晶圆框架框架外观尺寸量测金相显微镜

晶圆框架框架外观尺寸量测金相显微镜

开发一套晶圆框架框架外观尺寸量测系统。

针对此大尺寸工件量测，采视觉动态取像装置，透过旋转平台旋转360°，
完成2D 平面扫描尺寸，最后透过影像处理几何运算，量测需要之尺寸项目。

本检测系统之优点在于晶圆框架每次放置于旋转平台上， 需固定放置角度与位置，只需定心至一容许范围内，
依然可以量测尺寸。此晶圆框架 外观尺寸检测系统，评估系统的量测速度能力，每小时可检测150片，
可以达到业界所要求，增进量测时的准确性及缩短量测时间与减少人力资源 。
关键字：晶圆框架、自动化光学检测技术、视觉尺寸量测

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