材料扫描电子显微镜纳米尺度的检测技术

材料具有很多的优异特性，如铁电性、压电性、焦电性，

因此被广泛地应用在微电子元件中，其具有自发极化性且极化方向能藉由施加外加电场反转，所以可以拿来当作记忆元件，也因此更使得铁电材料被广泛地研究；

由于铁电薄膜的巨观性质与其微观的铁电区有关，

所以量测薄膜的铁电区结构与观测其极化机制就显得十分的重要；

因此需要具纳米尺度的检测技术，其中以扫描探针显微术

(scanning probe microscopy)为适合进行作研究的工具之一，