产品零件的体积与特征尺寸测量工具显微镜

三次元量测

三次元量测(coordinate metrology)是利用量测探头测定待测物在空间中座标位置的一种量测方法，
可用来决定工件的实际特征尺寸与形状误差。三次元量测仪则是进行三次元量测所使用的仪器，
一般由三个相互正交的平移轴构成卡式座标系(Cartesian coordinates)，使探头相对于待测物具有三个移动自由度，
若依照探头与待测工件的个别自由度，三次元量测仪可细分为FXYZ、XFYZ、XYFZ与XYZF等四种型式。

某些具备齿轮等複杂形状量测能力的三次元量测仪，其硬体还会多加入一旋转轴，以满足量测複杂特征所需之额外
自由度。依照ISO 10360-1规范所定义的分类，三次元量测仪共可分为十种不同类型，
当中移动桥式与固定桥式为最常见的类型。

由于现今产品轻薄短小的发展趋势，产品零件的体积与特征尺寸也愈来愈小，此一现象不但大幅提升微特征尺寸的
量测需求，世界上也有愈来越多的资源投入相关领域的研究。此类代表性的微元件包括微镜片(micro lens)、
微流道(micro fluidic channel)、微喷嘴(micro nozzle)与微齿轮(micro gear)等微特征，若以传统三次元方法进行量测，

绝大多数会遇到因为探针尺寸太大、或是接触力道造成工件表面变形等原因而无法顺利进行。至于光学式的量测方法，
若考虑较高的量测精度，则可量测范围与景深会受到侷限，且尚有遮蔽与工件材质限制等问题无法解决，
一般而言较不适合作为三维特征尺寸之量测应用。为了解决微特征量测之需求，

微型化的探针搭配新型式的物理感测装置进行量测，以解决传统三次元系统在微量测上的限制。