说明:
uKSA 系列超高精密电动平移台,按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品,是卓立汉光开发的新型电移台,该系列电移台技术指标达到国际水平。 如:闭环分辨率0.1μm,每100mm行程,直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光 加工、超精密的三维扫描测量等。
● 铸钢底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定
● 内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm
● 采用进口超高等级滚珠丝杠,可实现超高定位精度
● 采用进口超高等级交叉滚柱导轨,具有超高运动性能
● 标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音