扫描式电子显微镜为的量测方式有哪些缺点?

扫描式电子显微镜为破坏性的量测，其必须由电子在待测元件

上流动，因为我们的基板材料是 PC 聚碳酸酯（Polycarbonate）为

绝缘体，所以必须在待测元件表面先行蒸镀上金属膜才能导电，而

我们的微光学元件均蒸镀上一层金。功能与光学显微镜相类似，放

大倍率可达数万倍，适合做细微的观察，由于它具有倾斜角度照摄

的功能，因此可以观察 3-D 立体结构。

为微直角

锥阵列电显图，其放大倍率为 150 倍，由图大约可看出加工后之表

面状况，而图（4-21）为圆弧形光罩所加工之微透镜阵列电显图，

其放大倍率为 80 倍，（4-22）为半圆形光罩所加工之微透镜阵

列电显图，其放大倍率也为 80 倍。