电子显微镜使用激光作为光源量测表面轮廓

电子显微镜使用激光波长514.5nm作为光源量测表面轮廓

扩展单波长相移干涉术对于纵向深度测量范围。我们结合相移干涉术和双波长干涉术，
得一较长的等价波长，并将两种不同波长量测出的相位值相减，
使得量测表面轮廓的侦测器相邻像素必须小于四分之一波长的限制得以扩展。

架设干涉显微镜，采用氦氖激光波长632.8nm和氩离子激光波长514.5nm为光源，
得一较长的等价波长2752.1nm。利用电脑控制PZT推动参考面产生五步相移，并采用Hariharan相移干涉术演算法，
及相位重建技术来求解初始相位差。
双波长相移干涉术所得之结果其杂讯大于单波长相移干涉术的量测，
可利用双波长相移干涉术的计算为参考来校正单波长相移干涉术量测产生的2π相位混淆，
最后以单波长相移干涉术经校正的结果来重建表面轮廓。我们分别量测光栅和四阶Fresnel偏转镜。