加热型紫外臭氧清洗机

PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM TEM，紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

技术参数

电源

AC 208~240V，单相 50/60Hz

紫外灯

可发出双波长的水银灯

功率：55W

发出光的波长：254 nm 和185 nm

使用寿命：2500 小时（可在本公司购买紫外灯来更换）

照射区域：200 x 200 mm

腔体 样品台

不锈钢壳体

抽屉式样品台，以便放样取样

样品台面积310 mm x 320 mm

臭氧通风装置安装在腔体上

样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm（可调）

样品台可以加热，最高温度可达150℃

可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

设备运行时间：0.01 秒-99.9小时

排气口

直径为80mm的排气口安装在仪器后端

请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

仪器中不包含橡胶管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重

28kg

质保期

一年质保期，终生维护（不包含紫外灯）

应用

去除分子级别的污染物

紫外光固化粘合剂

紫外光催化

氧化PDMS

表面消毒

刻蚀

清洗MEMS 器件

清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片