测量显微镜观察微样本的二维结构

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测量显微镜观察微样本的二维结构-测量显微镜

传统使用感光树脂之微制造技术皆采用
单光子光致聚合，以层层堆叠的方式，达到制作三维微结构之目的。这个方法系将欲
制作之物件的模型图样，切割成许多薄层，每一薄层可视为二维结构，将紫外光聚焦于液态
感光树脂的最表面一层，并将此光束焦点依照预先规划之二维图样进行扫描，
被光束照射到之液态树脂，将会产生单光子吸收光致聚合作
用，进而达到固化树脂之目的。

将样本微微下降，再依相同方法固化第二层结构，如此持续
的一层层制作，或称其为层层堆叠，最终可达得三维结构之目的。在此法中，由于每一层的
结构都是使用紫外光聚焦后照射感光树脂以达固化树脂之目的，
因此，微结构之横向分辨率将受限于照射于树脂上的光点大小，纵向解
析度则与每一薄层的厚度相关。使用层层堆叠的方法制作三维结构是因为紫外光用的感光
树脂对紫外光具有很强的吸收，只要是被光束照射到的区域都会发生光致聚合作用而形成
固态结构，因此要制作可移动的物件有其先天性的困难，同时此法也限制了物件必须附着于
某一基板上，才能达到层层堆叠