电子束蒸发 E-Beam
上海伯东代理 AdNaNo 铠柏科技 E-Beam 电子束蒸发镀膜机, 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.
推荐设备型号: EBS-150
标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程;
右边沉积腔内含一个电子束, 适用于约瑟夫森结,
特性:
真空度 5E-8 torr
最大 8inch 样品
基本可倾斜 / 旋转
可选 IBAD
全自动
腔室水冷
上海伯东代理 AdNaNo 铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备, 铠柏镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. AdNaNo 电子束蒸发设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!
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201206
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