使用金相显微镜观察铝基板抛光面的表面颗粒

使用金相显微镜观察铝基板抛光面的表面颗粒

氮化铝表面形貌与成分分析

使用金相显微镜观察氮化铝基板的表面型貌，

使用两种不同厚度的氮化铝基板，厚度分别为 380μm及 630 μm。

氮化铝基板抛光面的表面俯视图及横断面俯视图可观察到氮化铝基板为由大小约 1~3 μm 不等的颗粒所组成，
抛光后表面较未抛光前平整许多，但仍有部份区域有凹洞，其宽约为 0.3~1
μm。其中厚度为 380 μm 的凹洞密度较高。

这些凹洞有些是抛光后就存在，有些则是因粉末附着得不够紧密而脱离。由图 3-2(b)及(d)横断面可看到这些
凹洞的深度约 0.5~1 μm。另外可发现颗粒之间黏着得很緻密，几乎没有孔
隙存在，因此不会影响基板的热传导特性，可用来做为导热基板。

由能量分散式光谱仪(Energy dispersive x-ray spectroscopy，EDS)可知基板可能含有的元素，

量测结果可知，氮化铝基板的主要成分为铝及氮元素，因此可以得知基板的主要成分为氮化铝。
观察到元素氧及钇的讯号。氧化钇(Y2O3)为在制作氮化铝陶瓷基板中添
加的烧结助剂，观察到的元素氧及钇的讯号即是来自于氧化钇，添加氧化
钇目的为移除氮化铝颗粒中不利于热传导的溶氧以提高基板的热导率