏程真空光伏部与国内外多所著名高校、电力设计研究院、业内知名企业及相关生产企业建立了战略合作伙伴关系，拥有全套的光伏系统集成设计能力与配套产品供应。
科学仪器事业部主要从事研发生产，各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、太阳能光伏设备、集成电路装备、真空非标系统研发生产、各种实验室特殊需求仪器的制造。
主要组成
高真空电弧炉系统主要由电弧熔炼真空室、电弧枪、电弧熔炼电源、五工位水冷铜坩埚、翻转机械手、真空吸铸装置、磁力搅拌、工作气路、系统抽气、真空测量及电气控制系统、安装机台等各部分组成。
极限真空：2.0x10-4Pa。
系统漏率小于5.0x10-8Pa.l/S。
系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；
停泵12小时后真空度 6Pa.
1、电弧熔炼真空室组件 1套
高真空电弧炉立式圆筒型真空室尺寸： 350mmX350mm，前开门，双层水冷结构，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面电化学抛光处理，接口采用金属垫圈或氟橡胶圈密封
2、 电弧熔炼阴极组件 1套
水冷电动电弧枪：1套（引弧方式为非接触）
3、 水冷铜坩埚组件 1套
4、 机械手组件 1套
用于真空下翻转合金锭；
机械手组件有水冷装置。
5、 窗口及法兰接口部件
6、工作气体气路 2条
7、抽气机组及阀门、管道 1套
8、工作本底真空获得: 分子泵+机械泵
9、真空测量及电控系统
