光学显微镜原理

光学显微镜原理之可见光的波长约为400～700nm

可见光的波长约为400～700 nm
光学微影术主要包括：G-line(436nm)、I-line (365nm)、KrF(248nm/DUV)、ArF(193nm/VUV) 非光学微影术主要包括：EBL、XRL(7 13 nm)、IPL、EUVL(13nm)

光学微影术虽然能藉由波长较短的光源及其他种种修正技巧，将解析度往下推进，但是进步的空间终究有限，
因此发展出许多不同的制程技术，希望可以继续缩小线宽，非光学微影术使用的波 长远比一般非光学微影术制程所使用的光源波长更小，
因此能提供更高的解析度。 除了 波段不同以外，以更精确的语言来说，应该可以分为“传统光学微影术”和“非传统光学微影术”，借以区别两个技术代的不同