高精度测量工具显微镜制造厂商

高精度测量工具显微镜制造厂商-上海光学仪器厂

1.微直角锥阵列（宽度为 100μm、深度为 50μm）：

微直角锥阵列剖面图

为微直角锥阵列剖面图，上图为微直角锥阵列局部
放大剖面图，下图为原尺寸剖面图，其线条非常平顺。

此微直角锥
阵列的加工过程是由直角三角形的光罩所加工的，由于我们设计之
微直角锥阵列宽度为 100μm、深度为 50μm，故由上图可知其已经
接近我们所要的直角锥，

再由下图可知在其接近直角锥的地方有些
不平整，反而造成接近直角锥的地方不直角，故此为造成误差的所
在。而其所控制之激光光束照射能量为 0.188mJ，

2.微透镜阵列（宽度为 215μm、曲率半径为 250μm）：

微透镜阵列剖面（一）

为微透镜阵列局部放大剖面图，上图为微透镜阵列局部
放大剖面图，

为原尺寸剖面图，其线条也非常平顺。此微透镜
阵列的加工过程是由圆弧形的光罩所加工而成，

而此我们所设计之
微透镜宽度为 215μm、曲率半径为 250μm、加工所需之深度为 25
μm，故由上图可知其所能控制之参数已经接近我们所要的，其所控
制之激光光束照射能量为 0.140mJ，激光光束脉衝频率为 20 Hz，与
工件拖拉速度为 1.6mm/min，而经过如微直角锥阵列之计算其加工
系数（K）值，K=683.7633μm2/sec，

为微透镜阵列局部放大剖面图，上图为微透镜阵列局

部放大剖面图，下图为原尺寸剖面图，其线条也非常平顺。此微透
镜阵列的加工过程是由半圆形的光罩所加工的，欲用来与圆弧形光
罩之加工的微透镜作光点图比较，而我们设计之微透镜宽度为 50μ
m、曲率半径为 25μm、加工所需之深度为 25μm，故由上图可知其
所能控制之参数已经接近我们所要的，其所控制之激光光束照射能
量为 0.295mJ，激光光束脉衝频率为 20 Hz，与工件拖拉速度为 0.7
mm/min，而经过计算其加工系数（K）值，K=401.0483μm2/sec，