表面轮廓仪测量有何的特点

表面 仪 测有什么样的特点-测量工具显微镜

表面 仪 测特性
接触式表面 仪的 测原 是以电脑控制平台的左右移动，藉由固定在探针臂上的探
针扫描物体表面，透过Linear variable differential transformer (LVDT)将探针上下的移动转换成
为表面 的轨迹。以KLA-Tencor Alpha-Step IQ型号为 ，扫描长 可至10 mm，其纵向
测最深可至2 mm，当深 测范围在20 m时，垂直解析 可达0.012 。

一般探针为圆锥 ，顶部为圆球，探针半径与顶角的选择很重要，标準Tencor Alpha-Step
采用半径5 m顶角60°的探针。当应用于评估导光板微特征成形，需 测微结构的宽 、深
与斜面角 。探针半径或顶角影响到特征尺寸的辨 ，探针半径较大时，在扫瞄断差时，
轨迹因探针顶部圆角的关系相对起伏较小， 判 其特征宽 。 要 测微特征的斜面角
β，则探针顶角θ的选择必须满足，