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工件测量上的误差以及光学效率与品质的降低
量测上的误差
测量上的误差主要是由人为的失误，以及量测仪器本身的限制所产
生，容易造成光学效率与品质的降低。
（一）待测物表面不清洁
经过准分子激光加工过后，元件表面上都会有加工所残留的残
渣，故工件上油脂、残渣、尘埃等皆容易造成量测上的误差，也容
易造成光的散射，使量测上的误差因此产生。而清洗是必要的，首
先用去离子水（DI water）冲洗元件表面，再放入超音波震盪器内，
加以震盪，最后以氮气吹乾。
（二）量测仪器本身的限制
各种光学仪器皆具有固定的误差值，所以当光入射各各光学仪
器均会造成量测上误差的产生，而解决之方法唯有尽量缩短光路，
并注意各种光学仪器的误差值，如果误差值过大就要避免使用。另
外在薄膜测厚仪也有其本身探针的限制，其探针针头为 1μm，所以
会有其误差的存在，另外在光学显微镜、电子显微镜、显微干涉仪
也有其本身仪器的限制。
（三）影像撷取的误差
在量测上，当影像在撷取时，一张影像卡的好坏既在此有分别，
任何影像撷取卡皆有一固定值得损失，我们电脑分析程式是以
LabVIEV 软体以及 Matlab 软体所撰写，皆以 LabVIEV 所提供的影像
撷取卡进行影像撷取分析，当然也无法避免此损失，而 CCD Camera
也有其解析度的限制，其解析误差也会造成量测上误差的产生
