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搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
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Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器
LV-F20，LV-F30，LV-F40
概要Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
特征通过采用数字回路，实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
选型要求：按以下规格确认型号，并请提供参数：介质名称、量程、接口尺寸。
規格名称
质量流量控制器
型号
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5〜100% F.S.
对象液体种类*1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度*2
最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3
±1% F.S.
直线性*3
±0.5% F.S.
重复性*3
±0.5% F.S.
响应精度
3秒以内(T98)
2秒以内(T98)
使用环境温度*4
5〜50℃(15〜45℃精度的确保)
温度影响Span
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
工作差压值*5
0.05〜0.3MPa
耐压
1MPa
压力损失
ー
流量设定信号
模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号
模拟：0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格
PO类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO类型：5×10-12Pa•m3/s (He)
接液部材质
PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO类型：SUS316L，Ni
标准接头
1/16”，1/8”卡套；
1/8”VCR
1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
1/4”SWL类型1/4”VCR类型
名称
质量流量计
型号
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5〜100% F.S.
对象液体种类*1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度*2
最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3
±1% F.S.
直线性*3
±0.5% F.S.
重复性*3
±0.5% F.S.
响应精度
3秒以内(T98)
2秒以内(T98)
使用环境温度*4
5〜50℃(15〜45℃精度的确保)
温度影響Span
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
工作差压值值*5
最大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀)
耐压
10MPa (视为流量计)
压力損失
最大值. 500Pa
流量设定信号
模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号
模拟：0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格
5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材质
SUS316L, Ni
标准接头
1/16”，1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
1/4”SWL类型1/4”VCR类型
*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 最大值，0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
LV-F20，LV-F30，LV-F40
概要
Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
特征
通过采用数字回路，实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
