轮廓仪

轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器。轮廓仪主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。轮廓仪广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。 精品推荐
品牌： 美国Filmetrics 型号： Profilm 3D 产地：美国 供应商：优尼康科技有限公司

Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围，同时其最大4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。

品牌： 西班牙Sensofar 型号： S neox 产地：西班牙 供应商：北京东方德菲仪器有限公司

3D光学轮廓仪S neox 将共聚焦、干涉和多焦面叠加3种测量技术融合于一体，测量头内无运动部件。3D光学轮廓仪S neox 为客户展现全新的3D立体形貌。

品牌： 上海孚光精仪 型号： profiler 产地：德国 供应商：孚光精仪（香港）有限公司

这款三维台阶仪是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学表面台阶仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。三维台阶仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。三维表面台阶仪仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面形貌仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。三维台阶仪参数：定位台行程范围：X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s非接触式测量范围： 范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s表面台阶仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积 分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度 摩擦学研究，光谱分析三维台阶仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。

品牌： 上海孚光精仪 型号： 3D profiler 产地：德国 供应商：孚光精仪（香港）有限公司

这款三维表面形貌仪是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学表面形貌仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。三维表面形貌仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。三维表面形貌仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面形貌仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。三维形貌仪参数：定位台行程范围：X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s非接触式测量范围： 范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s表面形貌仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积 分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度 摩擦学研究，光谱分析三维形貌仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。

品牌： 上海孚光精仪 型号： Profilometers 产地：德国 供应商：孚光精仪（香港）有限公司

这款三维表面轮廓仪是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。三维表面轮廓仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。三维表面轮廓仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。三维轮廓仪参数：定位台行程范围：X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s非接触式测量范围： 范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s表面轮廓仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积 分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度 摩擦学研究，光谱分析三维轮廓仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。

品牌： 上海孚光精仪 型号： SRMFP 产地：德国 供应商：孚光精仪（香港）有限公司

这款表面粗糙度测量仪非常适合冷轧钢的表面粗糙度测量。表面粗糙度测量仪具有如下特点：对钢卷长度方向的表面粗糙度进行可视化和记录；在线记录这款表面粗糙度测量仪每秒钟可处理10幅激光图片和表面显微结构。给出Ra，Rz和RPc等指标。

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI - Microscope 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI传统光学显微镜升级技术 亚纳米级分辨率白光干涉技术与三维表面形貌测量传统二维光学显微镜可以升级为三维表面形貌测量装置，极大提升应用效能。图1.干涉物镜通过接合器安装于传统光学显微镜，升级后的显微镜具备高分辨三维表面形貌测量功能显微镜的重要性不只在于研究与记录，更在于产品质量监测与样品表面分析。光学显微镜已经成为许多实验室的标配设备。对于大多数样品来说，传统二维显微镜不足以获得其表面所有形貌细节。因此，三维表面形貌测量技术正逐渐成为一种重要的表征手段。 图2. 金属表面二维、三维测量结果比较 其典型应用领域包括不同表面粗糙度试样的三维表面形貌观察（如晶片结构，镜面，玻璃，金属），台阶高度测定和曲面精确测量（如微型透镜）。当前，许多研究机构都有三维表面形貌测量设备的采购需求。但事实上，只要满足下列条件，世界上多数知名品牌的传统光学显微镜都可以升级为高精度三维表面形貌测量设备：* 无限远、中间像光学系统；* 反射明场照明系统；* CCD摄像头接口；* 可更换物镜的镜筒位于德国Ilmenau的GBS公司已经成功利用其SmartWLI显微镜升级技术为蔡司、尼康、莱卡、奥林巴斯等众多品牌的传统光学显微镜完成升级工作。其基本原理为白光干涉一种成熟的三维表面形貌测量方法，测量精度可以达到亚纳米量级。同传统的单色光干涉技术大为不同，SmartWLI白光干涉技术采用相干长度达到2um的宽频带光。实际测量必须深入相干区域扫描，每隔70-80nm取样。而单色光干涉技术多用激光，相干长度达到数千米，不能用来观察纳米级的区域。当光程差接近相干长度时，干涉差变得更小。通过参考面，以设定好的步频移动被测物体，每移动一个步频，记录一个干涉图样，这样大量干涉图样就以像素为单位记录下来。若数据的采集与处理同时进行即可在数秒之内得到测量表面区域的高度信息（形貌特征）。GBS公司研发的Smart WLI软件可以对测量数据进行高速运算。三维数据的计算任务转交图形处理器（GPU）完成，一百万测量点的数据处理时间可从30秒降到1秒以内。SmartWLI显微镜升级技术特征德国GBS公司的SmartWLI 显微镜升级技术可以将传统二维显微镜升级为先进的三维表面形貌测量设备。该技术涉及硬件组件包括：* 一套基于压电效应、由电脑控制的定位系统（定位精度在纳米量级）；* 一款高质量的干涉透镜；* 一款高灵敏度CCD摄像头,带有GigE接口；选件：电动XY轴平台、高性能电脑与拼接技术，可实现大表面三维形貌测量。PC配置要求：因特尔i5处理器，微软Windows操作系统，4G内存，具备高速计算能力 的英伟达图形处理器（NVIDA GPU）,TFT液晶显示屏，键盘与鼠标。GBS SmartWLI显微镜升级技术选用的压电调节器由德国Piezo System Jena公司开发研制。该款MIPOS透镜调节器纵向方向（Z轴方向）扫描范围可达500 um，可选择相干透镜（物镜）的放大倍数在2.5倍到100倍之间。GBS公司开发的SmartWLI软件具备操作直观、数据分析快速、纳米级精度显示等优点，可以对采集到的三维测量数据进行基础运算。经SmartWLI软件处理后的三维测量结果，可再交由图形分析软件MountainsMap做进一步处理，最终可得到二维、三维表面形貌图像、粗糙度、台阶高度、微粒分析与报告等。 基于图形处理器GPU的高速运算功能，三维测量数据运算可以与形貌扫描同步进行。在不过度占用电脑中央处理器（CPU）与内存空间的前提下，实现大范围的三维形貌测量。显微镜升级后的主要测量参数：纵向测量范围: 最大可达400 um横向测量范围： 649 um×483 um (10倍物镜)；324 um×241 um (20倍物镜) 129 um×96 um (50倍物镜) (注意：上述数据皆为估算值，实际横向测量范围需参考用户现有显微镜参数)纵向(Z轴)分辨率: ＜1 nm横向分辨率: 1.66 um(10倍物镜)；0.96 um(20倍物镜)；700 nm(50倍物镜) 扫描速度： 3.6 - 16 um/s 计算时间: 一百万测量点数据/一秒内SmartWLI显微镜升级技术的其它优势：* 无需新的设备技术，缩短培训周期；* 利用现有测量平台，节省实验室空间；* 保留原有二维测量功能，兼具三维测量能力；* 立足用户原有组件，大幅节省升级费用； （可利用组件包括：光源、镜筒、镜头旋转器、Z轴调节器、XY轴测量平台）。* 全面的三维表面形貌测量功能自动拼接技术与钻石磨削头的三维表面形貌测量升级后的显微镜可以对钻石磨削头进行纳米级分辨率的三维表面形貌测量，可得到表面钻石的形貌和体积。我们可借助本次测量实例，深入了解一种SmartWLI 显微镜升级技术独具的“自动拼接”功能 - 即将大量二维测量区域上的“干涉图样摞”再次叠加，生成更大检测区域的三维图像。软件上的“自动拼接”功能结合硬件上的电动XY轴平台，就可实现更大表面的三维形貌测量。 图3.钻石磨削头三维表面形貌测量结果 （10倍物镜，3×3阵列拼接） 图3所示为选用10倍物镜，以3×3阵列（9倍单位扫描区域），经“自动拼接”得到的三维表面形貌测量结果。借助“自动拼接”功能，可以在数分钟内实现大表面（百倍以上单位测量区域）的三维形貌测量。结语：德国GBS公司SmartWLI 显微镜升级技术为传统光学显微镜提供了一种全新的升级方式。经验丰富的GBS工程师可以为您升级现有的显微镜，培训操作人员。SmartWLI显微镜升级技术不但不会对用户现有显微镜的固有功能造成损害或限制，还可以兼容其原有软件。1) 德国GBS公司官网：www.gbs-ilmenau.de2) 德国WinWinTec公司（GBS中国市场渠道商）官网：www.winwintec.com

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI Extended 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪非接触三维表面形貌测量技术白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪拥有纳米级测试精度，外接PC或笔记本电脑进行实时数据分析。SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪功能全面，轻松应对各种测试环境。电动XY双轴样品台匹配自动拼接程序，应对大面积测试任务。典型应用包括科学研究、质量控制和工艺管理。德国GBS公司SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪具备如下优点： 通用型 精度高 测速快 稳定可靠 自动拼接SmartWLI- 扩展型白光干涉三维轮廓仪技术参数：花岗岩基座、脚架电动X Y双轴样品台（尺寸：226 x 232 mm2；移动范围：76 x 52mm2） 测量端配物镜转换台、同时兼容4款物镜PC界面、Windows 7系统，NVIDIA 图形处理器具备超速运算功能SmartWLI形貌测量软件、“自动拼接”功能MountainsMap三维图像处理软件 MountainsMAP分析软件作为一款高品质的表面成像与分析软件，MountainsMAP 适合实验室、研究机构及工厂各类机能表面的设计、测试或制造设备使用。MountainsMAP拥有一整套全面的解决方案，专用于表面外观及形貌的成像与分析，提供详尽的三维可视化测量报告。 SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪技术参数测量系统量测原理 白光干涉Z轴定位系统压电效应调节系统高度量测范围最大可达400 μm摄像头参数CCD摄像头；1624x 1234相素干涉物镜系统放大倍数MAG视场范围FOV (mm)横向分辨率 (um)2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×4.12 × 3.06 mm2 - 0.103 × 0.076mm210.54 μm - 0.55 μm光源LED测试时间通常＜20秒软件系统SmartWLI基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件；三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。MountainsMap三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。输出文件格式ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF更多SmarWLI系列白光干涉三维轮廓仪产品信息，请访问www.WinWinTec.com与 www.smartWLI.de（2012年1月技术数据）SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（一）-液态轴承SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（二）-晶片SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果(三) - 钻石工具SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（四）-透镜工具SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（五）-金属表面SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（六）-汽车车身表面SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（七）-粗糙度标准片SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（八） - 发动机汽缸

品牌： 西班牙Sensofar 型号： S lynx 产地：西班牙 供应商：北京东方德菲仪器有限公司

非接触式3D光学轮廓仪S lynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。S lynx能够测量不同的材质、结构、表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将共聚焦、干涉和多焦面叠加3种测量方式融于一体，确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

品牌： 西班牙Sensofar 型号： S onix 产地：西班牙 供应商：北京东方德菲仪器有限公司

光学三维在线测量仪S onix的设计理念简洁、稳健并易于组装。S onix有着全面且灵活的测量能力，定位于多用途的工业在线测量系统。轻便、小尺寸的设计让装配变得更加简单，可以任意方向进行组装来满足不同方向上的测量应用需求。

品牌： 西班牙Sensofar 型号： S mart 产地：西班牙 供应商：北京东方德菲仪器有限公司

光学3D在线测量仪S mart是世界上首款将Focus varition（多焦面叠加）、Confocal（共聚焦）、VSI（白光干涉）三种成像技术融为一体 高性能在线光学三维形貌测量仪。

品牌： 德国布鲁克 型号： ContourGT 产地：德国 供应商：北京亿诚恒达科技有限公司

ContourGT 非接触3D光学轮廓仪 ContourGT表面计量系列产品用于生产和研发的非接触式三维光学轮廓仪业界最高垂直分辨率极高的可靠性和最好的测量重复性最高的表面测量和分析速度最强的使用性，操作简便，分析功能强大30年技术革新，实现非接触式表面测量技术高峰ContourGT系列结合先进的64位多核操作和分析处理软件，专利技术白光干涉仪（WLI）硬件和前所未有的操作简易性，推出历年来来最先进的3D光学表面轮廓仪系统。第十代光学表面轮廓仪拥有超大视野内埃级至毫米级的垂直计量范围，样品安装灵活，且具有业界最高的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中，最广泛使用和最直观的3D表面计量平台。业界最高的垂直分辨率，最强大的测量性能0.5倍至200倍的放大倍率，在极宽的测量范围内，对样品表面形状和纹理进行表征。任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程提供了无以伦比的测量灵活性。高分辨率摄像头可选配件，提高了横向分辨率和GR R测量的重复性。多核处理器下运行的Vision64? 软件，大大提高三维表面测量和分析速度新的软件设计使数据处理速度提高几十倍。多核处理器和64位软件使数据分析速度提高十倍。无以伦比的无缝拼接能力，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的完美图像 测量硬件的独特设计增强生产环境中的可靠性和重复性高亮度的双LED照明专利技术提高测量质量。最佳化的硬件设计提高了仪器对震动的容忍度和GR R测量的能力。专利的自动校准能力确保了仪器与仪器之间的相关性，测量准确度和重复性。高度直观的用户界面，拥有业界最强的操作简便和分析功能强大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程，从而提高仪器和操作者效率独特的可视化操作工具为用户提供易于学习和使用的数据分析选项用户可自行设置数据输出的界面 三十年技术创新，迎来第十代全新产品我们的干涉仪是世界上第一个包含了著名的垂直扫描干涉技术（VSI模式），扫描头倾斜调整，专利的自动校准和双LED照明等革新技术。ContourGT系列既结合了这些已被证实的设计功能，又在硬件上进行了大量的改进，从而给用户提供了目前世界上最精确的、重复性最好的光学轮廓仪性能。 Bruker的光学轮廓仪具有已被证实的，将近三十年的优越性能运行跟踪记录，从研究型实验室到生产型工厂的上万台安装记录。 ContourGT-X光学轮廓仪配备有一体式的气动平台和双层金属铸件，此两种设计都是为了隔离震动以避免干扰测量效果，从而获得快速、精确的、可通过GRR测试的测量结果。OMM结合了Bruker专利的双LED照明光源技术，在任何样品任意放大倍数下均可提供卓越的照明强度和均匀性。OMM还能在整个10mm测量量程内提供无以伦比的准确性和可重复性。马达驱动的多放大倍率检测器可包含最大三个视场目镜，以最大化放大倍率的灵活性和稳定性。ContourGT系列可选择型号中，具有包含Bruker专利技术的内置一级标准自校准功能的能力，使得闭环扫描的性能最大化。此模块包含一个参考信号，在仪器启动时对系统进行自校准，然后连续监控并校正每次测量，以保证绝对的精确度和卓越的重复性。Bruker的倾斜调整支架设计可使得OMM倾斜，而不是样品倾斜。这样，被测量的样品将总处于聚焦位置，并且在测量的视野中，确保了操作的一致性和简易性。*这些选项仅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型号上具有。在ContourGT-X型号中具有全自动的8英寸或12英寸样品台。两种样品台均配备有0.5um重复性的编码器。ContourGT-K1型具有可选的6英寸马达驱动样品台。还可选配具有Z方向聚焦旋钮的XY操纵杆。选配的马达驱动塔台可安装最多4个干涉物镜，从1倍至100倍。塔台设计确保了当您切换物镜时，您的测试点始终处于聚焦和中心位置。在防震台的后面配备有一个LED光源以帮助样品聚焦和确保操作可观度。辅助操作灯泡*塔台自动样品台倾斜调整支架*自校准功能*光学计量模块(OMM)卓越的震动隔离性能*

品牌： 德国布鲁克 型号： DektakXT 产地：美国 供应商：北京亿诚恒达科技有限公司

DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT 完美设计探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和最佳软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到最佳的仪器使用效果。强化操作的可重复性 Delivering Repeatable MeasurementsDektakXT在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5?.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到最低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的台阶仪（表面轮廓仪）。提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis利用独特的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。DektakXT 技术参数—台阶高度重复性5?—Single-arch设计大大提高了扫描稳定性—前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%—64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。功能卓越，操作简易—直观的Vision64用户界面操作流程简便易行—针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事台阶仪（表面轮廓仪）领域无可撼动的世界领先地位—布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。—单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI-Prime Double Z-axis 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI-Prime双轴三维形貌轮廓仪配备0.1nm高分辨率的小量程Z轴和小于100nm分辨率的大量程Z轴 2015年11月,德国WinWinTec公司再次向市场推出了一款由我公司代理的SmartWLI品牌的三维相貌轮廓仪，该产品将两种Z轴方向的移动控制模式整合在一起，是两种模式一体化，可以实现两种Z轴移动模式的自由切换，测量范围从nm水平到mm水平，实现纳米分辨率到亚微米分辨率，可测量不同类型的产品，适用于大轮廓形貌到微小形貌的多种应用需求。v产品特点 1．两种Z轴移动控制模式，压电陶瓷马达控制小量程和步进电机控制大量程,整体测量范围实现0.1nm~100mm； 2．小量程Z轴实现最大400um的测量范围，测量分辨率在PSI模式下0.1nm； 3．大量程Z轴实现最大100mm的测量范围，测量分辨率小于100nm； 4．Z轴方向移动的实现自动控制，通过相关软件和控制手柄可自动对焦，同时Z轴采用自动拼接技术，实现整体全自动测量； 5．标配压电陶瓷马达控制的Z轴测量头，样品垂直方向测量最大高度：400um，测量分辨率PSI模式：0.1nm，VSI模式：1nm； 6．可选配不同放大倍数的标准干涉物镜（2.5X，5X，10X,20X，50X，100X）；配置控制和快速采集信号采集软件SmartWLI_VIS。

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI Portable 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪非接触三维表面形貌测量技术白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。SmartWLI - 便携式白光干涉三维轮廓仪，专用于大尺寸部件表面形貌测量与分析。仪器操作简单，测量时放置于样品表面；独有的三脚支架结构，方便曲面部件测量；外接笔记本电脑完成数据分析，测量结果立体直观呈现。SmartWLI - 便携式白光干涉三维轮廓仪外形紧凑、结构稳固，轻松应对多种测量环境；测速快，精度高，为工业用户提供最优化的产品表面形貌测量条件，适用于产品工艺控制与质量管理。SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪具备如下优点：灵活便携精度高测速快稳定可靠 SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪技术参数测量系统量测原理 白光干涉Z轴定位系统压电效应调节系统高度量测范围最大可达400 μm干涉物镜系统放大倍数10×20×视场范围（μm2）480 × 360320 × 240最小可分辨横向宽度（μm）1.200.90工作距离（mm）7.44.7注：上述数据皆为估算值。垂直分辨率小于1 nm光源系统LED外观尺寸270 mm（高）× 127 mm （宽） × 165 mm（长）毛重3 Kg 约值，取决于具体配置。操作界面笔记本电脑、Windows 7操作系统、DVD刻录。量测时间通常小于1分钟软件系统SmartWLI基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件、三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。MountainsMap三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。输出文件格式ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI Basic 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI 标准型白光干涉三维轮廓仪--非接触三维表面形貌测量技术 白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。 德国SmartWLI标准型白光干涉三维轮廓仪结构紧凑，精度高，测速快，满足不同领域用户的测量需求，广泛应用于科学研究、质量管理与工艺控制。 德国SmartWLI标准型白光干涉三维轮廓仪具备如下优点： 1.结构紧凑 2.精度高 3.测速快 4.稳定耐用 5.经济实惠MountainsMAP表面分析软件与三维可视化测量报告作为一款高品质的表面成像与分析软件，MountainsMAP适合实验室、研究机构及工厂各类机能表面的设计、测试或制造设备使用。MountainsMAP拥有一整套全面的解决方案，专用于表面外观及形貌的成像与分析，提供详尽的三维可视化测量报告。SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（一） - 液态轴承SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（二） - 晶片SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果(三) - 钻石工具SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（四） - 透镜工具SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（五） - 金属表面SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（六） - 汽车车身表面SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（七） - 粗糙度标准片SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（八） - 发动机汽缸

品牌： 德国GBS 型号： SmartWLI PortableLA 产地：德国 供应商：WinWinTec UG

SmartWLI 大视场便携式白光干涉三维轮廓仪非接触三维表面形貌测量技术技术特点：5cm直径视场（光斑），800μm垂直测量高度，无需拼接即可在短时间内（通常1分钟）完成大区域面积的三维形貌(轮廓)的测量任务！SmartWLI 大视场便携式白光干涉三维轮廓仪，专用于车身、印刷滚筒、太阳能电池等工业产品的表面形貌测量与分析。仪器采用白光干涉测量原理，操作简单， 可轻放于样品表面执行测量任务。特有的三脚螺纹支架结构，便于测量弯曲表面。系统内置三束激光校准系统，便于迅速锁定测量区域。外接笔记本电脑完成数据分析，测量结果立体直观呈现。SmartWLI 大视场便携式白光干涉三维轮廓仪方便携带、易于运输。现场安装与启动几分钟内即可完成。适用于工业产品表面快速、纳米级精度测量。SmartWLI 大视场便携式白光干涉三维轮廓仪具备如下优点：灵活便携操作简单厘米级视场纳米级精度典型应用领域包括：质量管理工艺控制产品研发 SmartVIS 3D测量软件 欧元硬币表面三维形貌测量图数据分析与结果输出：样品表面三维形貌图解表示几何分析（长度、角度、面积测量；不规则区域、坑洞体积；样品表面台阶高度与侧面轮廓剖面图）粗糙度分析（样品粗糙度与表面波度）材料属性分析（材料摩擦磨损实验测定）区域计算与轮廓参数（满足ISO 25178 : Sa, Sz… 与ISO 4287 : Ra, Rz…标准要求） SmartWLI 大视场便携式白光干涉三维轮廓仪技术参数测量系统量测原理 白光干涉Z轴定位系统压电效应调节系统高度量测范围最大可达800 μm摄像头参数CCD摄像头；1624x 1234相素校平系统三束激光干涉物镜系统视场范围（mm2）35 x 35最小可分辨横向宽度（um）28工作距离（mm）10垂直分辨率小于10nm光源系统LED外观尺寸295 mm（高）× 180 mm (宽) × 245 mm（长）支架高度调节范围（三脚螺纹支架）大约5-30 mm毛重约3.5 Kg 操作界面笔记本电脑、Windows 7操作系统量测时间通常小于1分钟工作温度10-35℃推荐工作温度18-22℃软件系统SmartWLI基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件、三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。MountainsMap三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。输出文件格式ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF 车身部件表面三维形貌测试结果 印刷行业：激光凹版容积 （油墨消耗）工艺控制产品研 注塑行业：注塑机的校准 硅晶片表面波纹度与粗糙度测试 其它测试结果欣赏 其它测量结果欣赏

品牌： 韩国Nano System 型号： NVM-6000P 产地：韩国 供应商：安柏来科学仪器（上海）有限公司

产品描述NVM-6000P是专用型设备，用于基板表面形貌的测量。基板上的Via Hole，Pad形状，pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性，支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。产品规格扫描范围：0-180um（270um可选）垂直分辨率：WSI：0.5nm台阶高度重复性:0.5%(1σ)横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）工作台面：510x405mm（程控）尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)应用领域Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。

品牌： 韩国Nano System 型号： Nano View-3000 产地：韩国 供应商：安柏来科学仪器（上海）有限公司

产品描述Nano View-3000是高端机型，包括：非接触3D形貌测量，更广的测量范围（5mm可选），自动聚焦功能（可选），拼接和线路纵断面等功能。产品规格干涉物镜：5物镜可选(程控）扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）垂直分辨率：WSI：0.5nm，PSI ：0.1nm横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）倾斜度：±6°工作平台：NV-P2020 200x200mm（程控）NV-P4050400x500mm（程控）应用领域Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。

品牌： 韩国Nano System 型号： Nano View-2000 产地：韩国 供应商：安柏来科学仪器（上海）有限公司

产品描述Nano View-2000是经济型机型，通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。产品规格干涉物镜：5个物镜可选扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）垂直分辨率：WSI：0.5nm，PSI ：0.1nm倾斜台：±6°Z轴行程：100mm（手动）工作台面：100x100mm（程控)应用领域Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。

品牌： 德国Nanofocus 型号： NanoFocus usurf cylinder 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。德国μsurf cylinder机台是世界上唯一的一款专为测量桶状内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。产品特点：耐用可靠无损测量光学分辨率高速度快，数秒内完成测量真实的3D数据产品功能：纹理分析（角度分析）粗糙度计算符合DIN EN ISO标准计算三维表面粗糙度参数磨损分析，缺陷检测和体积参数应用领域：3D表面形貌2D的纵深形貌轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）表面粗糙度有利于提高成形性，改善外观以及涂漆性能，降低磨损，提高效率usurf cylinder是一款为汽车行业度身定做的机台设备，该产品还可以根据客户需求进行自动编程，实现全自动化的拼接测量，并且自动生成测试报告和相关数据。目前大众、奔驰、宝马等汽车行业巨头都在使用该设备，由于精度高，操作简便，又是基于发动机引擎定制的机台，可操作性很强，钢桶内壁的测量始终是一个技术难关，现在usurf cylinder的研发顿时解决了这个技术难题，使得发动机技术部门的工程师只需要进行几步简单的操作即可完成测量。

品牌： 德国Nanofocus 型号： uscan custom 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

n产品介绍μscan系列机台采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。主要应用于材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。n应用ü集成电路封装和表面贴装：快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。ü厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量ü精密部件：测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等n技术参数1.测量原理：非接触，激光共聚焦2.扫描模块：2.1XY方向测量范围50x50mm/100x100mm/150x100mm/200x200mm（可选）,马达驱动2.2XY方向平台分辨率0.5um2.3Z方向位移范围100mm2.4最大测量速度50mm/S.3.传感器模块3.1共聚焦传感器，激光光源1.5μm spot size，1 kHz data rate3.2Z方向分辨率0,02um3.3XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，最大范围达到200mmX200mm3.4工作距离4mm3.5Z方向测量范围1mm4系统配置4.1计算机：高性能计算机控制系统；4.2配有专业工作台，尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)4.3可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm24.4功能全面的软件4.5数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析设备咨询联系人:Ronnie Chen电话：+86-13651969369 +86-21-61533166

品牌： 德国Nanofocus 型号： usurf mobile 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

n产品介绍μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。NanoFocus μsurf mobile移动式3D测量系统，适用于对大型样品的测量，所以可以在很多恶劣的环境下进行使用，并且不会影响到使用寿命。当人们还在为测量物体太过于庞大而一筹莫展时，μsurf mobile移动式3D测量系统的横空出世彻底解决了人们的这个困惑，该机台不需要移动庞大的被测物体，只需要带着便捷的μsurf mobile，放在被测物体上，就可以在短时间内得出精确的三维表面形貌。n应用μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要对大型样品进行测试，在以下几个行业中被众多知名企业广泛使用：ü汽车行业ü印刷和造纸行业ü钢铁行业n技术参数LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h测量时间：5~10秒测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体X/Y方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μmZ方向移动范围：35mmZ方向测量范围：250μm，Z方向分辨率： 10nm物镜：10X、20X、50X、100X(可选)计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能工作电源：90-265 V, 50-60 Hz, input 50 W（也可用电池做电源）材质：钢铁、橡胶、大理石外型尺寸：380*110*115mm重量：5.5KG（不含防震拉杆箱）洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)设备咨询联系人:Ronnie Chen电话：+86-13651969369 +86-21-61533166

品牌： 德国Nanofocus 型号： μsurf solar 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

产品介绍usurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间内(约几秒)精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。NanoFocus usurf solar太阳能电池3D显微镜，可以对太阳能电池片进行自动化测量，广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的最有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检测和自动分析。 作为太阳能行业必要设备，usurf solar太阳能电池3D显微镜从硬件到软件均是针对太阳能行业定制开发出来的，其测量样品的平台带有真空吸盘，可以承受210mmX210mm的样品，能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用usurf solar有利于控制生产工艺,提高效率,是质量的可靠保证。技术参数 LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 测量时间：2~10秒 测量原理：非接触、共聚焦 X/Y方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，最大移动速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm Z方向测量范围：500μm，Z方向分辨率：1nm 物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2(选配) 计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件 工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA 材质：钢铁、橡胶、大理石 洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

品牌： 德国Nanofocus 型号： usurf custom 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

产品介绍 usurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。 NanoFocus μsurf custom三维共聚焦表面测量系统，可以根据客户的具体需求进行样品平台和软件的定制，功能齐全，可以自动测量，能精确捕捉样品的三维结构和微纳米尺度的复杂几何形状，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析处理能力。该机台还配备了整合计算机和测量系统的工作台，可以将一些测试报告等资料放在工作台的抽屉里，便捷可靠。应用 usurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等; 生命科学：测量stents支架上镀层厚度等 微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等 半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计 太阳能：太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量 LED：用于蓝宝石衬底的测量，抽检PSS ICP后的WAFER的3D形貌技术参数 LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 测量时间：2~10秒 测量原理：非接触、共聚焦 X/Y方向：平台移动范围：100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可选)，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm Z方向测量范围：350μm，Z方向分辨率： 1nm 物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2(选配) 计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能 配有专业工作台：尺寸1550x800x750 mm (LxWxH) 工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA 材质：钢铁、橡胶、大理石 重量：约150KG+80KG 洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

品牌： 德国Nanofocus 型号： usurf explorer 产地：德国 供应商：上海巨纳科技有限公司

产品介绍 μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。 NanoFocus μsurf explorer机台功能齐全，结构紧凑，性价比高，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力。 应用 μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等; 生命科学：测量stents支架上镀层厚度等 微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等 半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计 太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量技术参数 LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 测量时间：5~10秒 测量原理：非接触、共聚焦 X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.3μm Z方向测量范围：250μm，分辨率：2nm 物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能， 工作电源：100-240V, 50-60Hz, input 45W 材质：钢铁、橡胶、大理石 外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD) 重量：28KG 洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

品牌： 德国布鲁克 型号： Contour Elite 产地：美国 供应商：德国布鲁克AXS有限公司北京代表处

可信计量、逼真成像、清晰结果?逼真成像与可信测量数据的结合?简易直观的操作界面提供良好的用户体验?更快速地解决复杂研究和生产要求下的各种挑战布鲁克Contour Elite三维光学显微镜在已经业界广泛使用的技术领先的平台上，进一步增强Vision64软件的用户易用性，创新性加入全新的成像软硬件，拓展高保真成像能力。在要求极高的研发、质量控制领域，Contour Elite可为用户提供高速、准确和重复性极佳的测量结果。同时，它为用户提供在通常共聚焦显微镜下能得到的成像与显示效果，如彩色影像等。建立在Wyko专有白光干涉仪基础上，历经三十多年软硬件的积累与创新，布鲁克Contour Elite系统提供了直观可视化的操作界面，丰富的用户自定义方式，自动化程序控制功能，以及最快速、广泛适用的表面三维形貌的高保真成像与准确测量，来保证各种领域研发、生产应用的测试需求。Contour Elite K高稳定性，具备一定防震性能设计的桌面式型号Contour Elite I全自动，有集成防震垫设计的桌面式型号Contour Elite X全自动，集成落地式防震台的型号

ContourGT系列结合先进的64位多核操作和分析处理软件，专利技术白光干涉仪（WLI）硬件和前所未有的操作简易性，推出历年来来最先进的3D光学表面轮廓仪系统。第十代光学表面轮廓仪拥有超大视野内埃级至毫米级的垂直计量范围，样品安装灵活，且具有业界最高的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中，最广泛使用和最直观的3D表面计量平台。 业界最高的垂直分辨率，最强大的测量性能
三十年技术创新，迎来第十代全新产品 我们的干涉仪是世界上第一个包含了著名的垂直扫描干涉技术（VSI模式），扫描头倾斜调整，专利的自动校准和双LED照明等革新技术。 ContourGT系列既结合了这些已被证实的设计功能，又在硬件上进行了大量的改进，从而给用户提供了目前世界上最精确的、重复性最好的光学轮廓仪性能。 Bruker的光学轮廓仪具有已被证实的，将近三十年的优越性能运行跟踪记录，从研究型实验室到生产型工厂的上万台安装记录。
ContourGT-X光学轮廓仪配备有一体式的气动平台和双层金属铸件，此两种设计都是为了隔离震动以避免干扰测量效果，从而获得快速、精确的、可通过GRR测试的测量结果。
OMM结合了Bruker专利的双LED照明光源技术，在任何样品任意放大倍数下均可提供卓越的照明强度和均匀性。OMM还能在整个10mm测量量程内提供无以伦比的准确性和可重复性。马达驱动的多放大倍率检测器可包含最大三个视场目镜，以最大化放大倍率的灵活性和稳定性。
ContourGT系列可选择型号中，具有包含Bruker专利技术的内置一级标准自校准功能的能力，使得闭环扫描的性能最大化。此模块包含一个参考信号，在仪器启动时对系统进行自校准，然后连续监控并校正每次测量，以保证绝对的精确度和卓越的重复性。
Bruker的倾斜调整支架设计可使得OMM倾斜，而不是样品倾斜。这样，被测量的样品将总处于聚焦位置，并且在测量的视野中，确保了操作的一致性和简易性。 *这些选项仅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型号上具有。
在ContourGT-X型号中具有全自动的8英寸或12英寸样品台。两种样品台均配备有0.5um重复性的编码器。ContourGT-K1型具有可选的6英寸马达驱动样品台。还可选配具有Z方向聚焦旋钮的XY操纵杆。
选配的马达驱动塔台可安装最多4个干涉物镜，从1倍至100倍。塔台设计确保了当您切换物镜时，您的测试点始终处于聚焦和中心位置。
布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑 Bruker Nano Surfaces YouKu Channel 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！ http://i.youku.com/u/UNDU0NDQ5MTEy 布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces 北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室 电话：010-68474806 -630 传真：010-88417855 上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼 E-mail：Sales.asia@bruker-nano.com 产品咨询热线：400-890-5666 www.bruker.cn\AFM

NPFLEX 为大尺寸工件精密加工提供准确测量 布鲁克的NPFLEXTM 3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测能力，实现更快的测量时间，提高了产品质量和生产力。基于白光干涉的原理，这套非接触系统提供的技术性能超出了传统的的接触式坐标测量仪（CMM）和工业级探针式轮廓仪的测量技术。测量优势包括获得高分辨的三维图像，进行快速丰富的数据采集，帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样本的仪器设计的经验，NPFLEXTM是第一个可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统，而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。 其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度样品
满足不同客户的测量需求： 可选的摇摆测量头可轻松测量想测的样品部位，测量样品的侧壁、倾斜表面以及斜面边缘，重复性好。 获得研发大奖的透过透明介质测量模块(Through Transmissive Media，TTM)模块,，结合环境测试腔，可以穿透5cm厚的色散材料，可对样品进行加热或者冷却，进行原位测量。 可选的折叠镜头能够测量碗状样品的侧壁和底部孔洞。 纳米级分辨率的三维表面信息测量 大家对很多样品的表面性质感兴趣，但是要获得这些品性质，需要检测大量的样品表面定量信息。许多应用在航空航 天，汽车，医疗植入产业的大尺寸样品，往往只能借助于二维接触式检测工具进行表征，获得的只是一条线测量数据。二维扫描能够提供样品的表面轮廓，但是无法深入研究样品表面更精确的纹理细节信息。NPFLEX测试系统采用白光干涉原理，在每一个测量点可以实现表面形貌的三维信息收集，且具有亚纳米级的垂直分辨率。所收集的数据不受探针曲率半径的局限，高效的三维表面信息测量可获取除表面粗糙度以外的多种分析结果，更多的测量数据来帮助分析样品性质。 快速获取数据，保证测试迅速高效 NPFLEX三维测量系统，能够灵活高效的获取大量测试数据。大大缩短了样品制备时间和测量方案设置时间，操作者可以快速更换样品，而且无需全面掌握样品形状和表面形貌的前提下，对样品的不同表面进行测量。仅需要不到15秒的时间，就可以出色地完成一个测量点的数据采集和分析工作。自动对焦，光强调节以及其他配套软件功能，大大节约了测试分析时间，而且可以根据操作者的实验需求，量身定做最优化的实验方案，而不影响数据的精度和质量。利用NPFLEX可以高效、快捷、灵活、准确地获得大型零部件的高精度测量结果，提供一站式的测量解决方案。
品牌： 德国布鲁克 型号： NT9100 产地：美国 供应商：德国布鲁克AXS有限公司北京代表处

仪器简介： NT9100光学轮廓仪是一款使用便利、性能卓越，性价比高的非接触无损伤三形貌维测量仪器。Wyko最新的第九代系统采用独有的双LED照明光源专利技术，能够更好的检测超光滑表面及非常粗糙的表面；它的测量范围可达亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。作为第九代白光干涉仪的桌面机台，NT 9100同样具有大机台才有的优点：简单易用的操作方式、快速数据获取能力、强大的软件功能及埃级的重现性等。同时，可选配的X-Y自动平台，使NT9100具有程序化处理样品的功能。
品牌： 德国布鲁克 型号： NT9800 产地：美国 供应商：德国布鲁克AXS有限公司北京代表处

仪器简介：Wyko NT9800 光学轮廓仪在0.1nm 到 10mm 的垂直扫描范围内提供了非接触式高速高精度三维表面测量工能，纵向分辨率可达0.1nm。NT9800 采用了Veeco专利的内部实时激光参考信号进行持续的自校准，减小了通常情况下使用标准块校准设备的需要，并且能够补偿工作环境下系统产生的热漂误差。作为业内领先的第九代Wyko NT系列光学轮廓仪产品，NT9800 具有最高的自动化水平，友好的用户界面，以及业内最好的Wyko Vision分析软件系统。众多先进技术的集成、经过长期实用验证的测量技术核心以及适合于各种专业应用需要的软件功能，使 NT9800 成为世界上最先进的光学干涉测量设备，可满足MEMS、金属研究、材料科学、半导体、医用器械等众多领域科研和生产工作中对高精度自动化表面测量的需要。技术参数：1、纵向扫描范围：0.1nm~1mm (标配） 2、垂直扫描速度：25um/s 3、样品台尺寸：200mm主要特点：1. 非接触测量 2. 重复性高 3. 测量精度高

品牌： 德国布鲁克 型号： NT9300 产地：美国 供应商：德国布鲁克AXS有限公司北京代表处

仪器简介：Wyko NT9300采用了Veeco第九代光学轮廓探测技术，在0.1nm到10mm的垂直扫描范围内提供了快速、高精度的三维表面形貌测量功能，是大范围表面测量、数据缝合以及不规则样品测量的理想设备。专利的双路LED照明源显著提高了光强并延长了光源器件的使用寿命，使操作者的各种测量应用都能获得最佳效果。无论操作者经验水平如何，XYZ三向可编程控制马达驱动的工作台系统以及Veeco独有的Tip/Tilt倾斜测量装置都使得测量工作变得异常轻松。业内领先的Wyko Vision软件系统为用户提供了超过200种的分析功能和自动测量控制功能。NT9300集先进的硬件结构与软件系统于一身，是一款满足实验室科研以及工业生产批量自动化在线检测应用需要的高性能表面检测设备。技术参数：1、纵向扫描范围：0.1nm~10mm (标配） 2、最大扫描速度：24um/s 3、样品台尺寸：200mm XY自动样品台（标配）主要特点：1. 非接触测量 2. 重复性高 3. 测量精度高

品牌： 德国布鲁克 型号： DEKTAK 8 产地：美国 供应商：德国布鲁克AXS有限公司北京代表处

仪器简介：Dektak8台阶式探针轮廓仪，结构紧凑，可提供很高的重复性和精度。独特的XY方向定位系统可移动到8x8inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak8系统对于MEMS，纳米技术和半导体应用都非常方便。技术参数：台阶高度重复性: 7.5,1σ在1um标准台阶上 最大晶圆尺寸：200mm 最大样品厚度：25.4mm （1 in.) 每次扫描数据点：最多可达60，000数据点 扫描长度范围：标配最大50mm 垂直范围：标配262um；可选1mm 最大垂直分辨率：1 (6.55微米垂直范围下）主要特点：1. 台阶高度测量重复性高 2. 是功能最为强大的探针轮廓仪，可最大限度的满足各种应用需要 3. 简单易用 4. 作为一款桌面型轮廓仪，扫描范围可达200mm

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