精密光学机械-在显微镜下的微移高精度测量零件
2.5轴显微操纵系统的设计与制作系统
具有显微操纵系统基本功能,能设定存在显微镜下的微动画线结构。划线精度在0.1mm以下,做
可以做实验平台。
(1) 设备实验设备的架构
(2) 显微镜的操作及校验
(3) X-Y微步进平台的架构
精密光学机械-在显微镜下的微移高精度测量零件
2.5轴显微操纵系统的设计与制作系统
具有显微操纵系统基本功能,能设定存在显微镜下的微动画线结构。划线精度在0.1mm以下,做
可以做实验平台。
(1) 设备实验设备的架构
(2) 显微镜的操作及校验
(3) X-Y微步进平台的架构