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制造材料孔隙率测量影像测量仪器-精密测量显微镜
孔隙率
孔隙率的量测是利用阿基米得原理来计算,粉末
的大小、外形与烧结温度、时间,都会对孔隙率造成影响,
孔隙率对于均热板微结构的重要性很大,孔隙率的越大可以携带的工作流体越多,通道也越大,对
于工作液体的回流至蒸发区也会越畅通,
但流道较小,在工作流体回流的毛细力会相对较大,所以孔隙
率对均热板的影响也相当重要。
渗透率
渗透率实验根据达西定律(Darcy’s Law),透过
渗透率的量测可以了解到流道是否畅通,渗透率越好
的结构,流道就会越畅通,这对设计均热板的内部的
微流道有帮助
藉由不同 mesh 数的铜粉搭配,制作均热板蒸发区与支撑柱的毛细微结构,
针对毛细微结构性质(平均收缩率、孔隙率、渗透率)来进行探讨,
进而对均热板进行热阻值量测。研究结果中显示,在毛细
微结构性质部分,325mesh 数的铜粉在平均收缩率有明显上升的趋势,孔隙率测试则呈现下降趋势,
而在渗透率测试中,呈现出随着 mesh 数的上升,
渗透率有明显的下降,因此影响了工作流体在均热板内部的
工作情况,使均热板内部微结构产生阻碍导致热阻值提高