光栅式测径仪简介

光栅式测径仪简介-显微物镜厂家

将平行的的两点光源干涉后之干涉条纹投射在待测物上并固定条纹宽度，
由条纹宽度以及被待测物遮避之条纹数而可计算出待测物之尺寸，此即光栅式测径仪。

一般常用来测量物体大小的工具，必须接触待测物件因而容易在物件间形成磨损，或
是由扫瞄待测物件但因扫瞄马达本身引入之误差使得物件精度无法提高，本 文即利用
非接触，非马达扫读的方式来进行测量。

借由两同调光所产生的直且等间距干涉条纹并投射在待测物上，而在干涉区之上下方
各置一检测器，二者连线同步并且与干涉条纹平行，一检测器置于待测物阴影区一置
于亮区，若此两检测器同时测到的是亮纹或亮纹，计数器不计数唯独上侧之检测器接
受到的是亮纹，下侧检测器是暗影时计数器才计数经由此法可将被物体挡住的条纹找
出并由计数器计录，当条纹的宽度设定时，待测物之尺寸就等于显示出来之条纹数乘
以干涉条纹的宽度。

实验的精度取决于条纹的宽度与检测器之鉴别率为了达到高精密须调整两光源的
距离使其条纹之宽度在微米之范围，

同时于检测器前置一显微物镜使条纹宽度放大并适当遮挡使得一次做有一条纹照射至检测器，
以利于检测器之检测并将检测值送入电脑由电脑完成运算之工作。