台阶仪

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式。台阶仪测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好。 精品推荐
品牌： 美国KLA 型号： P-7 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

品牌： 美国KLA 型号： Alpha-Step D-500 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

品牌： 美国KLA 型号： Alpha-Step D-600 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

品牌： 美国KLA 型号： P-17 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

品牌： 美国KLA 型号： P-170 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。

品牌： 日本KOSAKA 型号： ET150 产地：日本 供应商：上海昭沅仪器设备有限公司

KOSAKA LAB ET 150台阶仪设备特点： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 150配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 规格 一、定工件： 1. 最大工件尺寸：φ160mm 2. 最大工件厚：50mm 3. 最大工件重量：2kg二、出器（pick up）： 1. Z方向定：Max. 600μm 2. Z方向分解能：0.1nm 3. 定：min.1mgf,max.50mg 4. 半：2 μm 5. 方式：直式 6. 再性：1σ= 1nm三、X (基)： 1. 移动量(最大)：100mm 2. 移的真直：0.2μm/100mm 3. 移,定速：0.02 ~ 10mm/s 4. 性尺(linar scale)：分解能 0.1μm四、Z： 1. 移动量：50mm 2. 移速度：max.2mm/S 3. 出器自停止能 4. 位置定分解能：0.2μm五、工件台： 1. 工件台尺寸：160mm 2. 械手倾斜： 1mm/150mm六、工件察：max.110 倍(可其它高倍CCD)七、床台：材花岩石八、防振台()：地型或桌上型九、源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA十、本外尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震台)

品牌： 美国AEP Technology 型号： Nanomap-LS 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪， NanoMap-LS接触式三维表面台阶仪NanoMap-LSNanoMap -LS探针接触式 台阶仪特点探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从150mm X 150m 。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。接触式探针台阶仪在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察针尖扫描采用双光学传感器，拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （最小０.１nm ）软件设置恒定微力接触简单的2步关键操作，友好的软件操作界面、应用台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代。三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测环境要求湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）电源要求：110/240V，50/60 Hz技术规格标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100um系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm光学照明 软件控制暗场和亮场电脑 Pentium IV, USB2.0联接操作系统 Win XP系统动力需求 90-240V，350W空间尺寸 20宽X 22长 X 25高重量 160lb 关键词：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪、

品牌： 日本小坂 型号： ET4000 产地：日本 供应商：上海恒一精密仪器有限公司

仪器简介：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected from a number of models according to applications. ET4000A: Multifunctional and automatic ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample ET4000M: Reasonable, high performance and general-use技术参数：Max. sample size 210 × 210 mm to 300 × 400 mm Repeatability 1 σ within 0.5 nm Measuring range Z: 100 μm X: 100 mm (Y stroke: 150 to 400 mm) Resolution Z: 0.1 nm X: 0.01 μm Measuring force 0.5 μN to 500 μN主要特点：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected from a number of models according to applications. ET4000A: Multifunctional and automatic ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample ET4000M: Reasonable, high performance and general-use

品牌： 日本小坂 型号： SE500 产地：日本 供应商：上海恒一精密仪器有限公司

仪器简介：SE500是先进的，紧凑设计和高性能的粗糙度、波纹度和台阶测量仪。 兼容各种参数和执行的多个标准同时分析。 以满足所有应用程序的优秀可扩展单位 便携级机型中最长的驱动范围和直线度 带有开关控制器的集成触摸面板 更宽幅的打印纸 能够和各种应用兼容的组合技术参数：标准 JIS(2001/94/82),DIN,ISO,ASME 测量范围 Z:800μm X: 55 mm 最小分辨率 0.08nm 测量倍率 Z: 50-200,000 or Auto X: 1-1000 or Auto 测量速度 0.05-2 mm/s 组成 7 种型号，从便携式类型到固定类型主要特点： 便携级机型中最长的驱动范围和直线度 带有开关控制器的集成触摸面板 更宽幅的打印纸 能够和各种应用兼容的组合

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

仪器简介： 该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术，并与压电陶瓷（PZT）扫描完美结合，可以再不丧失精度的情况下，即得到超大样品整体三维轮廓图，又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台，有效解决了以往样品台扫面，由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。 三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。
1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 2、双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图 3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 5、针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （最小０.１nm ） 6、软件设置恒定微力接触 7、简单的2步关键操作，友好的软件操作界面

品牌： 美国TMI 型号： 产地：美国 供应商：北京丹贝尔仪器有限公司

仪器简介：JohnParker’s博士发明的测试 方法，PPS采用微处理机控制， 可以快速，准确测试出纸张在 印刷过程各种条件下的表面粗糙度。 试样夹在高灵敏度测试头和特殊设 计的背衬组件之间。测试气流通过 纸张表面阻力直接由内部计算成粗糙度以微米为结果单位显示。 最新型的设备扩展了夹样压力范围和测试能力，双面同时测试提高了功效。大容量信息的提供为我们节约了时间，最佳的模拟了印刷过程，节约了印刷成本。 技术参数： 测头数量：一个或两个(58-07-00-0001) 粗糙度测试范围：0.20 - 6.50m 高粗糙度测试范围：6.0 15.0m 透气度测试范围：ISO 5636/1: 0 14.5m.Pas 等同苯特森透气度测试范围：0-10000ml/min 等同葛莱透气度测试范围：1-6000s 夹样压力设定：500, 1000, and 2000kPa 夹样压力用户自定：100 5000kPa 符合标准：ISO 8791/4 and TAPPI T555 主要特点：触摸式按键 压缩空气清除试样表面灰尘 试样感应探头 一键显示数理统计结果 内置诊断故障程序 内置校准程序，可使用校准塑料片，也可使用标准纸样 包含校准组件 两个测试范围，可以测量高范围粗糙度 扩展了夹样压力，更好地模拟了实际印刷方式 同时测试试样双面粗糙度或同时测试粗糙度和透气度（仅限双测头型号）

品牌： 德国LT 型号： EK130 产地：德国 供应商：北京德华振峡科技有限公司（上海|汽车城）

采用经特殊处理的铝和花岗岩材质， EK130气浮旋转台采用空气静压轴承设计，LT气浮转台满足同心轴向径向操作的最高要求， LT公司的气浮旋转台规格： 标准直径60毫米，100毫米或150毫米气浮转台内孔可选。转台利用水冷却设计，使各款气浮旋转台不仅耐用，而且具有热稳定性。 EK130气浮旋转台可通过一个高转速（ 150转）和低于0.1弧秒的绝对精度结合实现超精密测量。这些测量单元的应用领域通常涉及内，外直径测量，而且作为一个超精密机床附加旋转轴。工件可以精确地固定到不锈钢支撑板，或者通过真空吸附固定。

品牌： 美国Rtec 型号： UP-DUAL MODE 产地：美国 供应商：南京冉锐科技有限公司

美国Rtec双模式台阶仪特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜白光干涉白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。 最好的技术来实现高Z向分辨率 白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。 快速图像处理系统达到400万像素 四色LED相机 更大的垂直测量范围达10毫米 150 mmx150mm马达控制平台。 样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。 SPIP专业数据分析软件原子力显微镜探针式轮廓测量能够进行材料在纳米尺度水平的测试。提供扫描范围70 x70um，探针更换简单。 最好的技术来实现Z和XY方向上的高分辨率 X,Y和Z方向上纳米级的分辨率和精度。 线性XY压电陶瓷扫描 包括振动和不振动的模式 可选的侧向力和相位模成像

品牌： 美国Rtec 型号： UP-Dual 产地：美国 供应商：南京冉锐科技有限公司

美国Rtec台阶仪特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜白光干涉白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。 最好的技术来实现高Z向分辨率 白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。 快速图像处理系统达到400万像素 四色LED相机 更大的垂直测量范围达10毫米 150 mmx150mm马达控制平台。 样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。 SPIP专业数据分析软件原子力显微镜探针式轮廓测量能够进行材料在纳米尺度水平的测试。提供扫描范围70 x70um，探针更换简单。 最好的技术来实现Z和XY方向上的高分辨率 X,Y和Z方向上纳米级的分辨率和精度。 线性XY压电陶瓷扫描 包括振动和不振动的模式 可选的侧向力和相位模成像

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap-LS（3） 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪， NanoMap-LS 接触式三维表面台阶仪NanoMap-LS 探针接触式 台阶仪特点：探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从150mm X 150m样品台扫描扫描范围到100mm纳米级抛光光学参考平晶实时彩色光学照相机直接观测双光学传感器 纵向测量范围最大至1000um，最小到分辨率0.1nm恒定微力接触 最小0.03mg简单友好的人机操作界面应用台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测环境要求湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）电源要求：110/240V，50/60 Hz关键词：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪、

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap­D（2） 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

NanoMap-D 台阶仪NanoMap-D三维台阶仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。台阶仪又名三维表面形貌或轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。NanoMap-D台阶仪测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高，稳定性好，材料应用面广。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；1、三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等3、表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面4、薄膜和厚膜的台阶高度测量5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量6、微电子表面分析和MEMS表征NanoMap-D台阶仪的主要特点：高精度卓越的纵向分辨率：0.1 nm ( 接触式)；2 nm（光学非接触式）对周围环境和光源的强适应性没有机械过滤宽阔的垂直测量范围多种选择光学头及接触式纵向扫描范围 300 to 3900 μm图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内试用于几乎所有的表面透明，不透明，反射光强等多种材料垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞脆性的材料，软材料，柔性材料表面尖锐的，坚硬的，磨损的表面适应性强白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的完美结合接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围联系方式：aep Technology电话：+86-010-68187909传真：+86-010-68187909手机：+86-15611184708何先生公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn 关键词：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪、表面台阶仪、关键词：轮廓仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面轮廓仪、三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap-500LS 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪NanoMap-500LS接触式三维表面台阶仪NanoMap-500LSNanoMap 500LS探针三维台阶仪特点 常规的探针台阶仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 接触式探针台阶仪在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （最小０.１nm ） 软件设置恒定微力接触 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面应用三维表面形貌/台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代。三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测环境要求湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）电源要求：110/240V，50/60 Hz技术规格标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm光学照明 软件控制暗场和亮场电脑 Pentium IV, USB2.0联接操作系统 Win XP系统动力需求 90-240V，350W空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高重量 160lb联系方式：aep Technology电话：+86-010-68187909传真：+86-010-68187909手机：+86-15611184708何先生公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap-D（2） 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪NanoMap-D是一款兼备了白光干涉非接触式和探针接触式的台阶仪。NanoMap-D三维台阶仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。台阶仪，主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高，稳定性好，材料应用面广。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；1、三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等3、表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面4、薄膜和厚膜的台阶高度测量5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量6、微电子表面分析和MEMS表征改款台阶仪 的主要特点：高精度 卓越的纵向分辨率：0.1 nm ( 接触式)；2 nm（光学非接触式） 对周围环境和光源的强适应性 没有机械过滤宽阔的垂直测量范围 多种选择光学头及接触式 纵向扫描范围 300 to 3900 μm 图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内试用于几乎所有的表面 透明，不透明，反射光强等多种材料 垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞 脆性的材料，软材料，柔性材料表面 尖锐的，坚硬的，磨损的表面适应性强 白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。 接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的完美结合 接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围联系方式：aep Technology电话：+86-010-68187909传真：+86-010-68187909手机：+86-15611184708何先生公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn关键词：轮廓仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面轮廓仪、三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪NanoMap-500LSNanoMap 500LS台阶仪特点 该款台阶仪是常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （最小０.１nm ） 软件设置恒定微力接触 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面应用台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测环境要求湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）电源要求：110/240V，50/60 Hz技术规格类型 项目 规格综述 小范围XY扫描头，提供高精确度XY平台扫描，提供大尺度测量带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选针尖扫描(Piezo扫描器) 台阶高度重现性 0.6nm垂直分辨率 0.1nm测量高度精细范围 5μm测量高度粗略范围 0.5mmXY扫描分辨率 0.1μmXY扫描定位重现性 0.2μm扫描速度 10-50μm/sec扫描范围 10-500μm每次扫描数据点 100-1000数据点最多至110000数据点样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm）XY平台定位重现性 5μm，2μm可选最大扫描长度 50mm扫描速度 0.1-5mm/secZ平台范围 55mm最大样品高度 50mm手动旋转平台范围 360度手动倾斜平台范围 ±2度标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm光学照明 软件控制暗场和亮场电脑 Pentium IV, USB2.0联接操作系统 Win XP系统动力需求 90-240V，350W空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高重量 160lb联系方式：aep Technology电话：+86-010-68187909传真：+86-010-68187909手机：+86-15611184708何先生公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn关键词：轮廓仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面轮廓仪、三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪

品牌： 美国AEP Technology 型号： NanoMap-PS 产地：美国 供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪 厚度47nm 标准样品,三次重复测量结果叠加 (无任何减噪修正，原始数据输出） 500um扫描, 2um探针NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪 AFM同款位移传感器，超高精度 压电陶瓷驱动扫描，绝对无内源振动 自集成主动反馈式防震系统 真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量 纳米量级科学研究的必备产品NanoMap-PS台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料，金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等；AEP的技术日新月异。 欲了解最新的产品性能参数，请与我们联系。主要参数: 垂直分辨率 0.1nm垂直最大量程 1000um探针接触力 0.03mg-100mg平台范围 直径150毫米（可选200毫米或更大）高清图像 4级放大，彩色CCD成像光源 双长寿命强光LED金刚石探针 0.5um 到 25um 可选电话：+86-010-68187909传真：+86-010-68187909手机：+86-15611184708何先生公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn关键词：轮廓仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面轮廓仪、三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪 stulye profiler，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，台阶仪，bruker，Daktek，Veeco，Dektak XT，Ambios， KLA-Tencor，D-100，D-120，ST-100，ST-200，ST-300，XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100,200,250,500)；α-step P6；α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)；α-step P16+0F； KLA-Tencor公司光学轮廓仪(白光干涉仪/ 移相干涉仪)；MicroXam 100；MicroXam 1200

品牌： 德国BMT 型号： LMT 产地：德国 供应商：佰汇兴业（北京）科技有限公司

德国BMT LMT密封轴导程测量系统 导程结构是密封轴在加工过程中进给方向上产生的微小的类似螺纹的结构。目前只有奔驰公司对此参数进行检测。 导程测量解决的是轴的密封表面问题。次设备对导致漏油的不良导程结构进行测量和检查。 符合Mercedes-Bens MBN 31007-7标准。应用案例● 圆柱型杆轴密封区的检测● 密封性能的检查检测● 密封轴结构的检测和评估产品特点● 专为检测车间地面而设计● 可以检测到最小的铅结构● 纵向的工件夹具，更加节约空间● 工件自动旋转● 电动化的测量头● 自动对测得的数值进行评估● 可以精确计算所有与密封轴的相关参数● 摆动自动补偿装置技术参数测量头● 测量范围[μm]：±250● 分辨率[nm]：10● 针尖半径[μm]：2旋转台● 旋转角[°]：360● 最小分辨率[°]：0.01自动触针驱动单元● X 轴向[mm]：20● Z 轴向[mm]：4

品牌： 德国BMT 型号： CMM 产地：德国 供应商：佰汇兴业（北京）科技有限公司

德国BMT CMM 粗糙度测量系统用于CMM探针的小型的粗糙度测量仪，可大幅度地降低测量成本。 技术参数ISO 3274参考标准系统精确度等级1测量原理针头、测量头参考标准数据来源平板玻璃精确度1 %测量误差0.5 %可测量长度12.5 mm针尖角度90°参数ISO, DIN 13565形貌、弯曲度、粗糙度ISO, DIN 15565核心粗糙度JIS B-0601粗糙度Daimler N 31007R3z过滤器Gauss, M50, M75, VDA2008数据导出USB, QDAS充电在胶卷盒中测量头尺寸49 mm x 24 mm x 34mm

品牌： 日本三丰 型号： SJ-401 产地：日本 供应商：东莞市广丰计量仪器有限公司

於鼻撬之，於表面螺、微段差曲面形的量都不倒它。 若搭DAT能，可化水平作使之更加容易。 使用高精度部+高分解能出器，可超高精度之量。 有富的，且可各的粗度格。 用控式大型液晶幕，高操作性。
品牌： 日本三丰 型号： SJ-310 178-570-01DC 产地：日本 供应商：东莞市广丰计量仪器有限公司

日本三丰表面粗糙度仪SJ-310各的粗度格表示。大型LCD幕窗，易於清晰取。使用控式面板(具抗污性)，操作易。任意度定能。按PRINT即可藉由藏式印表列印出量之果(可不同之列印方式)。藏充池，本方便也可收置出器。有富的：自校正能、理、合否判定能、客自行能判定能。型号SJ-310货号平移范围12.5MM测量范围300um(±150um)驱动／检测元件探测仪:178-390/178-395*测头:金刚石(测头半径:5um/2um*)测量力:4mN/0.75mN*探测方式:微感应评定轮廓P,R,DIN4776 profile,Motif估计参数Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr,δc,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,Lo,R,AR,Rx, A1,A2取样长度0.25,0.8,2.5,8mm显示LCD触摸式面板打印机热敏型放大倍数自动数据输出自动电源通过适配器／电池可充电

品牌： 德国布鲁克 型号： DektakXT 产地：德国 供应商：广州领拓贸易有限公司

布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

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