自动轮廓量测之垂直解析度可达0.1微米

自动轮廓量测之垂直解析度可达0.1微米-光学仪器

三维量测系统及微小探头之光机设计，及实验雏型系统之制作及测试。

三维轮廓量测之垂直解析度可达 0.1 微米，高度扫描范围可达 5 mm，水平量测
范围由数十微米至数个 mm，水平量测解析度可达 0.8 微米，

自动光学三维显微检测技术。同时，微型数码叠纹扫描探头之设计为国内外首创之新颖方式，
将为国内极具潜力与竞争力之研发项目。

可携式三维量测系统及微探头之研发，期能达到下列几项目：
◆ 探头为可携式适用于现场精密元件之三维轮廓量测。

◆ 探头微小化，可用在狭窄空间上之检测及人体口耳鼻内视镜。

◆ 二维彩色影像的撷取。
◆ 发展国内自有技术与设备，改善以往新科技工业之设备皆整套外购之缺点