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工件更准确的轮廓量测工具显微镜厂商
投影彩色光栅量测之光场补偿系统,其具有光场补偿功能,其可以线段投影法简单算出待测工件之高度。
影像处理装置先产生一用以投影且无光栅之影像,将该影像投影出去,
利用摄影装置撷取该影像,并传送回影像处理装置进行影像处理而成一带有投影资讯之无
光栅的影像,另产生一有彩色光栅之影像,并以创新方法对该影像进行补偿。
如此可对无光栅影像或有彩色光栅影像进行光场补偿作业,
使彩色光栅影像更为清楚,以对一待测工件进行更准确的三维轮廓量测与重建分析计算。
关键词:线段投影,彩色光栅,三维轮廓量测