干涉仪

干涉仪是很广泛的一类实验技术的总称，其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息，从而获得实验所关心的物理量。干涉仪的应用极为广泛，主要有如下几方面：长度测量、折射率测定、波长的测量、检验光学元件、引力波测量。干涉仪在天文学，光学，工程测量，海洋学，地震学，波谱分析，量子物理实验，遥感，雷达等等精密测量领域都有广泛应用。 精品推荐
品牌： 型号： 深圳中图 产地：深圳 供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

近日，我国自主研制的C919大型客机下线，这是中国自主研制大飞机的里程碑，也是中国高端制造业的突破性进展！产业发展和升级使得微电子、微机械、光学和现代超精密加工工业对检测精度的要求越来越高，同时要求更大的检测量程，而其他检测方法难以胜任，只有激光干涉检测技术可以在大量程内达到较高的测量精度，所以在高端制造领域得到广泛应用。在航空器的研制、试验、生产过程中，运用到大量的精密直线位移传感器，激光干涉仪可以对这些传感器进行精准的检测中图仪器推出的SJ6000激光干涉仪，采用进口高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学组件结合，实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器。1、在数控机床检定中的应用SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。数控机床轴定位精度、重复定位精度的检测2、在三坐标检测中的应用SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。三坐标线性精度、垂直度的检测3、在位移传感器中的应用利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。传感器线性精度的测量4、与其他镜组配合的应用SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有极高的精度和效率。测长机线性精度、垂直度的测量工业机器人标定汽车装配与夹具定位SJ6000激光干涉仪技术参数：技术线性测长精度：±0.5ppm(0~40℃)激光稳频精度：0.05ppm分辨率：0.001um

品牌： 型号： 深圳中图激光干涉仪 产地：深圳 供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

一.激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。二.激光干涉仪原理中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.激光干涉仪用途1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高。5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度角度比相计，可作为机床传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。四.激光干涉仪维护说明1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。 2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。五.SJ6000激光干涉仪技术参数

品牌： 型号： 中图激光干涉仪 产地：深圳 供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

一.激光干涉仪概述激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一，利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有极为广泛的应用，如利用F-P干涉仪和半导体激光二极管测量大型精密离心静态臂长；利用电子散斑干涉技术实现物体表面微小形变的非接触式测量、李永干涉合成孔径雷达实现对地表变形进行测量；利用相干梯度敏感干涉测量技术对静态断裂现象的测量；利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量、以及光学材料与器件的参数测量等。二.激光干涉仪用途激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。三.激光干涉仪原理一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633μm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。

品牌： 型号： 中图 产地：深圳 供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

一.产品简介 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。二.功能特点1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。5. 内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。三.激光干涉仪线性测量方法 （1）安装设置激光干涉仪 （2）将激光束与被测量的轴校准 （3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。 （4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。 （5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。 光束快速准直步骤 （1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 （2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动。 垂直光束调整 （3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。 （4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。 水平光束调整 （5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 （6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。 （7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。 （8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。 （9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集软件中显示的信号强度。

品牌： 美国API 型号： XD 产地：美国 供应商：美国自动精密工程公司广州办事处

仪器简介：APIXD激光干涉仪可以一机两用（干涉仪和自准直仪），同时一次安装可以测量(定位精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角）5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下，对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。先后开发了LMS和XD型激光干涉仪，该仪器的结构紧凑，光路调整方便（可直接安装在机床工作台或导轨上），仪器体积小、重量轻、更便携。尤其是XD型干涉仪，它改变了LMS型数字传送线的困扰，全程测量实现无线通讯功能。采用干涉镜和控制箱与激光头集成一体的设计理念，设计时充分考虑了系统稳定性，具有同类仪器所无法比拟的高效性、高便携性及多功能的特点。技术参数：五维（XD-5D）： 1. 线性精度：0.5ppm 2. 测量范围：40米（1维可选80米） 3. 线性分辨力：0.001um 4. 直线度精度：（1+0.2/m）um或1%显示值 5. 最大测量范围：+/-500um 6. 直线度测量距离：0-40m 7. 偏摆角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）或1%显示值 8. 最大测量范围：+/-800角秒 9. 垂直度精度：+/-1角秒 10. 温度精度：0.2摄氏度 11. 压力精度：1mmHg (特注：API公司在中国设有测量中心，可承接测量任务）主要特点：1. 方便携带（无控制电箱设计，全套系统总重小于15Kg） 2. 安装简便（两点式调光，无需三角架） 3. 高效测量（一次装调5-6个参数同时测出） 4. 高效补偿（空气温度，材料温度，空气压力）

品牌： 美国API 型号： 5D/6D 产地：美国 供应商：美国自动精密工程公司广州办事处

仪器简介：5D/6D激光干涉仪是API的专利产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反向后返回干涉仪与参考光束相干产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子记数，记录精确长度位移。第二束光用作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装在传感器内的横向疚光电二级管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降低到最小，从而保证测量仪的长期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到最小。技术参数：5D/6D标准型： 1. 线性：0.5ppm 2. 测量范围：40米（1D可选80米） 3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 4. 最大范围：800角秒 5. 滚动角精度：1.0角秒 6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 7. 最大范围：500um 8. 垂直度精度：1角秒 9. 温度：0.2摄氏度 10.湿度：5% 11.压力：1mmHg 5D/6D精密型： 1. 线性：0.2ppm 2. 测量范围：25米 3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值 4. 最大范围：400角秒 5. 滚动角精度：0.5角秒 6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值 7. 最大范围：300um 8. 垂直度精度：0.5角秒 9. 温度：0.1摄氏度 10.湿度：3% 11.压力：0.3mmHg 5D/6D高精密型： 1. 线性：0.2ppm 2. 测量范围：根据用户要求而定 3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 4. 最大范围：500角秒 5. 滚动角精度：0.5角秒 6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um 7. 最大范围：100um 8. 垂直度精度：0.5角秒 9. 温度：0.1摄氏度 10.湿度：3% 11.压力：0.3mmHg主要特点：1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米 4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。 5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

品牌： 美国API 型号： 产地：美国 供应商：美国自动精密工程公司广州办事处

仪器简介：API电子水平仪是双轴实时测量的高精度水平仪，是为坐标测量机和数控加工中心的评定而设计的，它可用于三坐标测量机以及加工机床的安装和性能评定。由于采用了双轴系统，可快速测量水平运动工作台的倾斜角、翻转角及水平轴与垂直轴的垂直度。双轴水平仪使实际测量时间比传统方式减少了50%以上。由于采用了先进的“液体电子”传感技术，水平仪在测量过种中具有很高的精度和一致性。技术参数：1.测量范围：±800秒（±5.8毫米/米） 2.分辨率：0.1秒（0.48微米/米） 3.精确度：±1.0秒或1%显示值（±4.8微米/米）主要特点：1.测量运动托板的倾斜，翻转及垂直度 2.建立机床基座的精确水平基准 3.使用高精度“液体电子传感”技术 4.同时测量双轴 5.没有机械运动部件 6.从本质上排除了所有外来误差

品牌： 英国雷尼绍 型号： XL80 产地：英国 供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL及QuickViewXL），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。LaserXL能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置RenishawQC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PCUSB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。 技术参数：系统精度: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数); 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数); 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;

品牌： 型号： 中图SJ6000 产地：深圳 供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

现代激光干涉技术是在人类关于光学的几乎全部知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比，具有一些独特的性质：单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量，广泛应用于各领域，已经成为人类认知世界的重要工具。 1604年开普勒（J．Kepler）写出光学著作，指出光的强度和到达光源距离的平方成反比。并于1611年出版《折射光学》。1801年托马斯?杨（Thomas Young）用双狭缝实验演示了光的干涉现象，即著名的杨氏双缝实验。 1881年迈克尔逊（Albert．A．Michelson）设计了著名的实验来测量“以太”漂移。当然没测到漂移，由此导致“以太”说的破灭和相对论的诞生。它首次用于干涉仪，以镉红谱线与国际米原器作对比。正是由于他的工作导致后来用光的波长定义“米”。由于他在精密光学仪器、光谱和计量领域的研究工作于1907年获得诺贝尔奖。 迈克尔逊激光干涉仪原理图1960年Maiman研制成功第一台红宝石激光器，从此开始了光学技术飞速发展的新时代。从此，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、转速、光谱等领域，并和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。 1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，1986年获得诺贝尔奖。从此开始了干涉仪向纳米、亚纳米分辨率和精度前进的新时代。 由于激光具有极好的时间相干性，自问世以来，已研制出多种激光干涉仪：单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗（F-P）干涉仪、X射线干涉仪等。 激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一。利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，已经在各个不同领域得到广泛的应用。 激光干涉仪机床检测应用中图仪器近期推出的 SJ6000激光干涉仪采用进口高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学组件结合，实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。线性测长精度：±0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。

品牌： 大连科德 型号： GDLM-10/20 产地：大连 供应商：科德数控股份有限公司

角度干涉镜放在激光头和角度反射镜之间的光路上。对于沿水平轴的俯仰测量，两个光学元件都是垂直放置的，对于扭摆测量，两个光学元件都是水平放置的。激光光束经角度干涉镜的分光镜分为两束 A1 和 A2，光束 A1 直接穿过干涉镜并从角度反射镜的下半部反射回激光头；光束 A2 通过角度干涉镜的潜望镜射到角度反射镜的另一半后，再通过角度干涉镜反射回到激光头。角度测量是通过比较 A1 和 A2 之间的光程差完成的，即角度测量与激光头和角度反射镜之间的距离，以及两个光学元件之间的距离无关。

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。 仪器技术指标： 1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）； 2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径； 3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长； 4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm； 5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns； 6、光学系统具有高激光损伤阈值； 7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024×1024以上或用户定； 8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用； 9、光束波前诊断软件包： 给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等； 给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF； 软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。 应用范围： 本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域： 1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。 2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。 3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。 图2是系统软件输出界面。 图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。 图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

品牌： 上海昭沅 型号： MVNPS 产地： 供应商：上海昭沅仪器设备有限公司

在科学技术飞速发展的信息时代，光电技术、信息技术（IT）和集成电路技术（IC）在各个领域不断产生新的应用。其中，光纤技术在通信和传感领域的广泛应用，已经体现出依靠“电”进行信息提取和传输的方式所无法比拟的优势。光纤通信和光纤传感技术作为新的激光应用技术，已经成为工程应用和研究热点。由于光纤技术发展迅速，能够作为研究开发平台的仪器很少，一般一套设备只能完成一个功能。测试用设备不能作为功能设备使用，功能性设备不具备测试用条件。为了改变光纤技术研究中存在的设备单一状况，研究开发了“全光纤多功能研究开发平台”。 平台与一般的科研光纤设备区别在于： 1、 主机能够单独完成多项监测、测试功能； 2、 提供强大数据处理终端； 3、 平台实现的功能融合了光纤通信和传感领域许多新技术； 4、 平台功能具有开放性。
利用复旦大学光纤研究中心全光纤“白光”干涉技术研制的全光纤多功能研究开发平台，已经成功在桂林电子工程学院、复旦大学和江苏技术师范学院等学校得到应用。仪器在2005年10月18日进行了教育部主持的专家鉴定会，与会专家一致通，鉴定结论：该仪器属于国际先进水平。 该仪器特点有以下特点： 融合5项专利技术 采用标准化、模块化的组合架构 通过共享主机、选用不同功能模块实现不同功能的研究主题 通过变换组件开发光纤应用技术覆盖了目前先进的光纤通信、传感技术。研究开发内容在20项以上，一套平台功能与20套分散的实验仪器实现的功能相当。 五大优势挑战传统光纤科研设备 1、 先进的平台构建方式 平台采用主机共享，功能模块结合研究内容搭配的方式，实现了仪器与研究人员人机互动。系统除了提供强大的硬件平台外，还提供数据处理分析平台。 2、全新的研究内容 目前提供的研究内容都来自最新的专利和文章，包含的知识和技术属于新的科研成果，这使整个平台的学术水平属于国际先进水平。其中利用低频信号测试光速等实验在全国来说属于首次提出，国际上未见文献报告；保密通信利用了量子通信等先进技术，在国内也属于创新实验。 3、研究开发平台也是工程应用平台 全光纤多功能研究开发平台实现了多项工程测试应用，目前能够完成的应用功能包括： 光波在光纤中的传播速度 光纤等效折射率 振动速度、加速度和位移 水中声波传播特性 光纤弹光效应 光波相位调制、解调 光纤分布传感技术 振动信号频谱分析 光纤长度测量 全光语音信号录入 全光通信 4、平台提供二次开发功能 平台对多种光纤传感技术的开发提供基础性功能，在此基础上通过信号分析和硬件完善，实验标定，能够完成工业用设备实现的功能。 5、极高的性价比 通过组合功能模块，即可通过一套主机满足不同研究开发的需要，对比分散的性能单一光纤传感设备来说，全光纤多功能研究开发平台大大节约了经费成本。 平台具备的功能介绍 利用全光纤多功能研究开发平台，并配置相应硬件设备可实现下列功能： （1）全光纤音频信号录入、传输、解调功能 （2）单芯双向传输保密通信系统（光纤电话） （3）激光外调制及解调技术 （4）光纤有效折射率的测量 （5）光纤长度测量 （6）光纤桥梁建筑物定点应变测量 （7）全光纤声纳系统 （8）光纤非接触振动测试 软件系统实现的功能包括： （1） 信号采集、存储 （2） 信号功率谱分析 （3） 振动特性分析 （4） 声纹识别 （5） 发动机故障分析 （6） 纳米应变检测 （7） 相位还原

鉴于回转轴精度的重要性，最近地国家和国际标准均制定了严格的回转轴测量规范。RX10与XL-80或ML10激光系统（及角度测量光学镜组）组合使用时，回转轴校准精度可达到1秒。 一个控制装置将RX10与您的PC和XL-80或ML10连结起来，实现全自动测试。25分钟内即可对回转轴做一次完整检查，比自准直仪和多面棱体等传统方法节约了5个多小时的时间。快速自动校准 转台的锁定、解锁和旋转运动均为电动，能够实现自动准直和跟踪，无需操作人员或机器进行操作（非常适合坐标测量机和机床）。
灵活性 本系统可以在水平、垂直方向甚至上下倒置运行，方便地对回转轴的不同方向的进行校准，并可精确地校准任意角度。
雷尼绍宣布继信誉良好的QC10球杆仪系统之后推出新一代产品。QC10球杆仪在全球广泛应用于机床精度和伺服控制性能评估。 QC20-W球杆仪采用雷尼绍全新设计、开发的直线位移传感器和蓝牙 (Bluetooth) 无线技术。这种设计具有使用方便和耐用性强的优点，从而使QC20-W可用于“防护门关闭”状态下进行测试，此前同类有连线的系统需在“防护门开启”状态下测试，可能造成安全和程序上的问题。
新型设计使球杆仪能够以某一参考点为中心对XY、YZ、ZX 3个正交平面进行测试。单个简单的硬件设置意味着测试更快捷，并能创建典型的位置精度空间测量。QC20-W球杆仪保留了简单数控机床圆检验程序的原理和功能强大的软件。这些优点结合在一起，可以快速诊断和量化机床定位误差，包括伺服不匹配、爬行误差、反向间隙、重复精度和比例不匹配，以及几何精度误差，然后给出总体圆度误差值。
Ballbar20系统软件功能大幅增强，测试和报告的灵活性更强。QC20-W组件存放在一个全新设计的坚固的系统便携箱中，箱子中还为最常用的附件预留了空间。
为保证数以千计的QC10系统现有用户的利益，雷尼绍尽力地保证新系统与QC10系统的向下兼容性。在与现有QC10系统共同工作时，这将大大降低升级成本并减少因此带来的工作中断时间。
球杆仪长度与QC10相同，因此所有现有测试程序，包括测试模版、数控程序和工作及测试步骤均可延用。升级时只需稍加培训，重点熟悉新功能即可。由于Ballbar20软件与QC10系统兼容，其测试文件格式保持不变。因此，机床的新老测试记录均可使用同一个软件来分析。
已有QC10球杆仪的用户可以极具竞争力的价格来购买升级组件，这对那些准备花钱重新校准其现有QC10球杆仪的用户来说更具吸引力。标准的升级组件配置中包括一个配装到现有QC10便携箱的海绵插件；而作为选件提供的新附件则包括新的系统便携箱和用于新型3平面测试的附加硬件。
15年来，雷尼绍的QC10伸缩式球杆仪作为专用诊断工具赢得广泛认同，被认为是最佳、最实用的快速检测机床综合性能的方法。新型QC20-W系统确保了雷尼绍将继续扩大其在业内的领先地位。
品牌： 英国雷尼绍 型号： XR20-W 产地：英国 供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

XR20-W是雷尼绍技术成熟的RX10回转轴校准装置的全新替代产品，对于大量采用四轴、五轴高端机床的制造业用户来说，无疑为其回转轴的精度检测提供了全新的利器。在过去15年中，RX10是公认的对回转轴进行高精度和高重复性性能评估的强大工具。XR20-W经过全新设计，具有灵活性强、使用方便、测量速度快及完全无线操作等优点。
XR20-W无线型回转轴校准装置集雷尼绍独有的先进轴承和光栅技术以及蓝牙（Bluetooth）无线技术等特点于一体。与现有的RX10相比，雷尼绍XR20-W更为小巧轻便。它的重量仅约1公斤，在使用便利性和灵活性方面具有极大的优势。
分开提供的安装座使定心与安装操作简单快捷，而随主装置一起提供的连接件使其能够安装在各种转台和轴上，包括车床卡盘和主轴。XR20-W回转轴校准装置包括“内置”反射镜，反射镜壳体的背面另带有准直光靶。这些特性确保设定速度更快，并大大降低准直误差和由此导致的测量误差。
新装置由充电电池供电。充电电池与蓝牙技术相结合，实现了完全无线操作。全新的软件（组件的一部分）是系统使用方便和测试速度快的最终关键因素。它使测试设定和数据采集速度更快。软件采用全新的界面、分析曲线、以及针对常见的ISO和ASME标准测试预设模板及简洁的屏幕选项。此外，还提供“自动校准”功能。因此，即使是新用户也能很快熟悉并使用软件。
XR20-W组件存放在一个坚固的Peli便携箱中，箱子中还为最常用的附件预留了空间。即使包括便携箱在内，整个系统的总重量也不到7公斤，携带十分方便。系统的测量精度为1角秒，所有装置在发货前均已全面校准并经过认证。
目前，XR20-W回转轴校准装置与雷尼绍最新的XL-80激光干涉仪配套使用。很快还将推出可与采用USB接口的雷尼绍早期的ML10激光干涉仪兼容的款型（现有XR20-W用户可享受免费升级，早期PCM10/20或PC10接口需先升级到USB接口）。
尽管XR20-W具有诸多新优点，但是其价格与现有RX10系统相比变化不大；此外，现有RX10用户可以极具竞争力的价格享受升级优惠服务，这对那些准备花钱重新校准现有RX10回转轴校准装置的用户来说更具吸引力。服务供应商也将从可能增长的利润中获益，新装置小巧轻便，因此运输方便，并可节省运费，同时使用灵活、测量速度快的特点意味着它可以更快地检测更多不同配置的机床。
品牌： 英国雷尼绍 型号： XL 产地：英国 供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL及QuickViewXL），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：XL80: 系统精度: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟 XL30: 系统精度: ±1ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.1ppm 分辨率:0.01 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:5KHz 测量范围: 0 -30 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数); 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数); 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;

品牌： 英国雷尼绍 型号： QC10 产地：英国 供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介： QC10球杆仪是雷尼绍公司提供的用于机床精度校准量仪中的一种新仪器,既可 单独使用,又可以与激光干涉仪互补使用.QC10球杆仪是评价机床动态轮廓精度的 精密仪器.该项重要技术迅速地被国际上机床检验标准所采纳,如ISO230和美国 ANSIB5.54等. 该项快速简单的检测,可提供出机床各种误差的数据,并对其进行自动分析, 给出各种误差优化表. 众多的机床用户一致认为QC10球杆仪系统为其定期检测机床工作性能提供了 革命性解决方案. 技术参数： 1.分辨率:0.1微米 2.球杆仪传感器精度:±0.5微米(20℃时) 3.最高采样率:每秒250个值 4.可供加长杆:50,150,300毫米
2.检定数控机床工作性能,并对其进行分级和比较 3.预防性维护需要,机床工作状况监测,有助于降低费用 4.功能强大,并提供丰富的机床故障诊断分析专家系统,可支持多种语言的分析报告 5.快速检测,易于安装,操作方便

品牌： 英国雷尼绍 型号： ML10 Gold 产地：英国 供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介： ML10Gold高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。 ML10Gold激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10Gold激光测量系统所有功能都设计与Laser10软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测 量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡 PC10*或PCM20*及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内， 一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携 该激光干涉仪系统通过接口与IBM兼容的PC机（包括笔记本计算机）连接， 在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误 差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASMEB89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按 不同标准进行机床精度的评定和比较。 技术参数： 1.线性测量分辨率: 0.001μm 2.线性测量范围： 40m（或任选80m） 3.线性测量精度: ±0.7ppm 4.最高测量速度： 60m/min 5.长期稳频精度： ±0.05ppm
主要特点： ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

仪器网干涉仪产品导购专场为您提供干涉仪功能原理、规格型号、性能参数、产品价格、详细产品图片以及厂商联系方式等实用信息，您可以通过设置不同查询条件，选择满足您实际需求的干涉仪产品，同时干涉仪产品导购专场还为您提供精品优选干涉仪产品和干涉仪相关技术资料、解决方案、招标采购等综合信息。