测量轮廓仪的量测工件的原理简介

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测量轮廓仪的量测工件的原理简介-测量显微镜厂商

测量轮廓仪的量测是使用探针与待测工件表面接触，扫描待测工件的表面轮廓，将探针的微小变化量，
转换成感应电流，传送至放大器，调整需要放大工件外形轮廓的倍率，
最后将放大后的数据纪录传至绘制机，显示工件的表面外形轮廓的一种仪器，原理与表面粗糙度量测仪几乎相同，
可量测的角度、范围都表面粗糙度量测仪来的大

测量轮廓仪的基本组件包括主机基座组、驱动器、纪录器、放大器、探针组、资料处理器、印表机等。
 1. 主机基座组
为长方型平台，中央位置具有T型槽，可放置工件，或配合虎钳或V型槽来固定工件，设定量测范围后，
载物平台或探针进行往复移动，进行量测
2. 驱动器
以直流伺服马达驱动探测头做多段变速移动，探测头做横向(X轴)，探测头的上下(Z)位移由差动变压器量测，
而上下移动的部分其实是圆弧运动，因此需补正量测误差
3. 纪录器
探针沿着工件扫描轮廓，依其移动的轨迹将X、Z轴的输入信号作成其纪录
4. 放大器
负责接收探针量测到的信号，藉由放大器放大，再将放大的数据输出至绘图机，
绘制出待测物工件的表面轮廓。
5. 探针组
探针组包含探针与测臂两个部分