美国Rtec非接触式光学轮廓仪/形貌仪

美国Rtec公司的WLI非接触式光学轮廓仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状，干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦，白光共焦，拉曼光谱仪等，可以把这些设备自由组合在一起，以实现客户的不同需求
WLI有如下特点
快速直观的操作
较高的计算程序，精确的高测量速度和简便的操作软件，使用户能够快速的分析和创建报告
多个物镜
该WLI-1000 带有6物镜转轮，包括多个物镜：长焦，短焦，不同数值孔径，投射镜头等
电子器件
先进的控制器，低机械噪声，自校准系统，可选波长，64位并行处理器，标准分辨率达到1920*1920
硬件
WLI-1000能够被固定到全自动化的平台，高强度LED10年保修，高级精加工零部件，低能耗，远程访问，内置相机侧视图，有效照明等。
软件
三维虚拟软件
影像分析
多种标准，粗糙，平面，波浪以及其他表面参数
微粒（粒子）和细孔分析
力曲线分析
附带傅里叶分析
过滤
用户界面报告的创建和编辑
影像编辑特征-光，颜色等
尺寸，表面积，体积，承载比分析
纹理计算，分类，其他纹理分析
光谱和分形分析
先进的统计分析
能够输出原始数据，影像，全部报告
数个可用的附加功能
参数：
内校准
4百万像素
可选波长
高强度长寿命LED
1920*1920成像
64位中央处理器
低机械噪声
并行处理
6物镜转轮
技术规格

Vertical Resolution
垂直分辨率 0.1nm
0.1nm Turret
upto 6 objective turret (manual or automatic)
6镜头转轮（自动或手动） Scan Range
扫描范围 Up to 150mm x 150mm
最高达150mmx150mm Sample thickness
试样厚度 upto 100mm
最高达100mm FOV
upto 10mm
最高达10mm Objectives
10x,50x
10倍，50倍 Z focussing range
Z轴方向聚焦范围 nm to 10mm
0.1nm到10mm Scanning area
扫描区域 150x150mm
150x150mm Tilt
倾斜角 +/- 7 degree
+/-7度 Rotation (theta)
平台旋转范围 360 Degree
360度 Pixel
Standard 1024 x 1024
标准1024x1024 产品优势