扫描探针显微镜(SPM)

扫描探针显微镜/原子力显微镜 扫描探针显微镜/原子力显微镜是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜AFM,激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器。扫描探针显微镜/原子力显微镜的应用领域是宽广的。无论是物理、化学、生物、医学等基础学科，还是材料、微电子等应用学科都有它的用武之地。 精品推荐
品牌： 韩国Park Systems 型号： NX-3DM 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

自动化工业级原子力显微镜，助力高分辨率3D测量Park Systems推出革命性的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角测量设计。借助独有的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact模式下，NX-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。前所未有的精确度随着半导体越变越小，设计如今需要做到纳米级，但是传统的测量工具无法满足纳米级设计和制造所要求的精确度。面对这一行业测量挑战，Park Systems取得众多技术突破，如串扰消除，其可以实现无伪影和无损成像；全新的3D原子力显微镜，让侧壁和侧凹特征的高分辨率成像成为可能。前所未有的通量受限于低通量，纳米级设计无法用于生产质量控制中，但原子力显微镜让这一切成为可能。随着Park Systems发布革命性的高通量解决方案，原子力显微镜也得以进入自动化线上制造领域。这其中包括创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。此外，流程和通量优化需要客户积极配合，提供完整的原始数据。前所未有成本效益纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现快速的软硬件更换，从而是升级更划算，不断优化复杂且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，但我们的True Non-Contact模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。* 应用侧壁和侧凹高分辨率成像侧壁和侧凹临界尺寸(CD)测量NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器设计让探针能够扫描到光刻胶的侧壁和侧凹结构。 独有的XY轴和Z轴解耦扫描系统和倾斜式Z轴扫描器 Z轴扫描器可在 -19到+19度和-38到+38度之间随意摆动 法向高长宽比的探针带来高分辨率成像 XY轴扫描范围可达100 μm x 100 μm 高强度Z轴扫描器带来最大25 μm的Z轴扫描范围完整的侧壁3D测量高分辨率侧壁粗糙度借助超锋利的探针尖端，NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器可接近侧壁，带来高分辨率的侧壁粗糙度细节。 侧壁粗糙度测量 精确的侧壁角度测量 垂直侧壁的临界尺寸测量True Non-Contact模式实现无损临界尺寸和侧壁测量光刻胶沟槽临界尺寸测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的细节。 业内最小的细节线上测量 柔软光刻胶无损测量 探针磨损更少，让高质量和高分辨率成像效果更佳持久 无需轻敲式成像中的参数依赖结果Park NX-3DM的特点倾斜式Z轴扫描系统NX-3DM独具匠心地将Z轴扫描器倾斜设计，且通过专利的串扰消除原子力显微镜平台，XY轴与Z轴扫描器完全解耦。用户可以扫描到垂直侧壁以及各种角度的侧凹结构。与配有喇叭形头的系统不同，XE-3DM可使用高分辨率高长宽比的探针。全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。自动测量控制自动化软件让XE-3DM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。由于悬臂与样品表面接触，因此系统噪声是在如下条件下单点测量：? 扫描范围为0 nm x 0 nm，探针停留在一个点? 0.5增益，接触模式? 256 x 256像素* 选项高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。自动晶片装卸器(EFEM或FOUP)您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证NX-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。离子化系统NX-3DM可搭载离子化系统，以有效消除样品的静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

品牌： 日立 型号： AFM5500M 产地：日本 供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

产品简介日立高新全新的原子力显微镜— AFM5500M2016年，日立高新全新的原子力显微镜—AFM5500M，此产品精确的测试水准，优异的自动化体验为人类纳米尺度的探索与研究提供了完美的解决方案。特点：1.  配备有4英寸电动样品台，样品台移动范围XY±50 mm ,最大样品尺寸Φ100×20mm，最大承重2kg2.  可自动更换探针，并自动调节激光光路3.  通过RealTuneⅡ可自动调节测试参数4.  最新平面扫描器( XY闭环＋Z位移传感器)，最大扫描范围200μm× 200μm×15μm应用领域：1、 纳米材料；2、 新型能源材料；3、 电子工业；4、 生物科技。

品牌： 韩国Park Systems 型号： XE15 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

世界顶级精度及强大功能Park原子力显微镜产品特性Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价比最高的大型样品原子力显微镜。MultiSample（多重采样TM）扫描器带来最便捷样品测量-多样品一次性自动成像-特殊设计的多样品夹头，最多可承载16个独立样品-全自动XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm。无轴间耦合提高扫描精度-两种独立闭环XY和Z平板式扫描-平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm，且残余压弯小-整个扫描范围内的异面移动小于2nm-强力扫描器达25μm Z扫描范围-精确的高度测量Non-Contact（真正非接触TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度 -其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍-非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命-成像分辨率高于同类原子力显微镜- 降低样品干扰，提高扫描精度提供最佳用户体验-开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率-预对准的针尖安装和独一无二的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准-燕尾锁封片方便镜头拆卸-界面带自动设置功能，方便用户使用多种模式与选项-综合性测量模式及特性设置，是我司最佳通用型原子力显微镜-多种可选配件及更新，扩展性能优越-? 为缺陷分析提供先进电气测量* 产品特点100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠，可使极小平面外移动形成较大的正交运动，并能快速响应，实现精确的样品纳米级扫描。柔性导向强力Z扫描器在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下，其硬度允许扫描器高速竖直运动，较传统原子力显微镜扫描器更加高速。最大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器（选配）可延长12μm至25μm。滑动连接的超亮二极管头通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动，可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和力-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题，因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。多样品夹头特殊设计的多样品夹头，做多可承载16个独立样品，由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。选配编码器的XY自动样品载台自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器，可提高样品定位的精确度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm，重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。高分辨率数码变焦感光元件摄像头高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学，具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上，同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的，因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。弯曲基底解耦XY和Z扫描器Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品，同时Z扫描器竖直移动探针。此配置以最小异面移动，实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性。业内最低本底噪声为探测最小样品的特性，帮助最快运动平面成像，Park Systems设计了业内0.5?以下的最低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。真正非接触模式延长针尖使用寿命XE系列原子力显微镜已成功搭配专利强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下，使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距，改善了原子力显微镜图像，保持针尖的锐利，因此有效延长了针尖使用寿命。预对准悬臂支撑预先安装在探针支撑上，因此不需要严格对齐激光束。高分辨率的直接同轴光学元件用户可直接俯视观看样品，操控样品表面，从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。带DSP控制芯片的XE控制电子元件原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计，配备高速处理单元，可成功实现真正非接触模式，是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。- 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元- 低噪声设计，适合电压电流精准测量-通用系统，各SPM技术均可得到应用- 外部信号接入模块，存取原子力显微镜输入/输出信号- 最多16个数据成像- 最大数据尺寸：4096 x 4096像素- 16位ADC/DAC，速度达500 kHz- TCP/IP连接，隔离计算机接出电噪

品牌： 日本奥林巴斯 型号： OLS4500 产地：日本 供应商：奥林巴斯（北京）销售服务有限公司

LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜功能于一体的新型纳米检测显微镜，可以实现从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和测量。

品牌： 日立 型号： 5300E 产地：日本 供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

产品介绍：AFM 5300E是一款真正的环境可控型原子力显微镜，可通过简单的操作来选择高真空环境、空气环境、液体环境、湿度环境、特种气体环境以及变温环境等不同环境。在高真空环境下，不仅可以防止样品表面水膜的形成，提高样品扫描分辨率和表面物理性能测试测量的准确性；也可以通过Q值控制来提高AFM的扫描灵敏度，进而提升图像的分辨率。真空环境还可以避免某些样品的氧化，也为低温扫描提供了绝佳的环境，可以避免空气中水分子结晶带来的影响。主要特点：真正的环境可控，高真空、大气环境、特种气体、液体环境等具有Q值控制功能，大大提高分辨率高真空下物性测量更加准确更强的温度控制功能

品牌： 日立 型号： 5100N 产地：日本 供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

产品介绍：AFM 5100N 是配备有悬臂梁自感功能的智能型便携式原子力显微镜，它打破了以往只依赖于光杠杆进行悬臂梁位移反馈的传统检测方法，其操作简便，只需将探针安装好即可进行扫描成像，无需再对光杠杆进行任何调节。同时5100N还配有智能扫描模式，根据样品起伏状况自动对扫描参数进行优化设计，测量时只需点击开始按钮即可自动完成所有测量工作。主要特点：原子级分辨率体积小巧，长度17cm，宽度17cm具有自检测探针，无需调节激光对中具有SIS扫描模式，可根据样品表面起伏自动调节扫描速率具有一键开启功能，无需调节扫描参数即可获得高质量图片测量模式多样，可以测试材料的电性能、磁性能、力学性能等

品牌： 北京中科艾科米 型号： LT-SPM-MBE 产地：北京 供应商：中科艾科米（北京）科技有限公司

新型潘式扫描探头，具备qPlus AFM功能，模块化设计,易于维护 可选光学通道，适于光学实验 多源MBE样品制备，可原位沉积 袖珍型进样室，快速传输样品

品牌： 韩国Park Systems 型号： NX-HDM 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

毫无争议的最佳原子力显微镜-自动缺陷检查和表面粗糙度测量更高的通量，自动的缺陷检查对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加速缺陷检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接连接，这意味着自动缺点检查通量大幅提高。次埃米表面粗糙度测量行业对于超平媒介和基体的要求越来越高，从而满足体积不断减小的设备需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着行业最低的本底噪声和独特的True Non-Contact技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。* 应用- 媒介和基体自动缺陷检查更高的通量，自动的缺陷检查NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良识别、扫描和分析媒介和基体缺陷的流程。借助光学检查工具提供的缺陷位置图，Park ADR可自动定位这些位置并进行成像（分两步）：（1）缩小扫描成像，以准确定位缺陷。（2）放大扫描成像，以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中，我们可以看到相比于传统的方法，该自动功能可将缺陷检查通量提高到10倍。自动搜寻式扫描和放大扫描经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速：（1）快速的低分辨率搜寻式扫描，以准确定位缺陷。（2）高分辨率的放大扫描，以获取缺陷的细节。扫描尺寸和扫描速度参数可调节，从而满足用户需求。缺陷坐标图自动传入和映射至原子力显微镜借助独有的先进映射算法，从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。光学检测工具的缺陷坐标图- 精确的次埃米表面粗糙度测量次埃米表面粗糙度测量行业对于超平媒介和基体的要求越来越高，从而满足体积不断减小的设备需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着行业最低的本底噪声和独特的True Non-Contact技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。* 技术特点全自动图形识别 借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。自动测量控制自动化软件让NX-HDM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。Park NX-HDM具有：自动、半自动和手动模式各自动程序的可编辑测量方法测量过程实时监测自动分析所获取的测量数据二维柔性导引扫描器，超大的100 μm x 100 μm扫描范围XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运动最少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。闭环式XY轴扫描器带双轴伺服系统XY轴扫描器的各轴上配有两个对称的低噪声位置感应器，得以在最大的扫描范围和样品尺寸下保持高正交扫描。双感应器能够修正和补偿单感应器引起的非线性和非平面位置误差。高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm借助高强度压电叠堆和柔性结构，标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上（一般为10.5 kHz）且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒，让信息反馈更为准确。最大Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至40μm（可选购的远距离Z轴扫描器）。低噪声XYZ轴位置传感器行业领先的低噪声Z轴探测器替代Z电压，作为样貌信号。此外，低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声：0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点0.5增益，接触模式256 x 256像素离子化系统离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

品牌： 韩国Park Systems 型号： NX-Wafer 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

自动化工业级原子力显微镜，带来线上晶片检查和测量Park Systems推出业内噪声最低的全自动化工业级原子力显微镜XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体（尺寸200 mm和300 mm）提供线上高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度测量。借助True Non-Contact模式，即便是在结构柔软的样品，例如光刻胶沟槽表面，XE-Wafer可以实现无损测量。现有问题目前，硬盘和半导体业的工艺工程师使用成本高昂的聚焦离子束(FIB)/扫瞄式电子显微镜(SEM)获取纳米级的表面粗糙度、侧壁角度和高度。不幸的是，FIB/SEM会破坏样品，且速度慢，成本高昂。解决方案NX-Wafer原子力显微镜实现全自动化的在线200 mm 300 mm晶体表面粗糙度、深度和角度测量，且速度快、精度高、成本低。益处NX-Wafer让无损线上成像成为可能，并实现多位置的直接可重复高分辨率测量。更高的精确度和线宽粗糙度监控能力让工艺工程师得以制造性能更高的仪器，且成本显著低于FIB/SEM。* 应用串扰消除实现无伪影测量 独特的解耦XY轴扫描系统提供平滑的扫描平台 平滑的线性XY轴扫描将伪影从背景曲率中消除 精确的特征特亮和行业领先的仪表统计功能 卓越的工具匹配CD(临界尺寸)测量出众的精确且精密纳米测量在提高效率的同时，也为重复性与再现性研究带来最高的分辨率和最低的仪表西格玛值。* 精密的纳米测量媒介和基体亚纳米粗糙度测量凭借行业最低的噪声和创新的True Non-ContactTM模式，XE-Wafer在最平滑的媒介和基体样品上实现最精确的粗糙度测量。精确的角度测量Z轴扫描正交性的高精度校正让角度测量时精确度小于0.1度。沟槽测量独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的腐蚀细节。精确的硅通孔化学机械研磨轮廓测量借助低系统噪声和平滑轮廓扫描功能，Park Systems实现了前所未有的硅通孔化学机械研磨(TSV CMP)轮廓测量。* Park NX-Wafer特点全自动图形识别借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-Wafer让全自动图形识别和对准成为可能。自动测量控制自动化软件让NX-Wafer的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。真正非接触模式和更长的探针使用寿命得益于专利的高强度Z轴扫描系统，XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力，而非相互排斥力。因此，在真正非接触模式下，探针与样品间的距离可以保持在几纳米，从而盖上原子力显微镜的图像质量，保证探针尖端的锋利度，延长使用寿命。解耦的柔性XY轴与Z轴扫描器Z轴扫描器与XY轴扫描器完全解耦。XY轴扫描器在水平面移动样品，而Z轴扫描器则在垂直方向移动探针。该设置可实现平滑的XY轴测量，让平面外移动降到最低。此外，XY轴扫描的正交性和线性也极为出色。行业最低的本底噪声为了检测最小的样品特征和成像最平的表面，Park推出行业本底噪声最低（ 0.5?）的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声： 0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点 0.5增益，接触模式256 x 256像素* 选项高通量自动化自动探针更换(ATX)借助自动探针更换功能，自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。设备前端模块(EFEM)实现自动晶体处理您可以为NX-Wafer加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-Wafer用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。长距离移动平台，助力化学机械研磨轮廓扫描该平台带有专有的用户界面，可支持自动化学机械研磨轮廓扫描和分析。平面外运动(OPM)在样品为5 mm时小于2 nm；10 mm时小于5 nm；50 mm时小于100 nm离子化系统离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

品牌： 韩国Park Systems 型号： NX-PTR 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

全自动原子力显微镜实现准确的硬盘磁头滑块测量，让伟大变得简单Park Systems的PTR系列是全自动工业级线上原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具。自动化、快速、精确且可重复的极尖沉降测量硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降，同时保证最高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外，自动化功能可极大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的最佳选择，兼顾最佳的质量和最高的产量。高通量，无需多次参考扫描大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，提供更持久的高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。* 应用自动硬盘滑块测量随着硬盘滑块的尺寸越来越小，复杂性越来越高，提高产量的关键在于实现纳米级的精确度。 Park NX-PTR恰恰具备这样的精确且自动的硬盘滑块测量。自动极尖沉降测量与分析借助NX-PTR系统，极尖沉降测量可实现全自动，带来更高的通量，无论是对于载体、长形条，还是滑块。Park Systems的工业级院里子显微镜精确且稳定的全自动化极尖沉降(PTR)测量成为可能。极尖沉降量的监测要求测量精度达到0.1 mm，这意味着离测量表面只有20 μm远。自动墙角测量与分析实现各类墙角的自动测量与分析。自动缺陷测量与分析实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。* Park NX-PTR的特点低噪声XYZ轴位置传感器，带来更精确的扫描效果NX-PTR摈弃了常见的非线性Z轴电压信号，而是采用超低噪声Z轴探测器，从而带来无与伦比的形貌高度精度。凭借着行业领先的低噪声Z轴探测器，正向扫描和反向扫描间隙得以降到扫描范围的0.15%以内，甚至可以忽略不计，而这时Z轴形貌信号所无法企及的。热漂移和滞后极小，大大降低探针漂移NX-PTR具备极为突出的热稳定性和机械稳定性，从而大大降低热漂移，实现更为精确的测量。一般情况下，横向热漂移率低于100 nm/°C，而垂直热漂移率则低于200 nm/°C。测量控制自动化，释放您的双手NX-PTR配有自动化软件，操作起来轻而易举。您只需要选择想要的测量程序，并设定相应的悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数，便可取得多位置分析。此外，Park的用户友好型界面让您能够随意创建自定义作业程序，以便您完全发挥NX-PTR的实力，满足所有的测量需求。创建新的作业程序极为简单。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则不超过5分钟的时间。Park NX-PTR的自动化系统具备：自动、半自动和手动模式，让您掌控全局 各自动程序的可编辑测量方法 测量过程实时监测 自动分析所获取的测量数据 ＊ 选项自动探针更换（选配）Park推出的自动探针更换系统让您的自动测量程序可以无缝续航。该系统会根据参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换成功率高达99%，让您无需分心监督探针更换！自动激光准直（选配）Park的自动激光准直系统让您无需输入任何数据，便可持续自动测量。凭借着我们先进的预准直悬臂架，激光在自动更换探针时便已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到最佳位置。离子化系统可创造更稳定的扫描环境创新的离子化系统能够快速有效地消除样品的静电电荷。由于系统能够让阴阳离子保持完美的平衡状态，样品得以处在极其稳定的电荷环境中。同时，对周边区域的污染几乎可以忽略不计，并将样品操作时意外产生静电电荷的几率降到最低。

品牌： 德国布鲁克 型号： Dimension FastScan 产地：美国 供应商：上海禹重实业有限公司

Dimension FastScan 原子力显微镜 (AFM)在不损失Dimension Icon超高的分辨率和卓越的仪器性能前提下，最大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得数据的时间。为提高AFM使用效率和检测性能，Bruker开发了这套快速扫描系统，不降低分辨率，不增加操作复杂性，不影响仪器使用成本的前提下，帮助用户实现了利用Dimension快速扫描系统，即快速得到高分辨高质量AFM图像的愿望。当您对样品进行扫描时，无论设置实验参数为扫描速度 125Hz，还是在大气下或者溶液中1秒获得一张AFM图像，都能得到优异的高分辨图像。快速扫描这一变革性的技术创新重新定义了AFM仪器的操作和功能。■采用最低热漂移的针尖扫描AFM技术，提高了系统的固有振动频率。■应用新的NanoScope控制器，为机器提供了更高的带宽。■开发了小悬臂的生产工艺，在空气中共振频率为1.3MHz，在液体中共振频率为250KHz到500KHz。■采用了低噪音的机械和电子的主要部件，结合高共振频率X-Y-Z扫描管，在技术上获得了重大突破。■更高的带宽提供了精确的力控制和高扫描速度，结合高精度的闭环控制，在效率上远远高于其它任何商业化的AFM。■以20Hz扫描速度进行TappingMode成像得到的图片的分辨率和以1Hz扫描速度得到的图片的分辨率一样高，即使使用更高的扫描速度 100Hz,图像分辨率同样不会降低。■在ScanAsyst模式中，使用6Hz的扫描速度可以得到高分辨率的图片，即使扫描速度达到32Hz同样可以得到普通分辨率的图片。■Z方向，探针在Contact模式中移动速度可达到12mm/s，同时在闭环工作中X-Y方向的移动速度达到2.5mm/s， X-Y方向的跟踪误差 1%，真正使Fastscan成为了世界上第一台快速扫描AFM。■ 自动的激光和检测器的调节使得实验的组建更为快速有效。■ 系统使用自带的样品导航软件MIRO，利用光学成像系统能够在几分钟之内分辨并抓取纳米级的样品特征。最新的光学系统可以使用任何Bruker的探针，在不降低系统稳定性的前提下，得到最好的激光信号调节。■ 针尖扫描系统的设计与210mm大尺寸样品台结合，消除了样品尺寸的限制，同时维持了最低的噪音和热漂移水平。

品牌： 苏州飞时曼 型号： FM-Nanoview 1000 产地：苏州 供应商：苏州飞时曼精密仪器有限公司

1、 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强； 2、 精密激光及探针定位装置，更换探针及调节光斑简单方便； 3、 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描； 4、 马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位； 5、 高精度样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域； 6、 带光学定位的CCD观测系统，实时观测与定位探针样品扫描区域； 7、 模块化的电子控制系统设计

品牌： 德国布鲁克 型号： Dimension Icon 产地：德国 供应商：北京圣嘉宸科贸有限公司

布鲁克Dimension Icon原子力显微镜Bruker Dimension Icon 原子力显微镜为工业界和科研界纳米领域的研究者带来了全新的AFM应用体验，其测试功能强大，操作简便易行。仍然以世界上应用最广泛的AFM大样品平台为基础，齐集 Dimension系统数十年的技术经验，广大客户反馈，结合工业领域的设备需求，进行全面革新。全新的系统设计，实现了前所未有的低漂移和低噪音水平，现在用户只需要几分钟就可获得真实准确的扫描图像。技术参数：X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85umZ方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um垂直方向噪音基底： 30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm, 厚度≤15mm电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。显微镜光学系统：五百万像素数字照相机 180um至1465um可视范围数字缩放及自动对焦功能控制器：NanoScope V型控制器工作台：整合所有控制器、结合人体工学设计，提供直接的物理或可视借口震动隔绝：整体式气动减震台声音隔绝：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音产品特点：终极体验独特的传感器设计，在闭环条件下，也能实现大样品台、针尖扫描的AFM具有与开环噪音水平一样的低噪音水平，且具有极高的扫描分辨率高效率XYZ闭环扫描器的完美设计，使仪器在较高扫描速度工作时，也不降低图像质量，具有更大的数据采集效率全功能针尖和样品之间开放式的空间设计，不仅可以进行各种标准实验，也可以自行设计实验方案，满足不同研究工作的需求硬件和软件技术的不断创新，新开发的HarmoniX 模式，可以测量纳米尺度上材料性质

品牌： 美国是德科技 型号： 9500 产地：美国 供应商：安捷伦科技（中国）有限公司纳米测量部

是德科技9500原子力显微镜完美的整合最新的操作软件、全新的高带宽数字化控制器，采用先进的机械结构设计，提供超快的扫描速度和操作便利性。是德科技9500原子力显微镜专为科学研究和工业研发用户而设计，非常适合扩展原子力显微镜在材料科学、生命科学、高分子科学和电学特性表征等领域中的应用。借助是德科技新推出的快速扫描（Quick Scan）技术，9500原子力显微镜可以实现业界一流的扫描速率，在256*256pixels的条件下，扫描速度最快可以达到2秒/帧。Quick Scan是一个系统选件，由是德科技新推出的功能强大的成像和分析软件包NanoNavigator来控制。除了支持Quick Scan功能以外，NanoNavigator软件还能使用新增的Auto Drive功能来自动优化9500全部参数的设置，帮助研究人员节省宝贵时间。AFM新用户和专家用户都可以使用NanoNavigator中基于工作流程的图形用户界面，这个高效的用户界面提供直观、引人注目的视觉信息，可以指导用户逐步地完成系统设置和操作。更为方便的是，NanoNavigator的智能手机/平板电脑移动应用允许用户远程监控在9500上运行的AFM实验。是德科技9500系统提供一个大范围（90 μm）闭环 AFM 扫描器获得原子级分辨率成像，能够提供业内领先的环境控制和超高精度的温度控制等特性。9500在液态、气态和大气条件下能够提供出色的成像。研究人员还可以使用9500AFM实现单程纳米级电学性能表征。借助高带宽、基于FPGA的数字控制器，9500AFM可以确保在高速操作时的高精度，且无需添加额外的外置控制箱。是德科技9500原子力显微镜优化的结构设计，可以让研究人员快速、方便地获取他们的样品。系统的标配探头支持超过6种最常用的AFM成像模式，根据需要可轻松地与特定探头更换，以实现9500 AFM的功能扩展。优势：全新的NanoNavigator软件高带宽，基于FPGA的数字控制器，保证高速高精度90um闭环扫描器进行原子级成像杰出的环境和温度控制可在液态、气态，以及大气条件下成像单程实现纳米级的电学性能表征STM扫描器对导电材料进行研究

品牌： 美国是德科技 型号： 5600LS 产地：美国 供应商：安捷伦科技（中国）有限公司纳米测量部

是德科技5600LS AFM是独一无二的、高精度、大样品台原子力显微镜。它也可与STM扫描器配合使用，既可以在空气环境中对大样品进行高精度的成像扫描，又可以在液态环境下（温度可控），对小型样品进行高精度成像。它配有200mm的真空吸盘，样品直径尺寸最大可至8英寸，厚度可达30mm。根据需要，5600LS AFM也可安装12英寸硅片。优势 方便的适用于8英寸或12英寸的样品 实现原子级的分辨率 极其的自动化设计，使用非常简单 样品台纳米级的步进精度，且全闭环控制 重复定位精度极高 特殊的设计，能提供超小的热漂水平应用 电子材料 半导体材料 数据存储材料 材料科学 聚合物科学

品牌： 美国是德科技 型号： 5500ILM 产地：美国 供应商：安捷伦科技（中国）有限公司纳米测量部

是德科技5500ILM AFM配有专用接口平台，可方便地将高精度AFM成像部件直接与各类倒置显微镜联用，从而实现多种显微手段同时成像，既可以得到光学的明场像、暗场像、荧光图或激光共聚焦图，又可以轻松获得原子力图像；对用一个样品的同一个位置同时原位得到高衬度的光学图和高分辨的AFM图，这是生命科学领域用户最心仪的显微解决方案。5500ILM AFM还具有很强的兼容性，可与各个厂商的倒置显微镜和激光共聚焦联用，也可支持FRET，暗场和明场成像多种光学附件功能。优势 AFM和光学（荧光）显微镜同时成像 独特的MAC模式和样品台设计，便于液态成像操作 特殊的结构设计，用户可直接调整样品台 真正模块化设计，大大提高系统的灵活性应用 生命科学 聚合物科学 纳米球

品牌： 美国是德科技 型号： 7500 产地：美国 供应商：安捷伦科技（中国）有限公司纳米测量部

7500 AFM/SPM 作为最新一代高分辨多用途平台，设定了全新的性能、功能和易用性标准，可以轻松实现纳米级的测量、表征和操作。7500 AFM/SPM 系统实现了对现有原子力显微镜的扩展，提供最先进的 90 um 闭环扫描控制，高精度温度与环境控制，以及无与伦比的电化学能力等。7500 AFM/SPM 结构设计紧凑优化，研究人员可快速方便的研究他们的样品。标准探头可支持各种不同的 AFM 成像模式，也可根据需要更换特定的探头，轻松实现功能扩展。优势● 90 um 闭环扫描器进行原子级成像● 杰出的环境和温度控制● 可在液态、气态，以及大气条件下成像● 单程实现纳米级的电学性能表征● 无与伦比的电化学能力● 优越的纳米刻蚀及操纵能力

品牌： 美国是德科技 型号： 5500 产地：美国 供应商：安捷伦科技（中国）有限公司纳米测量部

是德科技的5500 AFM/SPM多功能扫描探针显微镜是用于学术和应用研究中功能最多样化的扫描探针显微镜。原子分辨、独特的优势、真正的模块化设计能满足您最多样化的需求，灵巧简单的组合就可提供您一台最个性化的SPM系统，帮助您轻松实现多模式、多功能精确成像且使用简便、性能可靠。对于生物学家、化学家、材料科学家、物理学家或其他科研人员来讲，5500 AFM/SPM是一个非常理想的选择，既能提供多场控制下的高清晰图象、又可以提供与其它研究手段，如铁电仪,多功能热分析仪，激光共聚焦，拉曼显微镜等装置的联用的功能。是德科技5500AFM/SPM为实验室提供了模块化的解决方案，包括显微镜部分、多达4种XYZ扫描器。为了降低机械噪音，5500采用刚性材料和刚性结构设计。扫描头集成紧凑，采用专利的钟摆设计，利于保持平衡，使XY耦合降到最低，同时明显减少蠕动和滞后现象。 是德科技5500AFM/SPM采用低干涉激光、小尺寸束斑等技术来获得低干涉成像。扫描头激光的位置可以确保激光始终聚焦在悬臂梁相同的位置上。在非常敏感的测量中，该位置可以提供绝对的准确度（力的测量过程中），有助于消除假象。 是德科技5500AFM/SPM带有功能多样的环境控制。在成像中可以方便的通入各种实验需要的惰性气体，反应性气体，高湿度实验气体，腐蚀性气体等等，并可以结合变温，电化学，液相和可变电磁场的成像。同时，可以确保用户在特定环境下制样，真正实现原位控制和成像。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Ntegra AFAM 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

原子力声学显微镜是基于福朗霍夫非破坏性测量研究所(Saarbrucken,Germany)Walter Arnold教授的工作研制的。Hirsekorn等精辟地描述了常规的AFM与AFAM之间的差别。在常规AFM中，当扫描材料表面时，悬臂（cantilever）振动，样品和仪器顶端产生力。而在AFAM 中，一个声学调制器被放在样品的下面，产生垂直和水平的振动。系统利用悬臂产生的屈曲和扭转，基于样品局部的弹性、粘性和摩擦性质产生图象。这种分析类型叫做接触共振光谱学（contact resonancespectroscopy），并同时产生拓扑结构光谱和AFAM图象。NT-MDT网站上有动画来解释真实的实验以及衍生出来的图象和测量结果。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Prima 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制）Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： NTEGRA SNOM 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

用超越激光衍射极限的系统来研究样品NTEGRASpectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： NTEGRA Spectra 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

仪器简介：NTEGRA Spectra 是一款独特的集成了扫描探针显微镜、激光共聚焦/荧光显微镜和拉曼光谱仪的系统。其强大的TERS效应，可在得到拉曼光谱的同时获得高达50nm的成像分辨率。只有NTEGRA Spectra能在软件、硬件等技术方面为集成Renishaw的拉曼光谱系统提供完美的方案，以便用户能在分子水平上用不同的技术手段来分析、研究样品。这样的集成，能让用户极大的提高工作效率，将更多的时间用于数据采集和分析，而无需为繁琐的仪器操作而苦恼。所以，可以负责任的说：真正的集成是远远优于简单的组合的。激光共聚焦显微镜/拉曼光谱仪系统 NTEGRA Spectra 系统集成了激光扫描共焦光谱仪、光学显微镜和常规的扫描探针显微镜。该系统能用于发光光谱和拉曼散射的三维成像、所有的SPM功能，包括纳米压痕、纳米加工和纳米刻蚀等。.扫描探针显微镜除了光学检测外，NTEGRA Spectra还可使用SPM的方法来研究样品，诸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力谱等等。这样独特的集成了光学方法和扫描探针方法合二为一的系统，为用户完成复杂的实验变成可能，用户可从实验中得到样品的光学分布信息、化学性质、力学性质、电学性质和磁学性质等。 用超越激光衍射极限的系统来研究样品NTEGRASpectra 在检测样品时，能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。近场光学显微镜和TERS系统能让用户得到光学性质分布图（激光传输、散射和偏振等）的同时获得拉曼散射光谱和高达50nm的XY方向分辨率。技术参数：共聚焦显微镜光学模块 正置或倒置光学显微镜观测系统 可见光谱测量(390-800nm) 激发光路中配置手动式格兰-泰勒起偏棱镜390-1000nm 检测光路中配置电动式格兰-泰勒检偏棱镜390-1000nm 三轴定位电动式1/2波片 光束分离器 可选配倏逝激发系统（用于TERS） 光学分辨率 XY：200nm Z：500nm扫描模块 最大样品质量：1000g 最大扫描范围：100x100x25 um XYZ三维全量程闭环控制扫描系统 XY方向非线性度：0.03 % （典型值） Z方向噪音水平： 0.2 nm （典型值）XY方向噪音水平： 0.5 nm（典型值）共聚焦针孔直径0~1.5mm可调，步进0.5 um注：无论样品是否透明，都可用我们的共聚焦显微镜在空气或液体环境中对其进行研究。拉曼光谱仪 光谱仪焦长520 mm 激光器波长*441, 488, 514, 532, 633 nm杂散光抑制10-5，（20nm 用632nm激光器 ）平场面积28 mm x 10 mm 光谱分辨率0.025 nm (1200 l/mm光栅**)端口1输入，2输出 光栅座4孔转盘（3 个光栅+“直接成像”模式用的反射镜） 探测器CCD：光谱响应范围：2001000 nm，电冷装置冷却至80°C，500nm时95% 量子效率用于光子计数的APD***：光谱相应范围：4001000 nm，暗计数=25/秒，提供高达1GHz计算速度的PCI卡。 * 标准配置中包括一套488 nm激光器，其他波长激光器可选配 ** 可选配其他光栅。小阶梯光栅具有最高的光谱分辨率 ***可选用PMT扫描近场光学显微镜 功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，荧光模式（选配） 激光模块耦合装置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um V型槽光纤固定器 装配40x物镜 光纤传输系统 KineFlexTM 光束衰减器：可配多种减光镜 剪切力成像 样品尺寸：最大直径100mm，最大厚度15mm XY二维样品移动平台：样品定位范围5x5mm，样品定位精度5umXYZ三维全量程闭环控制扫描系统样品扫描式 针尖扫描式 扫描范围 100x100x25 um 100x100x7 um 非线性度 XY 0.03 %（典型值） 0.15% 噪音水平 Z 0.2 nm（典型值）0.04nm（典型值）， =0.06nm 噪音水平 XY 0.5 nm（典型值）0.2 nm（典型值）， =0.3 nm 石英音叉基频 190 kHz 光纤孔径 100nm 可同时采集的数据通道 反射模式透射模式/荧光模式 PMT 光谱响应范围：185-850 nm灵敏度：3x1010，420 nm时隔振系统 主动式：0.7-1000 Hz 被动式：大于1 kHz扫描探针显微镜 功能模式：AFM（接触+半接触+非接触）/侧向力模式/相位成像模式/力调制模式/粘滞力成像/磁力显微镜/静电力显微镜/扫描电容显微镜/扫描开尔文探针显微镜/扩展电阻成像模式/刻蚀：AFM（力和电流） 样品尺寸*最大直径100mm，最大厚度15mm 扫描范围50x50x5 um 闭环控制系统**XYZ三维全量程闭环控制扫描系统，采用电容传感器 非线性度 XY 0.15% 噪音水平Z 0.06 nm（典型值）， =0.07nm 噪音水平 XY 0.1 nm（典型值）， =0.2 nm (XY 50 um) *扫描头部可单独使用，此时对样品尺寸和重量无限制 **内置的电容传感器拥有极低的噪音水平，即使降到50x50 nm的区域也可以用闭环控制来扫描主要特点：AFM探针和激光光斑完美的同步协调。AFM探针可在纳米级的精度上定位于激光光斑中在TERS中，这是必要的条件。在激光扫描和样品扫描的6个轴中，全部采用全量程闭环控制系统。高数值孔径的光学物镜和SPM系统紧密的集成在一起，让系统的光学稳定性达到前所未有的高度为长程和微弱的信号而设计。反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。电冷至-70°C的CCD，用于光谱探测和成像。也可选用APD来进行光子计数。在激发通道和检测通道中，用户可灵活方便的配置偏光光路。多功能的集成软件控制系统，所有的系统模块包括AFM、光路系统和机械系统都由统一的软件来控制。激光器、光栅、针孔等等，都可由软件来切换或调节。NT-MDT可根据用户需求定制不同使用需求的TERS系统。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Solver Nano 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学（纳米材料、高分子、聚合物、半导体等）、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测，并对其表面形貌进行分析。扫描隧道显微镜功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱原子力显微镜功能：形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力－距离曲线、振幅－距离曲线、I(V)谱刻蚀功能：力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Solver NEXT 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

技术参数：测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/磁力/静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)扫描方式：样品扫描测量头部：AFM和SPM（全内置自动切换），可选配液相模式和纳米压痕测量头最大样品尺寸：直径20mm，厚度10mmXY样品定位装置：移动范围5×5um，软件控制电动定位XY样品定位装置最小步进：0.3um扫描范围：100×100×10um（三维全量程闭环控制扫描器），3×3×2um（低电流模式扫描器）XY方向非线性度：≤0.1%（闭环控制扫描器）Z方向噪音水平（带宽10~1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.03nm，最大0.04nm），低电流模式扫描器（0.02nm）激光光路系统：电动调节，全自动准直视频显微系统：软件控制电动变焦和连续变倍，软件控制变换视野，分辨率2um样品温度控制：室温~150℃主要特点：全自动化桌面型SPM直观易用的软件界面全自动切换AFM和STM扫描头自动调整激光光路（悬臂激光四象限光电探测器）软件控制的电动样品定位平台视频显微镜系统软件控制电动聚焦和变倍视频显微镜系统软件控制定位样品观察视野电动开关样品室门切换不同的测量模式，软件自动调节最优参数人体工程学设计

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Prima PFM 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

压电响应力原子力（PFM）是在原子力显微镜（AFM）的基础上，用导电探针在压电材料上进行测试，得到纳米尺度的压电场机压电分布。具有分辨率高，扫描速度快等特点。PFM可以应用到如下领域：1.铁电材料。2.半导体材料3.生物材料

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Prima EC AFM 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

EC AFM是在原子力显微镜样品台上安装电化学池，可以在纳米尺度进行电化学性能的研究。在电化学发生的同时，进行样品表面的形貌测试。1.安装电化学池非常便捷。2.开放的设计，允许用户进行改变。3.电化学池的设计，可以用于很宽范围样品的测试，包括不同样品的厚度，形状。可以配加热台和冷却台。4.可以用绝缘的介质防止电解液被污染。5.样品跟压电陶瓷扫描管分离，避免扫描器损坏。6.很宽的电极类型。 7.高分辨率（可以达到原子级别）。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： Prima MFM 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

NT-MDT磁力显微镜（MFM）是通过磁力探针在磁性材料样品上扫描，可以得到样品纳米尺度的形貌特征，磁力大小以及磁场分布的一种分析设备。具有分辨率高，稳定性好，扫描范围大，响应快等特点。

品牌： 俄罗斯NT-MDT 型号： NTEGRA Prima 产地：俄罗斯 供应商：俄罗斯NT-MDT公司上海代表处（恩特-梦迪特服务和物流有限公司）

压电响应力显微术 (PFM)生物材料与铁电材料等的成像许多材料的机电耦合行为，如生物基细胞膜和蛋白质，铁电和压电材料从现在开始都可以用压电响应力显微镜来表征。这一成像技术在开发基于铁电畴变等的新型电子设备方面引起了极大的关注，在对将来电脑存储等领域的诸多应用方面的发展有着巨大的潜力。压电响应力显微术是在扫描探针显微镜的基础上，在接触式扫描过程中对探针施加一个交流电压，利用材料自身逆压电效应来探测样品表面形变的一类技术总称（见图1）。压电响应力显微术已经成为铁电材料研究的重要手段，广泛应用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、铁电、漏电等物理性能表征等领域。其最大的优势就是同时具有极高的分辨率（~10-20 nm）和灵敏度（~0.1 pm/V）。

品牌： 日本岛津-GL 型号： SPM-8100FM 产地：日本 供应商：岛津企业管理（中国）有限公司

SPM-8000FM 观察生动的纳米世界使用调频模式的最新型HR-SPM高分辨率原子力显微镜，不仅可以在空气及液体环境中实现超高分辨率，而且首次观察到了固液界面的水化/溶剂化作用的液体分层。HR-SPM: 高分辨原子力显微镜HR-SPM特点使用调频模式空气和液体中的噪音降低到传统模式的二十分之一在空气和液体环境中也能达到超高真空原子力显微镜的分辨率现有的扫描探针显微镜 (scanning probe microscopes)和原子力显微镜(atomic force microscopes) 通常使用调幅模式(amplitude modulation).从原理上, 调频模式(frequency modulation) 可以达到更高的分辨率。SPM： 扫描探针显微镜AFM： 原子力显微镜AM： 调幅模式FM： 调频模式与现有SPM/AFM的区别液体环境中原子分辨率观察NaCl饱和溶液中观察固体表面的原子排列。使用调幅模式的传统原子力显微镜，图像完全被噪音遮盖（左图），但在调频模式下，原子排列清晰可见（右图）。调频模式实现了真正的原子级分辨率。 空气中Pt催化剂颗粒的观察1)KPFM: 扫描开尔文显微镜TiO2基底上的Pt颗粒， 通过KPFM进行表面电势的测定，TiO2基版上的Pt催化粒子可被清晰识别。同时可以观察到数纳米大小的Pt粒子和基板间的电荷交换。右图中，红色区域是正电势，蓝色区域是负电势。对于PKFM观察，FM模式也大幅提高了分辨率。 注: KPFM需要特定的基底。

品牌： 日本岛津-GL 型号： SPM-9700HT 产地：日本 供应商：岛津企业管理（中国）有限公司

探知未来原子力显微镜（AFM）是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。 新开发的可快速响应的HT扫描器加之软件与控制系统设计的优化，成功实现扫描速度比传统设备快5倍以上。独具匠心的探针更换夹具，让小心翼翼的探针更换操作变得简捷轻松。样品交换时也可保持激光稳定照射悬臂。照射稳定性优异，分析时间也大幅度缩短。可从不同角度放大拉伸图像进行确认。鼠标操作简单，更可进行3D断面形状分析。按照操作指南指导操作顺序，使用导航功能直接锁定观察位置，实现了SPM的快速简便的观察具备丰富的测定模式和优异的扩展性，可对不同硬度、不同导电性能等各式样品进行观察分析。 控制气氛扫描探针显微镜 WET-SPM可以控制样品和周边环境，在可控气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。选配系统具有温度湿度控制单元、样品加热冷却单元、样品加热单元、吹起单元。 粒度分析软件从图像数据中选取复数颗粒，对每一颗粒进行特征量的计算，并进行分析、显示，以及及进行统计处理。 微小部热分析试验仪器复合型SPM系统 SPM+nano-TA2（nano-TA2为Anasys Instruments公司产品）可以进行样品表面的三维形貌观察和点的热分析。观察模式标准接触模式动态模式相位模式水平力模式（LFM）力调制模式矢量扫描模式选购件磁力（MFM）模式）电流模式表面电位（KFM）模式分辨率XY0.2 nmZ0.01 nmAFM头部位移监测系统光源/光杠杆/检测器光源激光二极管（On/Off均可）更换样品无需调整光路检测器光敏二极管扫描器驱动元件管状压电元件最大扫描范围（X*Y*Z）30μm×30μm×5μm （标准）125μm×125μm×7μm （选购）55μm×55μm×13μm （选购）2.5μm×2.5μm×0.3μm （选购）样品台最大样品形状φ24mm×8mm样品装载方式头部滑动机构悬臂安装状态下可直接装载样品样品固定方式磁性固定Z轴驱动机构驱近方式全自动驱近最大可驱近范围10mm信号显示板显示量检测器的总入射光量（数字显示）减震机构减震台SPM单元内置光学显微镜观察方式分束器滑动机构专用风挡方式无需或者使用气氛控制腔体气氛控制方式无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体

品牌： 日本岛津-GL 型号： WET-SPM系列 产地：日本 供应商：岛津企业管理（中国）有限公司

WET-SPM为原子力显微镜实验提供各种环境。真空，各种气体（氮，氧等），可控湿度，温度，超高温，超低温，气体吹扫等环境。一体浇注舱体，大型观察孔和手套箱设计，可自由地在分析室内部进行前处理，方便在不同环境中操作。实现了原位扫描，可追踪在温度、湿度、压力、光照、气氛浓度等发生变化时的样品变化。

品牌： 德国布鲁克 型号： Edge 产地：美国 供应商：上海禹重实业有限公司

Dimension Edge原子力显微镜 (AFM)系统拥有最先进的技术，从而使其在运行性，功能性，实用性上达到最高水平。基于顶级Dimension Icon平台，Edge的设计系统能从上到下产生低漂移低偏离数据，可以在几分钟内完成且达到可发表的数据标准，而不再需要几小时，价格也都低于对于此类程序的预算。特别的是，集成了视觉反馈和预配置功能使得更轻易地得到专家水平的测量结果，也使得最先进的大样本原子力显微镜的功能和技术可以被用于每个研究室和用户。高实用性封闭环Dimension AFM专有传感器设计利用开环噪音水平实现闭环精确度显著降低噪音和漂移值，将小样品AFM成像程序与大样品平台联合显微镜和电子器件的设计可以使得成像精确度高，成本低适用于任何样品的方案■开放平台入口可容纳各种试验和样品■新仪器设计和软件充分利用AFM布鲁克全套软件模式和技术，已达到更高应用要求的需要■信号路由内置通道使传统测量研究朝着新的方向发展快速、准确、高分辨率的测量结果■可视化反馈线流工作流程可确保短时间优化设置，排除疑虑和后患■高分辨率5兆相机和机动可编程平台可提供快速样品导航和高效多点测量■从观测到最高分辨过程的无缝转化可达到短时间获得准确结果先进的纳米功能不仅适用于初学者，也适用于专家■革新的组合系统设计带来高性能低成本■带有实验-选择模式的新型版本8软件凝聚了10年AFM专业设置精华■完整平台控制可与强大平台程序一样直观导

品牌： 德国布鲁克 型号： MultiMode8 产地：美国 供应商：上海禹重实业有限公司

MultiMode平台是世界上应用最广泛的扫描探针显微镜(SPM)，已经在全球成功安装使用了近万套。它的成功基于其领先的高分辨率和高性能，无与伦比的多功能性，以及已经得到充分证实的效率和可靠性。现在，MultiMode扫描探针显微镜以其独特的 ScanAsyst模式，采用其先进的自动图像优化技术，使得用户无论具备什么技能水平，也能在材料科学，生命科学，聚合物研究领域的研究中最迅速地获得符合要求的研究成果。SPM的控制电路也是影响性能的重要因素，第五代的NanoScope V控制器具有先进的数字架构：具有高数据带宽，低噪声数据采集和无与伦比的数据处理能力。布鲁克的最先进的技术已经开创工业上的新标准，例如：ScanAsyst 模式 PeakForce QNM 模式。Multimode 的加热和制冷装置能对样品进行加热与制冷，适合于生物学，聚合物材料以及其他材料研究应用。采用加热和制冷装置后MULTIMODE 可在零下35℃到250 ℃范围内对样品进行温度控制；并可以在水，溶液或缓冲剂的液体环境中进行扫描。当在气体环境下对样品进行扫描时，采用环境控制舱可以在大气压标准下控制环境气体的成分。

品牌： 韩国Park Systems 型号： NX10 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

Park systems NX10创新的功能满足创新的工作准确成像, 无交叉耦合现象-业界领先的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动-最低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米-垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%-优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法准确扫描，真正的非接触模式-业界领先的垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec-在非接触模式下最快的扫描速度-极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描-极低的样品损伤准确测量，真正的样品形貌-采用业界领先的低噪声迟滞检测器测量样品形貌-业界领先的极小正反测量偏离量，小于0.15%-采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象-功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率-开放式的设计，方便更换探针和样品-探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有专利的自上至下的直观观察系统-创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作-24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能* 技术参数XY扫描器 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)分辨率: 0.05 nm定位检测噪音: 0.3 nm (带宽: 1 kHz)水平线性: ２nm (over 40 μm scan)Z扫描器柔性引导高力度扫描器扫描范围: 15 μm (可选30 μm)分辨率: 0.015 nm定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)共振频率: 9 kHz (typically 10.5 kHz)表面成像噪音: 0.03 nm (0.02 nm typical)光学系统可观察样品和探针的直视同轴光学系统视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）物镜10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率) 20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)信号处理ADC: 18个通道 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS) X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCsDAC: 12 信道 2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS) X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs最大数据大小: 4096 x 4096 像素集成功能3个通道数字锁相放大器 热噪声法标定弹性系数 数码Q控制外部信号介入20个嵌入式信号输入/输出端口5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

品牌： 韩国Park Systems 型号： XE7 产地：韩国 供应商：Park System Crop.

Park XE7创新研究的经济之选无与伦比的高性能在同级产品中，Park XE7能够带来最高纳米级分辨率的测量效果。得益于独特的原子力显微镜架构，即独立的XY轴和Z轴柔性扫描器，XE7能够实现平滑、正交且线性的扫描测量，从而精确成像和测量样品的特征。此外，Park所独有的True Non-Contact模式还能为您带来前所未有的图像效果，探针可以在多次扫描后图像的分辨率仍不会受影响。满足当前和未来需求在Park XE7的帮助下，现在与未来皆在您的掌控中。Park XE7带有业内最全面的测量模式。这些模式不仅能满足您目前的需求，也考虑到未来不断变化的需求。再者，XE7具有市场上最为开放性的设计，允许您整合其他附件和仪器，从而满足您特殊的研究需求。易于使用和高生产率Park XE7拥有简洁的图形用户界面和自动化工具，即便是初学者也可以快速地完成对样品的扫描。无论是预准直探针、简单的样品和探针更换、轻松的激光准直、自上而下的同轴视角以及用户友好型扫描控制和软件处理，XE7能够全力推动研究效率的提高。。经济实惠超越了系统成本Park XE7不仅仅是最高性价比的研究级原子力显微镜，也是使用成本最低的原子力显微镜。Park XE7中所搭载的True Non-Contact模式让用户无需频繁更换昂贵的探针尖端，并且它配有业内最多的扫描模式，兼容性极佳，让您可随时升级系统功能，从而延长产品的使用寿命。Park XE7配有Park Systems的所有顶尖技术，而且价格十分亲民。XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准确且不超预算地完成研究的理想之选。* 技术参数XY扫描器 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )Z扫描器柔性引导高力度扫描器扫描范围: 12 μm (可选25 μm) 样品台 XY台工作范围: 13 × 13 mm Z台工作范围: 29.5 mm 聚焦台工作范围: 70 mm光学系统可观察样品和探针的直视同轴光学系统10X 物镜 (可选20X）视场: 480 × 360 μmCCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm） 电路系统高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS最大图像尺寸: 4096 x 4096像素, 16个数据图像信号输入： 在500kHz取样时, 16位ADC的20个通道信号输出： 在500kHz取样时, 16位ADC的21个通道同步信号 ：图像结束, 线结束及像素结束TTL信号主动Q控制(选配)悬臂梁弹性常数校准(选配)CE Compliant电源 : 120 W信号处理模块 (选配)

[公开招标]南方科技大学研究级倒置显微镜采购项目公开招标

南方科技大学公开招标研究级倒置显微镜，项目编号：SUSTech-2019-246

[公开招标]鲁东大学高效液相色谱质谱联用仪等仪器设备采购项目招标

鲁东大学公开招标高效液相色谱-高分辨质谱联用仪,原子力显微镜 ,超级净化手套箱,旋转圆盘圆环电极装置,电子天平、恒温水浴锅,智能光照培养箱，项目编号：SDGP370000201902004399

[公开招标]复旦大学扫描探针显微镜采购项目公开招标

复旦大学公开招标扫描探针显微镜，项目编号：0705-1940 182008HY

扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜 仪器网扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜产品导购专场为您提供扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜功能原理、规格型号、性能参数、产品价格、详细产品图片以及厂商联系方式等实用信息，您可以通过设置不同查询条件，选择满足您实际需求的扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜产品，同时扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜产品导购专场还为您提供精品优选扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜产品和扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜相关技术资料、解决方案、招标采购等综合信息。