CICC

CICC 先进陶瓷国际研讨会是由中国硅酸盐学会发起并主办的一个系列性国际学术会议。至今，已成为亚洲最大且具有相当影响力的大型学术会议。国内从事特种陶瓷研究的相关高等院校及科研院所均有代表出席历届 CICC。

会议时间：2019 年 5 月 25 日 - 29 日
会议地点：云南 · 昆明 · 云安会都酒店

扫描电镜表征陶瓷类样品

功能掺杂陶瓷                                           陶瓷片断面

图1 陶瓷扫描电镜图片

扫描电镜在陶瓷样品中的研究主要为以下几个方面的研究：

· 显微结构分析：晶体生长机理、台阶、位错、缺陷等的研究；
· 成分非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究；
· 静态或动态微观裂纹或气孔的研究；
· 加热前后晶体合成、气化、聚合反应等研究；
· 微区成分分析。

对于导电性差的陶瓷，为了避免荷电效应的影响，常规的方法包括：蒸镀导电膜、降低入射电子束能量、拍照采用快扫模式、改善导电通路、减小样品尺寸、低真空模式等。

在实际中使用较多一般是蒸镀导电膜，包括蒸镀金属膜 Au、Pt、Ag、Cr 或碳膜。

喷金前                                                    喷金后

图2 陶瓷粉体

图 2 显示了同一样品、同一参数喷金前后的图像差异，可以看出飞纳电镜在不喷金条件下，陶瓷粉在 40000x 高倍下依然没有明显充电，表现相当不俗，喷金之后效果更进一步提升，边缘更加锐利，细节更加突出。

降低荷电效应样品杯

采用飞纳电镜降低荷电效应样品杯之后，由于低真空下对样品表面电子累积的有效缓解，可以不用喷金直接得到非常优质的图片。

能谱分析

飞纳电镜能谱分析：点扫描

飞纳电镜能谱分析：线扫描

飞纳电镜能谱分析：面扫描

图 3

除了基本的形貌观察之外，扫描电镜的一些选配件可以实现诸如能谱分析、EBSD、阴极荧光等其他角度的分析。其中最常见的当属电镜能谱分析 (EDS)，在图 3 中可以看到，通过扫描电镜能谱分析，即直接选点、划线、框面进行分析，数分钟后即可得到结果。

在陶瓷样品中，经常需要研究掺杂相的分布，比如均匀混合还是只分布于晶界，此时通过图片显然不能确定，加上微区成分信息的数据，就可以一目了然。

想了解更多扫描电镜在陶瓷样品中的应用吗？飞纳电镜在 CICC-11 等着你。