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可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。 标签： Horiba流量计，SEC-Z514，SEC-Z524，数字式质量流量控制器
Horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM属于SEC-500X系列，多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器
高性能高端数字式质量流量控制器
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应： 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以最大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)；
SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)
满量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm
特点
质量稳定性
HORIBA STEC. 工业领先商优质的稳定性
HORIBA STEC， 是一个全世界设备制造商的欢呼品牌，其中一个体现就是HORIBA STEC不断供应高质量，高稳定性产品来满足高规格的标准。
可靠供应
HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备：
Kyoto，作为HORIBA STEC的总部；
Aso，HORIBA集团的主要制造工厂，以生产最新设备为特色；
以及两个位于美国（CA，TX）基地，作为超快供应商。
全球支持
全球网络机构值得信赖的支持系统
通过全世界的网络分支机构，HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC产品提供完全支持。
RoHS 标准
符合所有RoHS 规定
规格-数字-模拟转换模式
型号*1
SEC-Z512、Z514
SEC-Z512MGX
SEC-Z522MGXN
SEC-Z522MGX
SEC-Z514MGX
SEC-Z524MGXN
SEC-Z524MGX
全标准流量
(N2 转换流量)
1/2SCCM
10SCCM-10SLPM
10-50SLM
阀门类型
O: 通常打开 C: 通常关闭
完全关闭控制阀时的流量
≤ 2% F.S.
流量测量范围
0-100% of F.S.
精确性*2
±1.0%F.S.
±1.0%S.P.(流量 25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作温度
5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)
响应
≤ 1 秒:超过全流量范围
直线性
≤ ±0.5% F.S.
反复性
≤ ±0.2% F.S.
工作压差值
≤ 300 kPa (d)
最大工作压力
450 kPa (g)
耐压
1000 kPa (g)
外部泄漏率
≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量设定信号
0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高
流量输出信号
0 -5 V DC (0% - F.S.); 最小负荷阻力 2 kΩ 或更高
数字界面
地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)
F-Net 协议,DevceNet
接液部材质
316L 不锈钢(表面抛光)
电源
+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信号反应
模拟: D-Sub 9-pin (TOP)
数字: 2 LAN jacks (TOP)
标准接头*3
1/4 inch VCR
1/4 inch VCR
1.5 inch IGS
选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
可选1.125 inch IGS
安装方向
自由
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS: 完整气体系统
*SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
