工具显微镜测量自动对焦的原理

上光仪器-工具显微镜自动对焦的原理

自动对焦的原理

系统可进行XY水平量测。但是仅凭CCD摄像机影像，系统
无法进行高度量测。系统通常都具备自动对焦机制，用于高度
测量。以下向您介绍使用普通影像的自动对焦机制，虽然有些
系统可能使用激光自动对焦。

系统沿着Z轴上下移动CCD，进行影像分析。在分析影像对比时，清晰
的影像表示对比值较大，模糊的影像表示对比值较小。
因此影像对比度最高时的高度即为焦距高度。