MKS真空阀门153

MKS真空阀门153-1025k-24VDC 发表时间：2019-05-13 10:37 作者：胤旭机电 来源：www.yinxu99.com 浏览：
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MKS真空阀门153-1025k-24VDC

由于波纹管是阀门可靠性的关键因素，MKS将成型的波纹管结合到150/160阀门中。使用成型波纹管的第一个主要优点是一致性。由于形成的波纹管没有焊接连接每个膜，没有应力集中非均匀焊缝导致疲劳失效。第二优点是波纹管圈不会碰到完全处于压缩位置。

很多真空过程，如化学蒸汽或薄膜沉积含有颗粒污染物。如果小颗粒掉落在形成的波纹管之间，它们没有效果。如果相似颗粒落在焊接的嵌套波纹管之间，它们会变形膜，导致应力集中，并导致早期波纹管失效。弹性体阀杆密封隔离气缸致动来自波纹管内区域的压力。MKS真空阀门153-1025k-24VDC

该区域在波纹管内部通过凹槽在外部排气阀盖法兰。如果阀杆密封失效，任何空气都会通过密封件将通过这些凹槽无害地排出。泄漏检查时，通风口也允许氦气波纹管。必须牢固地保留鼻梁架O形圈在打开压差的阀门中。通风口O形环槽消除了虚泄漏的可能性由陷入沟槽角落的空气引起​​的。

单作用气缸打开气动阀通过3英寸的大小。当气缸排气时，一个强大的弹簧关闭阀门。春天里面波纹管直接作用于鼻梁架。失败后电磁线圈或其上的电控电压气动供应失败，阀门关闭失败。4英寸尺寸的阀门可随时提供(V-100系列)或不带(150系列)闭合弹簧，和6英寸阀门只能在没有关闭的情况下使用弹簧。

没有关闭弹簧的阀门具有双作用缸。在所有尺寸中，气动缸都经过润滑足以延长阀门的使用寿命。V-100是一个4英寸的阀门，两者都有手动和气动选项，角度或内联配置。气动版本可用一个闭合的春天。订购代码不同于150/160系列，具有更多密封选项。MKS真空阀门153-1025k-24VDC

MKS真空阀可以安装在任何位置波纹管或鼻梁架面向泵。在具有可冷凝材料的系统，有利于将带有物镜转换器的阀门朝向腔室安装。电动气动阀附有电磁阀带乳头的圆筒。帽螺钉固定可以将气缸移至车身和气缸对于尺寸为.75 至1.5 的阀门，以90 的增量编号，对于端口尺寸为2英寸到6英寸的阀门，增量为60 。如果必要时，可以拆下和定位电磁阀远程。