
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。光刻胶根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能,将光刻胶作涂层,就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。
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