如何选择INFICON真空计

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文档简介 如何选择INFICON真空计 一，皮拉尼真空计 1.皮拉尼真空计原理 加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度 由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系 2.衍生出两种类型的皮拉尼规 1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500） 2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规） 3.气体的热传导，与下列提条件有关: 1，气体类型 2，压力大小 4.皮拉尼真空计测量范围与精度 测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5x10-4至1000mbar 精度（氮气）:1x10-3…100毫巴±15% 5x10-4…1x10-3毫巴±50% 100...1000毫巴±50% 5.皮拉尼真空计的优特点 灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命 6.皮拉尼真空计具体型号 lPSG050/051 lPSG100-SPSG101-S lPSG500/500-SPSG502 l皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG550 1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起 2.两种原理的规管全过程都工作 3.100mbar1000mbar使用薄膜规信号 4.1mbar100mbar两规信号同时采用 5.5x10-4mbar1mbar采用皮拉尼信号 6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃 7.皮拉尼真空计应用行业 l各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业 l各种中低真空测量，如照明，冶金 l真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100 lPSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 lPCG400PCG410（现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产）与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用 lPSG100PSG101，与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛 二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200 1.电容薄膜规工作原理 l压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系 l通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度 2.电容薄膜规特点 l以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成 l在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量 l快速的预热和恢复时间,提高生产率 l卓越的长期稳定性,再现性和重复性 l由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 l对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定 l快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态 l一键按钮:调零功能和设点调整 l抗腐蚀超纯陶瓷传感器 l能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象 l暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀 l对蒸气介质不敏感 l先进的传感器屏蔽（专利）延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命 3.INFICON陶瓷技术 l陶瓷技术的优越性 1，无“记忆”效应 2，陶瓷无疲劳问题 3，最好的温度补偿 4，卓越的零点稳定性 l低使用成本 1.非凡的使用寿命 2.无需隔离阀 4.SkyCDG025D测量范围 5.加热型薄膜规 6.加热型优点 l零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境） l更高的精度 l环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 l比工艺更快的预热启动时间’ l快速恢复时间大气压 1minwithin5mV l任意安装角度 l抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响 7.电容薄膜规的应用 要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量 l用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。 l资料贮存和显示器制造设备 l工业真空设备 l常用高精度真空测量 三，热电离规 1.热电离规原理 Richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子 1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出 2）离子流的大小与气体压力成比例关系 2.两种类型热电离规 3.热电离型复合规 lHPG400 lBPG400/-SP/-SD/SR lBPG402 lBCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起 l 4.优点及应用 lBPG n测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-101000mbar n精度高，极好的重复性5% n灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。 n方便的校准调节 n注意事项： u对气体有选择性 u抗污染能力弱 n普遍应用于从低到超高真空的测量 n在工业，半导体，研究行业应用广泛 lBPG402 n双灯丝，大大延长使用寿命 n电离规的工作可以自定义控制 n探头备件自带校准参数，保证精度与重复性 lHPG400 n电离规与皮拉尼的复合 n皮拉尼自锁保护电离规 n电离规的工作启动点可以一定范围内自定义 n简易的校准功能 n相对便宜的价格 lBCG450 n可调的电离规工作起点 n极佳的重复性 n精确的大气端测量 四，冷电离规（潘宁规） 1.冷电离规原理 通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离 2.潘宁规特点与应用 l测量范围：5x10-9to1x10-2mbar l全金属密封 l无灯丝 l易清洗 l应用于普通的高真空测量 3.冷规复合规MPG400特点与应用 l冷规与皮拉尼规的复合 l测量范围广：5x10-9-1000mbar l易于保养清洗 l无高真空灯丝， l应用于普通高真空测量 4.冷规及复合规性能比较
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