线聚焦原理

线聚焦原理-上光仪器精密仪器设备简介

线聚焦原理(Line Focus Principle)

使用小焦点并且通大电流最为理想，让我们把焦点想成一面镜子，现在使焦点与电子流进入方向夹成一个角
(实际的焦点与观察有效的焦点之间有个三角函数的比例，端看两者的夹角而定。)

所以如果入射的实际焦点固定，靶与电子流的夹角增加，有效焦点变大，由于有效的焦点看起来总是比实际上小，
所以可以达到最大散热面积与小焦点的好处。照理来说，夹角越小越能利用大面积散热，又能保持小焦点的作用，
但是实际上角度只能在7~15度之间，因为有脚跟效应(heel effect)的作用。

小角度：影像成像佳，阳极靶须承受高热，成像范围小。
大角度：影像成像较差，阳极靶不须承受高热，成像范围大。