金相光学显微镜原理-分析材料的表面结构
显微镜的分析原理,以最简单的金相光学显微镜为例,一可见光源经过多种的光学透镜折射聚焦与试片作用,
反射可见光回来,藉由接收的可见光强度产生明显的颜色与明暗对比来观察分析材料的表面结构。
其它显微镜大多也是建构在相同的原理上,通常是藉由入射一具有能量的粒子束,利用不同透镜聚散或偏折粒子束,
使粒子束撞击试片,产生各种不同形式的二次粒子,最后利用各仪器不同的侦测器接收所对应的二次粒子讯号,
形成各式的影像或能谱来分析材料的结构形貌与成分分佈。常见的粒子束,通常可分为电子束、离子束以及X光束三类。
而各仪器的分析特色,则主要决定于两方面,一为入射粒子束和试片的作用,入射时的角度与入射粒子束的强度,
影响了试片作用的深度。另一方面则为二次粒子产生的速度以及侦测器的灵敏度,对于所接收到讯号强度有极大的影响,各种材料分析技术特性。